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[发明专利]一种半导体器件制作方法和半导体器件-CN202310821471.8有效
发明人：黄磊;吴盛凯;王友伟;徐雷军 -专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/8234 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种半导体器件制作方法和半导体器件，涉及半导体制造技术领域。该方法包括：S1.提供一带有沟槽的外延片；S2.与竖直方向呈大于0的角度注入离子，使离子经过沟槽穿过沟槽壁面注入到外延层形成预注入区域；S3.在沟槽沉积多晶硅以完成沟槽的填充；S4.在沟槽之间注入离子以与预注入区域共同形成阱区。通过本申请的技术方案制造出的半导体器件的阱区的离子分布更加均匀，离子更好地填充阱区底部，接近理想状态，并减小了漏电流的产生。
一种半导体器件制作方法

[发明专利]一种基于半导体器件的光刻方法-CN202310913108.9在审
发明人：曾渝;王友伟;徐雷军 -专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了基于半导体器件的光刻方法，涉及半导体技术领域；方法包括：提供蚀刻沟槽后的外延片；在外延片上涂布至少两次负光刻胶，其中负光刻胶涂布于外延片的台面并填充沟槽；对涂布后的光刻胶进行曝光；并在预设条件下对曝光后的光刻胶进行显影；其中，预设条件满足：温度区间为110摄氏度‑120摄氏度、时间窗口90秒‑120秒。本发明提供的光刻方法可有效解决了沟槽Trench填充不完全的问题，避免由于光刻胶厚度不够从而导致的显影液渗透腐蚀Trench内未感光的光刻胶从而导致表面开裂的问题；并在降低工艺复杂度的情况下，有效解决了光刻工艺在光刻图形与设计上的偏差问题。
一种基于半导体器件光刻方法

[发明专利]增加沟槽底部氧化层厚度的方法-CN202310821468.6在审
发明人：王友伟;徐雷军;王成森;刘启星 -专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种增加沟槽底部氧化层厚度的方法，涉及半导体技术领域。增加沟槽底部氧化层厚度的方法包括：S1：在硅片上刻蚀出硅沟槽；S2：在硅片上以及硅沟槽内生长缓冲氧化层；S3：在缓冲氧化层上生长第一多晶硅淀积层、并掺杂；S4：刻蚀缓冲氧化层上的第一多晶硅淀积层；S5：在第一多晶硅淀积层上生长低温氧化层。增加沟槽底部氧化层厚度的方法利用掺杂多晶硅氧化速度比单晶硅氧化速度快的特性，在硅沟槽的底部保留适量的掺杂多晶硅，再经过氧化后硅沟槽底部形成的低温氧化层会明显比硅沟槽侧壁的低温氧化层厚，可以有效提高硅沟槽底部的低温氧化层的厚度，提高沟槽产品底部氧化层的厚度和质量。
增加沟槽底部氧化厚度方法

[发明专利]一种SGT-MOSFET的制造方法及SGT-MOSFET-CN202310821467.1在审
发明人： 徐雷军;王友伟;杜盼晓;王成森 -专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/8234 文献下载
摘要：本发明实施例提出一种SGT‑MOSFET的制造方法及SGT‑MOSFET，属于半导体技术领域，包括：在外延片上刻蚀出的沟槽及外延片表面上形成氧化停止层，进行第一次多晶硅淀积，并对形成的多晶硅薄层进行多晶硅氧化，进行第二次多晶硅淀积以填满沟槽，填满后按序对沟槽内的多晶硅刻蚀和氧化，进而将裸露的杂质化合物进行腐蚀，对腐蚀后的外延片进行氧化以形成栅氧化层，并进行第三次多晶硅淀积以填充沟槽，去除外延片表面的多晶硅，保留沟槽内的多晶硅，能够使SGT‑MOSFET沟槽的底部厚度大于侧壁，极大地提高产品耐压，并减小产品应力，同时通过对沟槽内的多晶硅进行氧化，能够有效提高两层多晶之间的间距，降低源极和栅级电容。
一种 sgt mosfet 制造方法

[实用新型]套管拔管器-CN202320063350.7有效
发明人：吴旭君;徐雷军;徐斌 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请涉及套管拔管器，包括基座，所述基座上设有管道夹紧组件，基座上设有与管道夹紧组件连接的锁紧结构,管道夹紧组件包括固定安装于所述基座顶部的支撑架和固定安装于所述基座内部左右两侧均活动贯穿至基座前后表面的支撑轴杆，支撑架的内部螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的底部活动安装有活动座，活动座的底部固定安装有夹紧块。该套管拔管器，配合活动座与螺纹杆的活动连接，以及导向杆对夹紧块的限位滑动，从而使得螺纹杆螺纹旋进时带动夹紧块下移对放置的管道进行夹持固定，与此同时配合设置的弹簧的弹性伸缩作用，推动齿块与齿条啮合，实现对导向杆的固定，进而避免夹紧块夹紧后松动，从而方便了通过工业行车挂设本设备将钢管拉出。
套管拔管器

[实用新型]一种保温棉包覆机的切割结构-CN202223304522.X有效
发明人：吴旭君;徐斌;徐雷军 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B32B38/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种保温棉包覆机的切割结构。该保温棉包覆机的切割结构，包括安装顶板，所述安装顶板的下方设置有切刀，所述安装顶板的下方设置有调节组件，所述调节组件包括设置在安装顶板下方的活动板，所述活动板底部的左侧铰接有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有转杆，所述转杆的另一端固定安装有螺纹块，所述螺纹块的表面螺纹安装有与转杆滑动连接的调节筒，所述调节筒的底部铰接有调节板。通过设置的调节组件，解决了现有的包覆机的切割刀具大多都只能水平或上下移动，难以进行切割角度调节，容易影响保温棉的包覆效果，降低了该新型的实用性的问题，便于操作者使用，大大提高了该新型的实用性。
一种保温棉包覆机切割结构

[实用新型]一种外置防护结构的热力管道-CN202223495402.2有效
发明人：徐斌;徐雷军;吴旭君 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： F16L3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种外置防护结构的热力管道，包括安装座，安装座的外侧设置有固定组件，安装座的上端部设置有防护组件，防护组件包括一端与安装座的上端部固定连接的支撑块，支撑块的上端部铰接有转动环，转动环的外侧滑动连接有一端贯穿并延伸至转动环内侧的连接杆，连接杆位于转动环内侧的一端固定连接有抵块，安装座的上端部滑动连接有一端延伸至其内部的支撑杆。该外置防护结构的热力管道，通过固定架上的转动块与限位块，使固定架将连接块罩住，并将转动块上的限位块挤压连接块内部后，即可固定住转动环，而拉动限位块与连接块分离，即可选择转动环与热力管道分离，提高工作人员现场装配或拆卸防护结构的效率。
一种外置防护结构热力管道

[实用新型]一种新型纳米复合保温结构-CN202223304569.6有效
发明人：吴旭君;徐斌;徐雷军 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： F16L59/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型纳米复合保温结构，包括第一纳米SiC抗氧化耐磨层，所述第一纳米SiC抗氧化耐磨层底部粘连有第一保温层，所述第一保温层的底部粘连有三维编织物，所述三维编织物的底部粘连有第二纳米SiC抗氧化耐磨层，所述第一保温层的内部设置有保温机构，所述三维编织物的内部设置有防火组件，所述保温机构包括与第一纳米SiC抗氧化耐磨层底部粘连的发泡聚苯乙烯板。该新型纳米复合保温结构，通过设置第一纳米SiC抗氧化耐磨层和第二纳米SiC抗氧化耐磨层不易磨损，经久耐用，通过发泡聚苯乙烯板，聚氨酯泡沫层，挤塑聚苯层可以有效的增加保温效率，通过三维编织物，丝状高弹性改性聚乙烯环和纳米磷系阻燃剂，可以有效的增加防火效果。
一种新型纳米复合保温结构

[发明专利]一种SGT器件制作方法-CN202310125101.0在审
发明人：汪国军;王友伟;杨强;方合;徐雷军 -专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本申请提供了一种SGT器件制作方法，涉及半导体技术领域。首先提供一包含沟槽的外延片，再沿外延片与沟槽的表面淀积场氧层，沿沟槽内淀积第一多晶硅并进行回刻，接着刻蚀沟槽内的部分第一多晶硅，以形成槽内多晶层，再对场氧层进行减薄，并露出槽内多晶层的头部，去除槽内多晶层的头部，以使槽内多晶层的表面低于或平行于外延片的表面，并去除减薄后剩余的场氧层，接着沿去除场氧层后的位置生长栅氧层，再沿沟槽内淀积第二多晶硅并进行回刻，以形成栅极层，制作SGT器件的电极。本申请提供的SGT器件制作方法具有提升了整个SGT器件的电学性能的优点。
一种 sgt 器件制作方法

[实用新型]热力管道保温管用高效保温保护结构-CN202223108665.3有效
发明人：徐斌;吴旭君;徐雷军 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： F16L59/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及热力管道保温管用高效保温保护结构，包括热力管道，所述热力管道的外表面设置有上保护壳和下保护壳，所述上保护壳和下保护壳的正面设置有安装机构，所述安装机构包括有连接块，所述连接块的背面与上保护壳的正面固定连接，所述下保护壳的正面固定安装有安装块。该热力管道保温管用高效保温保护结构，通过设置有安装机构，使得工作人员在连接上保护壳和下保护壳更加方便，进而使得工作人员安装作业的劳动强度降低，为工作人员的工作提供便利，解决了工作人员通过多个法兰连接上保护壳和下保护壳的过程较为麻烦的问题，进而使得高效保温保护结构在热力管道保温方面上的实用性增强。
热力管道保温管用高效保护结构

[实用新型]热力输送管道保温节能支座-CN202223108644.1有效
发明人：吴旭君;徐斌;徐雷军 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： F16L3/00 文献下载
摘要：本申请涉及热力输送管道保温节能支座，包括输送管和连接套，所述输送管位于所述连接套的内侧，所述连接套的内壁上设置有磁悬浮组件，所述磁悬浮组件包括固定安装在所述连接套内壁上的电磁铁，所述输送管的外壁上固定安装有保温棉，所述保温棉的外部上固定安装有下永磁体和上永磁体，所述电磁铁包括两个。该热力输送管道保温节能支座，通过设置用于固定支撑的连接套、固定座内部设置电磁铁、设置连接套外部的上永磁体和下永磁体，能够实现由磁力排斥安装输送管悬浮，从而直接减少由输送管和支座的接触散热效果，减少了能量损耗，提高了节能保温性，通过设置保温棉包裹输送管，有利于输送管的保温，提高了装置的实用性。
热力输送管道保温节能支座

[发明专利]一种热力管道保温节能方法-CN202211471208.2在审
发明人：徐斌;吴旭君;徐雷军 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： F16L59/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种热力管道保温节能方法，所述保温节能方法如下：步骤一：在热力管道的外壁涂刷防锈层；步骤二：在防锈层的外侧包覆保温层；步骤三：在保温层的外侧包覆隔热层；步骤四：在隔热层的外侧涂刷防水层；步骤五：涂刷防水层后包覆保护层；所述防锈层为防锈底漆，涂刷1‑3遍，防锈底漆的涂刷有助于增加热力管道的防锈性能；所述保温层为预制保温瓦、聚氨酯硬质泡沫塑料、棉毡中的一种；本发明的有益效果是：保温层和隔热层的增设增加了热力管道的保温效果，减少热力管道使用时造成热量的流失；聚酯橡胶防水涂料的涂刷，增加了热力管道的防水性能。
一种热力管道保温节能方法

[实用新型]一种玻纤布黏粘机的压实结构-CN202222804989.4有效
发明人： 徐雷军;吴旭君;徐斌 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B30B9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种玻纤布黏粘机的压实结构，包括工作台，所述工作台内设有压实结构，所述压实结构包括固定安装于工作台前表面的工作架，所述工作架前表面开设有放置槽，所述工作架内活动连接有玻纤布，所述工作架内活动连接有钢管，所述工作架内固定连接有第一电动推杆。该一种玻纤布黏粘机的压实结构，通过设置工作架可以对加工所需部件进行放置，通过设置放置槽、玻纤布、钢管、第一电动推杆和第一电机，可以通过第一电机带动钢管旋转，从而让玻纤布缠绕钢管，通过设置横向移动机构、纵向移动机构和切割刀可以对剩余的玻纤布进行切割，通过设置第三电动推杆、第二电机、弧形板和第四电动推杆可以对钢管外表面的玻纤布进行压实。
一种玻纤布黏粘机结构

[实用新型]一种保温棉包覆机的厚度控制结构-CN202222805002.0有效
发明人： 徐雷军;吴旭君;徐斌 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B29C63/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种保温棉包覆机的厚度控制结构，包括安装板，所述安装板的底部固定连接有数量为四个的支撑块，所述安装板的顶部活动连接有包覆物，所述安装板的顶部设置有厚度控制机构，所述厚度控制机构包括与安装板顶部固定连接且数量为两个的活动仓，两个所述活动仓的内部均固定连接有固定块。该保温棉包覆机的厚度控制结构，通过设置厚度控制机构，启动两个同步电机，两个同步电机带动两个螺杆转动，两个螺杆带动顶部包覆轮和底部包覆轮进行移动，通过调节顶部包覆轮和底部包覆轮之间的距离就可以控制顶部保温棉和底部保温棉的厚度，通过两个同步电机进行调节大大节约了时间，大大提高了工作效率。
一种保温棉包覆机厚度控制结构

[实用新型]一种管道玻璃纤维布缠绕机的调节结构-CN202222804967.8有效
发明人： 徐雷军;吴旭君;徐斌 -专利权人：江苏德威节能集团有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B65H19/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种管道玻璃纤维布缠绕机的调节结构，包括底座、立柱和收卷机构，所述收卷机构由减速电机、安装件和收卷辊组成，所述立柱的外部设有延伸至其内的调节机构，所述立柱的外部设有张力调整机构；所述调节机构包括固设在立柱外部的伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定安装有传动齿轮，所述传动齿轮的外部啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的内部固定安装有延伸至其外的丝杠。该管道玻璃纤维布缠绕机的调节结构，通过收卷机构对玻璃纤维布进行收卷，收卷完毕后，通过启动伺服电机带动丝杠旋转，同时使移动块带动滑座和固定台位移，此时支撑座与收卷辊接触，达到了便于下料，提高下料安全的优点。
一种管道玻璃纤维缠绕调节结构

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