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- [发明专利]晶片的图案检查方法及装置-CN200980140278.6无效
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上村拓人;伊藤隆;石井孝明
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拓普康株式会社
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2009-09-30
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2011-09-07
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G01N21/956
- 本发明提供一种晶片的图案检查方法及装置,具备以下步骤:输入作为检查对象的晶片的图案或芯片的检查图像,比较所输入的检查图像与预先存储的参考图像,根据比较图像的差异量,判断晶片或芯片的良否。当检查中良品率下降至规定的阈值以下时,利用偏离的图案或芯片的图像再次进行学习处理,制成新的参考图像。通过学习处理中学习图案后,寻找均匀的图案,若为均匀的图案部分,则通过图案匹配检查以外的间距检查等检查进行晶片的检查,或利用均匀的图案部分同时进行图案匹配检查和间距检查,决定图案匹配检查的灵敏度,以所决定的灵敏度检查晶片全面的图案或芯片。
- 晶片图案检查方法装置
- [发明专利]光图像测量装置-CN200880017229.9无效
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弓掛和彦;冈田浩昭;木川勉
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拓普康株式会社
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2008-05-15
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2010-03-24
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A61B3/10
- 本发明提供一种光图像测量装置,防止在测量OCT图像时被检眼追踪信号光的扫描的轨迹。眼底观察装置(1)将低相干光(L0)分割成信号光(LS)和参照光(LR),根据经由被检眼(E)的信号光(LS)和经由参照镜(174)的参照光(LR)来生成并检测干涉光(LC),根据该检测结果来形成眼底(Ef)的断层图像。眼底观察装置(1)具备扫描信号光(LS)的扫描单元(141)和呈现固视标的LCD(140)以及光学系统。眼底观察装置(1)在扫描了信号光(LS)并且呈现了固视标的状态下取得眼底(Ef)的图像,根据该图像来判定固视是否适当。由此,实现被检眼(E)的固视的可靠性,防止在取得OCT图像时被检眼(E)追踪信号光(LS)的扫描的轨迹。
- 图像测量装置
- [发明专利]眼科装置-CN200910002126.1无效
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伊藤亮辅;中村武
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拓普康株式会社
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2009-01-15
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2009-08-19
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A61B3/10
- 一种眼科装置具有取得实施第一检查时的第一检查部的位置信息,并基于位置信息以及距离信息,来设定第二工作距离的方向上的第二检查部的可动范围的设定部。该眼科装置进行控制以便在将利用检查单元的检查从第一检查切换到第二检查时,检查单元在基于第一检查部的位置信息以及距离信息所设定的可动范围内进行移动。从而,就能够设定相对于被检体眼睛位置的正确的可动范围,并可以谋求同时兼顾因防止检查部接触于被检者的事态所带来的安全性提高。
- 眼科装置
- [发明专利]表面检查方法与装置-CN200780030837.9无效
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矶崎久;高濑壮宏;柿沼隆司;前川博之;幸田文男;山崎伦敬
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拓普康株式会社
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2007-12-04
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2009-08-12
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H01L21/66
- 光源部分输出两个具有短波长和长波长以及可变强度的光束。光源部分使所述两个光束以预定的角度同时或交替地入射到待检测体的检测表面上。基于发出的光束和来自第一光强度检测部分的输出,至少调整具有长波长的光束的强度。对在发射具有短波长的光束时来自第一光强度检测部分的输出与在发射具有长波长的光束时来自第一光强度检测部分的输出进行比较。只出现在当发射具有长波长的光束时来自第一光强度检测部分的输出中的信号被识别为来自内部对象物的检测信号,并调整具有长波长的光束的强度。确定来自内部对象物的检测信号消失的点附近的消失水平。具有长波长的光束的第一强度被设置成高于该消失水平的水平。基于由第一强度的具有长波长的光束所获得的来自第一光强度检测部分的输出,测量待检测体内部的对象物。
- 表面检查方法装置
- [发明专利]眼科装置-CN200810185591.9无效
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高桥义嗣;伊藤亮辅
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拓普康株式会社
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2008-12-17
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2009-07-01
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A61B3/00
- 本发明提供一种眼科装置,具有:检查单元,包括对被检眼实施不同的检查的多个检查部;以及驱动部,使检查单元沿着左右方向以及前后方向移动。该眼科装置控制驱动部,以在将检查单元的检查对象从一个眼睛切换成另一个眼睛时,使检查单元后退与位于一个眼睛的检查位置的检查部的工作距离对应的后退距离。检查单元后退与工作距离对应的距离。因此,可以缩短检查时间、并防止检查部接触到被检者的情况而提高安全性。
- 眼科装置
- [发明专利]波片和光头装置-CN200710005419.6无效
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高桥崇;田中伸树;斋藤孝朗;中田达也;塚本拓也;北野广幸;饭田广希;宮川富士峰
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拓普康株式会社
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2007-02-08
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2007-08-15
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G02B5/30
- 一种构建在光头光学系统中的波片,该波片包括用粘结剂粘结在玻璃基片上的有机薄膜,该光头光学系统是在预定使用温度范围中使用的。粘结剂的玻璃相变温度,高于预定使用温度范围,且粘结剂的线膨胀系数(K1)、有机薄膜的线膨胀系数(K2)、和玻璃基片的线膨胀系数(K3),在预定使用温度范围下,具有K3≤K1和K1≤K2的关系。当光头光学系统内的温度是普通温度时,粘结剂的线膨胀系数(K1)、有机薄膜的线膨胀系数(K2)、和玻璃基片的线膨胀系数(K3),能够满足关系K3<K1<K2,又当光头光学系统内的温度高于粘结剂的玻璃相变温度时,满足关系K3<K2<K1。即使激光波长因温度变化而起伏时,相位差发生与该波长起伏相符的变化。在光头装置中,设置上述相位差片,使它的排列位置是可变的。
- 光头装置
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