专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]自动取坩埚装置-CN202111196853.3有效
  • 夏孝平;贺贤汉;徐淑文 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2021-10-14 - 2023-03-21 - B28B13/04
  • 本发明涉及机械技术领域。自动取坩埚装置,其特征在于,包括AGV小车;还包括上下设置的上框架以及下框架,下框架安装在AGV小车上,下框架的左右两端安装有轴承座,轴承座与上框架通过轴承转动连接,上框架与下框架之间通过一电动角度调节机构相连,电动角度调节机构用于调节上框架的倾斜角度;上框架的前侧通过螺栓固定有竖直设置的背板;上框架上通过螺栓安装有至少两个从左至右排布的料辊。本专利通过AGV小车代替人工,实现对坩埚的运输,无需运输轨道。搬运方向。本专利通过上框架、下框架以及电动角度调节机构,进而实现对上框架倾斜角度的调整。
  • 自动坩埚装置
  • [发明专利]一种碳化硅炉腔内用导电结构-CN202210978100.6在审
  • 徐淑文;贺贤汉;夏孝平 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2022-08-15 - 2022-12-13 - C30B29/36
  • 本发明提供一种碳化硅炉腔内用导电结构,包括结构主体,结构主体用于向密封腔体内接出一电路回路,结构主体包括籽晶杆组件、坩埚轴组件、密封腔体、石墨坩埚组件、籽晶和溶液,籽晶杆组件的上部位于密封腔体的上侧,籽晶杆组件的下部位于密封腔体内部,坩埚轴组件的下部分位于密封腔体的下侧,坩埚轴组件的上部分位于密封腔体的内部,坩埚轴组件在密封腔体内沿轴心方向升降及绕轴心方向旋转;密封腔体上开通用于电流进出的接口,进出接口形式相同。在不影响籽晶和坩埚升降及旋转运动的前提下,对黑盒内的长晶情况进行监测或控制,以配合长晶工艺所需,更好实现碳化硅晶体生长。
  • 一种碳化硅炉腔内用导电结构
  • [发明专利]一种新型的感应加热结构-CN202210959130.2在审
  • 赖章田;贺贤汉;夏孝平;陈有生;徐淑文;张磊 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2022-08-10 - 2022-12-06 - F27B3/10
  • 本发明涉及碳化硅长晶设备技术领域。一种新型的感应加热结构,包括加热器本体,加热器本体包括线圈组件以及支撑线圈组件的安装底座,安装底座通过对中结构安装在碳化硅长晶炉内;对中结构包括设置在安装底座下侧的外凸的定位台阶以及开设有在碳化硅长晶炉中心位置的内凹的台阶孔,台阶孔用于嵌入定位台阶;安装底座上开设有周向排布的腰形孔,安装底座通过穿过腰形孔的螺丝固定在碳化硅长晶炉内;安装底座上固定有向上延伸的中空柱;线圈组件包括支撑脚,支撑脚上开设有穿过调节螺杆的穿孔,调节螺杆的底部与中空柱螺纹连接,调节螺杆的顶部螺纹连接有锁紧螺母。本发明通过对中结构,实现了线圈组件的快速对中安装以及位置调节。
  • 一种新型感应加热结构
  • [发明专利]一种炉底盘开闭机构-CN202211003506.9在审
  • 赖章田;贺贤汉;陈有生;夏孝平;徐淑文;唐明 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2022-08-19 - 2022-11-29 - C30B35/00
  • 本发明涉及碳化硅长晶设备技术领域。一种炉底盘开闭机构,包括炉体,炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘;还包括用于锁定炉底盘以及松开炉底盘的旋转开闭组件,旋转开闭组件包括旋转定位环,下法兰与旋转定位环转动连接;旋转开闭组件包括驱动旋转定位环周向转动的驱动机构,驱动机构与旋转定位环传动连接;旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件;炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面,导向斜面从邻近开口槽处至远离开口槽处倾斜向下。本发明将上开盖的形式,改良为下开盖形式。通过旋转开闭机构的旋转定位环的旋转进而实现炉底盘的锁定以及松开的切换。
  • 一种底盘开闭机构
  • [发明专利]一种单晶炉大直径旋板阀阀芯-CN202211022923.8在审
  • 夏孝平;贺贤汉;徐淑文;赖章田 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2022-08-25 - 2022-11-22 - F16K3/314
  • 本发明提供一种单晶炉大直径旋板阀阀芯,包括旋板阀阀芯,旋板阀阀芯用于大直径半导体单晶炉、硅部件单晶炉,旋板阀阀芯包括气镶焊接组件、上水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件、旋转轴、第一支板、第二支板、定位销、通水波纹管和O形密封圈,上水冷板焊接组件和下水冷板焊接组件分别与气镶焊接组件焊接,第二支板与气镶焊接组件焊接,且第二支板的通气孔与气镶焊接组件的气孔相对,旋转轴与第一支板焊接,且第一支板上的气孔与旋转轴上的气孔相对;旋转轴与第一支板焊接好的组件再与气镶焊接组件、水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件组合焊接组件进行最后一次的焊接,焊接之前将定位销插入第一支板,从而使第一支板和第二支板的定位孔完整对接。
  • 一种单晶炉大直径旋板阀阀芯
  • [发明专利]一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构-CN202210595903.3在审
  • 刘伟;贺贤汉;夏孝平;徐淑文;彭文井 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2022-05-17 - 2022-08-30 - C30B15/30
  • 本发明涉及机械技术领域。一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构,包括旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动机构,还包括籽晶绳升降组件;籽晶绳升降组件包括防护罩、磁流体旋转密封件、球轴承、T形螺母、滑动螺杆、籽晶绳以及缠绕有籽晶绳的绕线轮,绕线轮上开设有螺旋状设置的绕线槽;旋转轴通过磁流体旋转密封件与防护罩相连围成空腔,空腔内安装有支撑球轴承的轴承座;旋转轴上以轴向为滑动方向滑动连接有位于空腔内的滑动螺杆;磁流体旋转密封件的外圈与T形螺母通过螺钉可拆卸连接,T形螺母位于空腔内;T形螺母与滑动螺杆设有相互匹配的螺纹结构,T形螺母与滑动螺杆通过螺纹结构螺纹连接,滑动螺杆上可拆卸连接有绕线轮。籽晶绳可原位置升降。
  • 一种半导体硅单晶炉籽晶机构
  • [实用新型]熔融成型机加料装置-CN202122535140.7有效
  • 徐淑文;贺贤汉;夏孝平 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2021-10-21 - 2022-06-07 - B28B13/02
  • 本实用新型涉及机械技术领域。熔融成型机加料装置,包括一安装板,还包括一离心运动机构,离心运动机构包括砂盘以及带动砂盘旋转的驱动机构,驱动机构安装在安装板上;还包括送料机构,送料机构包括至少两个料筒、汇合筒以及出砂管,所有的料筒通过塑料管与汇合筒导通,塑料管上安装有阀门;汇合筒安装在安装板上,汇合筒与出砂管导通,出砂管竖直设置,且出砂管的出料口位于砂盘的上方,且正对砂盘。本专利通过优化加料装置的结构,便于实现了自动加料。解决了人工加砂繁琐的问题,解决了人工加砂壁厚不均匀的问题,节约了石英砂的使用量。阀门可以是管夹阀。通过管夹阀控制石英砂流量,通过驱动机构控制砂盘匀速加砂。
  • 熔融成型加料装置
  • [发明专利]一种密闭式熔融机水冷熔融室-CN202111421581.2在审
  • 夏孝平;贺贤汉;徐淑文 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2021-11-26 - 2022-04-29 - F27B14/00
  • 本发明提供一种密闭式熔融机水冷熔融室,包括熔融室主体,熔融室主体包括四周侧板、顶板、两块前门、左右两块侧门、底部支架和底板盖板,顶板和四周侧板是由多个水冷板拼接构成的板体,水冷板内部均设有进出水口和水道结构,水冷板包括第一水冷板、第二水冷板和第三水冷板;第一水冷板的上层开设有腰型孔,第二水冷板的上层开设有视窗,顶板由第一水冷板、第二水冷板和第三水冷板通过螺栓拼接而成的板体,四周侧板是由第二水冷板和第三水冷板通过螺栓拼接构成的板体;两块前门包括左前门和右前门,两块前门位于四周侧板的前侧板上,且左前门和右前门分别通过销轴与水冷板连接,底部支架上设有两个相对设置的气缸支座,气缸支座通过支撑座固定有气缸。
  • 一种密闭式熔融水冷
  • [发明专利]碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构-CN202111170840.9在审
  • 徐淑文;贺贤汉;夏孝平;赖章田;刘海;曹豪杰 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2021-10-08 - 2022-03-22 - C30B29/36
  • 本发明涉及半导体设备领域。碳化硅炉专用籽晶升降旋转机构,包括升降机构,升降机构的升降滑台上安装有旋转机构,旋转机构包括一旋转杆,旋转杆与籽晶杆可拆卸连接;旋转杆与籽晶杆上下插接,旋转杆的外壁上螺纹连接有锁紧螺母,锁紧螺母的外壁上设有一环状凹槽;还包括一锁紧圈,锁紧圈包括两个夹紧圈,两个夹紧圈的一端相互铰接,两个夹紧圈的另一端可拆卸连接,两个夹紧圈的内壁设有嵌入环状凹槽的突起;两个夹紧圈的下端设有下端台阶;籽晶杆的顶部设有与下端台阶的顶部相抵的上端台阶,上端台阶的下侧面与下端台阶的顶面相抵。本专利实现了籽晶杆的快速更换。
  • 碳化硅专用籽晶升降旋转机构

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