专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体制造装置以及半导体器件的制造方法-CN201910634442.4有效
  • 小桥英晴;保坂浩二;松崎由树 - 捷进科技有限公司
  • 2019-07-12 - 2023-09-26 - H01L21/66
  • 本发明提供一种半导体制造装置以及半导体器件的制造方法,其要解决的课题在于,在通过相机进行拍摄而检测到了裸芯片表面上的异常时,很难通过拍摄图像来判断该异常是裂痕还是因异物而引起的。该半导体制造装置具有拍摄裸芯片的拍摄装置;具有相对于拍摄装置的光学轴以小于45度的角度向裸芯片照射光的第一状态和以大于45度的角度向裸芯片照射光的第二状态的照明装置;以及控制拍摄装置和照明装置的控制装置。控制装置基于将照明装置设为第一状态并通过拍摄装置拍摄裸芯片而得到的第一图像、以及将照明装置设为第二状态并通过拍摄装置拍摄裸芯片而得到的第二图像,来识别裸芯片表面的异常。
  • 半导体制造装置以及半导体器件方法
  • [发明专利]安装装置、检查装置及半导体器件的制造方法-CN202310047030.7在审
  • 内藤大辅;横森刚;高柳健一 - 捷进科技有限公司
  • 2023-01-31 - 2023-09-15 - H01L21/67
  • 本发明提供能够使检查的稳定性提高的安装装置、检查装置及半导体器件的制造方法。安装装置具备:摄像装置,其设于多个检查对象物的上方;和控制装置,其构成为基于摄像装置在同一曝光内拍摄多个检查对象物而得到的图像来检查多个检查对象物。控制装置构成为:将参照对象物配置在摄像装置的视野中心并拍摄参照对象物以获取第一图像数据,基于第一图像数据获取与参照对象物相关的第一数据,将参照对象物配置在从视野中心离开规定距离的位置并拍摄参照对象物以获取第二图像数据,基于第二图像数据获取与参照对象物相关的第二数据,基于第一数据及第二数据来计算从视野中心离开规定距离的区域处的修正系数。
  • 安装装置检查半导体器件制造方法
  • [发明专利]芯片贴装机及半导体器件的制造方法-CN201910559100.0有效
  • 小桥英晴;中岛宜久 - 捷进科技有限公司
  • 2019-06-26 - 2023-07-14 - H01L21/67
  • 提供芯片贴装机及半导体器件的制造方法,(a)将照明装置设为第一状态,拍摄基板的涂布粘结剂前的状态并拍摄基板上的涂布粘结剂后的状态;(b)将照明装置设为第二状态,拍摄基板的涂布粘结剂前的状态并拍摄基板上的涂布粘结剂后的状态;(c)求出在照明装置的第一状态下拍摄到的涂布后的状态的拍摄图像与涂布前的状态的拍摄图像之间的差分的二值化数据;(d)求出在照明装置的第二状态下拍摄到的涂布后的状态的拍摄图像与涂布前的状态的拍摄图像之间的差分的二值化数据;(e)将以照明装置的第一状态求出的二值化数据与以第二状态求出的二值化数据合成而得到粘结剂的涂布图案。
  • 芯片装机半导体器件制造方法
  • [发明专利]安装装置及半导体器件的制造方法-CN201910120221.5有效
  • 酒井一信 - 捷进科技有限公司
  • 2019-02-18 - 2023-06-06 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种安装装置及半导体器件的制造方法。其技术问题在于,在以能够滑动的方式安装有安装头的梁可能会发生因梁及安装头的重量而引起的挠曲,导致安装对位精度变差。对此,安装装置具备:架台,其安装有安装载台;梁,其以横跨于所述架台上的方式沿着第一方向延伸且其两端分别以沿着第二方向滑动自如的方式支承于所述架台上;和安装头,其以沿着所述第一方向移动自如的方式支承于所述梁。所述梁具备:矫正部件,其位于该梁内部,且沿着所述第一方向延伸;和挠曲矫正机构,其向所述梁的挠曲方向按压所述矫正部件,通过其反作用力而产生与所述挠曲方向成反方向的力。
  • 安装装置半导体器件制造方法

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