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- [发明专利]多路测量式速度测量传感器-CN201811365624.8有效
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许诚昕;王建波;杨明欣;蒋守光;赵建;徐承成
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成都信息工程大学
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2018-11-16
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2023-07-21
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G01P3/36
- 本发明涉及多路测量式速度测量传感器,包括激光束一,入射至三角反射镜的所述第一反射面,经第一反射面反射后入射至所述第二反射面;分光镜一,将激光束一分为激光束二与激光束三;所述棱镜一,用于使入射的激光束二发生折射,并透射出去;折射镜一,用于接收从所述棱镜中透射出的激光束二,并使激光束二发生折射;光电探测器一,用于接收经折射镜一折射后的激光束二,并测量其入射位置;光电探测器二,用于接收经折射镜二折射后的激光束三,并测量其入射位置。本发明通过折射镜的设置,降低光束入射至光电探测器的角度,提高了光电探测器测量稳定性,而且根据三角关系,传感器的测量精度得到进一步提高。
- 测量速度传感器
- [实用新型]一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪-CN201520967088.4有效
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许诚昕;徐承成;李运洪;刘俊;张白
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成都信息工程大学
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2015-11-27
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2016-07-20
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G01B9/02
- 本实用新型公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时在测量过程中,采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。
- 一种波长修正光束阶梯反射激光干涉仪
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