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[实用新型]多段式外延炉排气管道及管道加热报警装置-CN202222893338.7有效
发明人：姚均豹;郭建亮 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多段式外延炉排气管道及管道加热报警装置，包括多段管道，所述管道与所述管道之间通过真空卡箍固定在一起组成排气管道，每段所述管道外部贴合有橡胶加热带；还包括温度报警控制电路，所述温度报警控制电路分别与所述橡胶加热带的信号线和热电偶TC电连接；所述温度报警控制电路用于设定温度阈值，用于接收橡胶加热带传送的温度信息，并根据接收到的温度信息判断是否发出报警信号。本实用新型能够防止废气在排气管道内壁形成硅化物，防止管道堵塞，且易于拆卸、清理和保养，有利于降低劳动成本和生产成本，提高生产效率。
段式外延排气管道加热报警装置

[实用新型]坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备-CN202223051791.X有效
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备，所述支撑组件包括：坩埚托，所述坩埚托支撑于坩埚的底部，所述坩埚托形成第一腔体；坩埚轴，所述坩埚轴与所述坩埚托连接，所述坩埚轴形成第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通形成冷却腔；分隔组件，所述分隔件组件置于所述第一腔体和第二腔体中，所述分隔组件将所述冷却腔分隔成进液通道和出液通道。根据本实用新型的坩埚的支撑组件，通过在坩埚托内设置第一腔体，在坩埚轴内设置第二腔体，并在第一腔体与第二腔体形成的冷却腔中设置分隔组件，使坩埚托与坩埚轴的冷却效率提升，冷却流道的整体结构更为紧凑，设计更为合理，且对坩埚托的冷却效果更好。
坩埚支撑组件具有晶体生长设备

[实用新型]检测晶棒晃动的系统和晶体生长炉-CN202223119888.X有效
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种检测晶棒晃动的系统和晶体生长炉，检测晶棒晃动的系统包括待检件和距离检测组件，待检件适于连接于拉晶绳的下端，待检件具有至少三个检测面，多个检测面同轴设置且分别处于不同高度，第一检测面和第二检测面上下间距为h1，第一检测面和第三检测面上下间距为h2，h2＞h1，距离检测组件包括多个距离检测元件，每个距离检测元件的检测位置适于与第一检测面的外周沿上下正对，其中，每个距离检测元件用于检测其与位于其正下方的对应检测面之间的上下距离。根据本实用新型的检测晶棒晃动的系统，可以准确判断晶棒是否发生晃动以及晃动幅度大小，以便及时做出相应处理。
检测晃动系统晶体生长

[实用新型]防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备-CN202223212855.X有效
发明人：颜子棋;李向阳 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备，防晶棒坠落装置包括：安装座和托臂，托臂可转动地设于安装座上，托臂具有防脱状态，在防脱状态，托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，托臂在第一防坠位置、第二防坠位置和位于第一防坠位置和第二防坠位置之间的任一位置，托臂均可承接晶棒。根据本实用新型的防晶棒坠落装置，通过安装座上设置的可活动托臂，可以在取棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。
防晶棒坠落装置具有晶体生长设备

[发明专利]防晶棒坠落装置、晶体生长设备及防止晶棒坠落方法-CN202211532815.5在审
发明人：颜子棋;李向阳 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种防晶棒坠落装置、晶体生长设备及防止晶棒坠落的方法，防晶棒坠落装置包括：安装座和托臂，托臂可活动地设于安装座上，托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，在第一防坠位置时，托臂位于晶棒的下侧，托臂适于与晶棒的尾部的外表面接触，或，托臂适于与尾部上下相对，以使托臂可承接晶棒；在第二防坠位置时，托臂位于晶棒的径向外侧，托臂与晶棒的等径部的外表面接触，或，托臂与等径部的外表面之间的间距小于预设防坠间距，以使托臂可承接晶棒。根据本发明的防晶棒坠落装置，可以在取棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。
防晶棒坠落装置晶体生长设备防止方法

[发明专利]检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法-CN202211478357.1在审
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测晶棒晃动的系统、晶棒晃动的检测方法和校准方法，检测晶棒晃动的系统包括待检件和距离检测组件，待检件适于连接于拉晶绳的下端，待检件具有至少三个检测面，多个检测面同轴设置且分别处于不同高度，第一检测面和第二检测面上下间距为h1，第一检测面和第三检测面上下间距为h2，h2＞h1，距离检测组件包括多个距离检测元件，每个距离检测元件的检测位置适于与第一检测面的外周沿上下正对，其中，每个距离检测元件用于检测其与位于其正下方的对应检测面之间的上下距离。根据本发明的检测晶棒晃动的系统，可以准确判断晶棒是否发生晃动以及晃动幅度大小，以便及时做出相应处理。
检测晃动系统方法校准

[发明专利]拉晶方法和晶体生长装置-CN202211671912.2在审
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种拉晶方法和晶体生长装置，所述拉晶方法包括：根据籽晶的预设晶转频率范围确定籽晶绳的共振长度的区间S，所述籽晶绳的共振长度为使籽晶的共振频率符合所述晶转频率范围的所述籽晶绳的长度；控制所述籽晶绳以固定的悬吊长度L提拉并旋转所述籽晶，生长出晶棒，其中，L0且根据本发明的拉晶方法，通过控制籽晶绳的悬吊长度可以使共振晶转不在预设晶转频率范围，进而可以避免共振而引发晶棒晃动，从而可以提高晶棒的生长质量。同时，采用固定的悬吊长度可以精确控制共振频率不在晶转频率范围内，进而可以更准确的避免共振而引发的晃动。
方法晶体生长装置

[发明专利]坩埚组件和晶体生长装置-CN202211614527.4在审
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C30B15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种坩埚组件和晶体生长装置，坩埚组件包括：石英坩埚具有用于盛放原料的容纳腔；石墨坩埚设于石英坩埚外，且石墨坩埚的底壁与石英坩埚的底壁间隔设置以形成间隔空间；承载组件设于间隔空间内，承载组件包括承载台，承载台设于石英坩埚的下侧，承载台适于在石英坩埚变形时承载石英坩埚且朝向石墨坩埚的内侧壁移动；支撑件，支撑件承载石英坩埚，且沿承载组件的周向设置，支撑件中设有移动件，移动件的一端与承载台相抵，当石英坩埚变形时，移动件适于在承载台移动的推力作用下支撑石英坩埚以使石英坩埚向容纳腔方向形成凸起。根据本发明的坩埚组件，能够避免石英坩埚软化后堆积，确保晶体中的含氧量分布均匀，减少晶体的体微缺陷。
坩埚组件晶体生长装置

[发明专利]籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉-CN202211651845.8在审
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉，单次长晶过程所需的籽晶的最小长度为L1，籽晶夹头包括外壳和第一驱动组件，外壳内限定出盛放腔，盛放腔包括第一盛放腔，第一盛放腔用于放置生长位籽晶，第一盛放腔的底部形成有通口，以使位于第一盛放腔的生长位籽晶的下端适于通过通口伸出，第一盛放腔的高度为L2，L2≥2*L1；第一驱动组件设于外壳且用于驱动位于第一盛放腔的生长位籽晶向下移动。根据本发明的籽晶夹头，可以缩短籽晶的更换时长，无需频繁更换籽晶，由此提升籽晶的更换效率。
籽晶夹头控制方法晶体生长

[发明专利]用于抛光机的行星轮的承载推车-CN202111352314.4有效
发明人：王凤康 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于抛光机的行星轮的承载推车，包括：储液箱，储液箱限定出适于存放清洗液的储液腔，行星轮适于放置在储液腔内，储液箱设有多个气孔，每个气孔与储液腔连通；水道件，水道件设于储液箱的外侧壁，水道件与储液箱之间限定出水道，水道与气孔连通，水道件设有与水道连通的进气口；进气室，进气室的一端与进气口连通，进气室的另一端设有单向阀。根据本发明的用于抛光机的行星轮的承载推车，在行星轮不使用时，可将行星轮浸泡在清洗液中，利用外置气枪与进气室相连，以加压鼓泡对行星轮进行清洗，从而实现对行星轮的有效清洁和可靠存放，有利于保证制程工艺和产品质量。
用于抛光机行星承载推车

[发明专利]消除间隙型缺陷B-swirl的方法、硅片及电子器件-CN202111450289.3有效
发明人：王振;李青海;许武警 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明公开了消除间隙型缺陷B‑swirl的方法、硅片及电子器件，所述方法包括：(1)惰性氛围下，将具有间隙型缺陷B‑swirl的单晶硅片升温至第一预设温度，保温；(2)氮气氛围下，将步骤(1)得到的所述硅片升温至第二预设温度，保温；(3)将步骤(2)得到的所述硅片降温至第三预设温度，停止氮气氛围；(4)惰性氛围下，步骤(3)得到的所述硅片升温至第四预设温度，保温。本发明通过高温快速热处理消除了硅片中的间隙型缺陷B‑swirl，将其转变成完美型晶片，且不产生新的缺陷，提高了硅片的品质，从而实现了不影响IC制程的效果。
消除间隙缺陷 swirl 方法硅片电子器件

[发明专利]清扫装置-CN202111062399.2有效
发明人：张龙飞;张兆新 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B08B9/087 文献下载
摘要：本发明公开了一种清扫装置，清扫装置用于清扫单晶炉的副室，且包括支架、清扫组件、行走组件、多个弹性伸缩杆和第一驱动组件，行走组件适于支撑在副室的壁面上以沿副室的轴向竖直运动，行走组件包括多个行走架和多组行走轮组，多个行走架沿支架的周向依次设置，每个行走架的径向内端与支架枢转连接，以使每组行走轮组与支架之间的径向距离可调节，每个弹性伸缩杆相对于支架的轴向倾斜设置且长度可调，且每个弹性伸缩杆的长度两端分别与支架和行走架枢转连接，且每个弹性伸缩杆推动行走架以使行走轮组远离支架。根据本发明的清扫装置，便于实现单晶炉副室的自动化全面清洁，有效提升清洁效率，且保证了操作人员的作业安全。
清扫装置

[发明专利]可竖移止晃的提拉机构及其使用方法-CN202210342263.5有效
发明人：陈俊宏 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种可竖移止晃的提拉结构及其使用方法，提拉结构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶，籽晶夹的至少部分外周面为回转形的配合面；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位件，限位件为一个且环绕籽晶夹设置，或者限位件为多个且环绕籽晶夹分布，限位件构造成能够绕软轴的旋转轴线旋转，且限位件在第一位置和第二位置之间可竖向移动，限位件的朝向软轴的旋转轴线的至少部分表面为限位面；在第一位置时限位件的限位面位于配合面的上方，在第二位置时限位面位于配合面的高度范围内。本发明的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。
可竖移止晃机构及其使用方法

[发明专利]晶体生长炉的装料称重装置及其称量方法-CN202011629230.6有效
发明人：丁春雷;张兆新 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01G13/295 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶体生长炉的装料称重装置及其称量方法，晶体生长炉的装料称重装置包括箱体、称重组件和导向机构，称重组件的至少部分位于安装空间外，称重组件包括承载平台和称重单元，承载平台通过升降机构可上下移动地设在箱体上，且与升降机构可分离地配合，称重单元用于称量承载平台上的承载重量以输出称重信息，导向机构设置在承载平台和箱体之间，导向机构包括滑轨和滑块，滑轨设在箱体上且沿上下方向延伸，滑块设在承载平台上且与滑轨滑动配合。根据本发明的晶体生长炉的装料称重装置，可以在晶体生长炉装料过程中实现对物料的准确称量，尤其可以满足较大质量/体积的原料的精准测量，且提升了装料效率，避免了物料的二次污染。
晶体生长装料称重装置及其称量方法

[实用新型]晶棒运输车-CN202223447790.7有效
发明人：孙高伟;丁春雷;王培培;陈建 -专利权人： 徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B62B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶棒运输车，所述晶棒运输车包括：车架；支撑台，所述支撑台沿第一方向延伸且包括沿第二方向间隔排布的两个；第一弹性件，所述第一弹性件连接在所述支撑台与所述车架之间，以使所述支撑台相对于所述车架在所述第二方向上可活动；减振托架，所述减振托架包括多个，多个所述减振托架分别设于两个所述支撑台上，多个所述减振托架构造成适于托举晶棒并为所述晶棒减振。根据本实用新型的晶棒运输车，通过车架上设置的第一弹性件及减振托架，可以增加减振效果，减小振动幅度，进而对晶棒实现减振保护，降低晶棒在运输过程中因振动而引起的损坏。
运输车

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