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[发明专利]异构单芯片单向注入锁定半导体激光器及其制备方法-CN202210141450.7在审
发明人：冯琛;周帅;廖苗苗;彭芳草;张靖;段利华 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01S5/026 文献下载
摘要：本发明涉及异构单芯片单向注入锁定半导体激光器及其制备方法，包括：在硅晶圆上制备硅直波导和微环，形成硅基微环芯片；并在硅基微环芯片与光放大芯片键合的部位制备锁模结构；反向生长光放大芯片的外延结构并同硅基微环芯片键合；对光放大芯片进行减薄；制作光放大芯片的宽脊波导；制备绝热耦合器；制作共面电极；在硅基微环芯片的微环上方集成磁光晶体并制作磁光芯片电极。本发明中，将磷化铟基、硅基以及钇铁石榴石三种材料通过晶圆键合方式得到异构单芯片单向注入锁定半导体激光器，单芯片实现光、电隔离的同时，实现高效率光耦合；为单向注入锁定激光器平面集成化制造提供了一种可行的制备方法，解决了目前难以实现平面集成化制造的难题。
异构单芯片单向注入锁定半导体激光器及其制备方法

[实用新型]一种可更换的治具及CNC机床-CN202120740981.9有效
发明人： 彭芳草;应中虎;陈文忠;邓奎志 -专利权人：东莞智动力电子科技有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及CNC技术领域，尤其是指一种可更换的治具及设置有该治具的CNC机床，该治具包括底座和生产座，所述底座设置有a个第一定位孔、b个安装孔以及c个定位销，第一定位孔用于装设外界机台的定位柱进行定位，安装孔用于装设螺丝并通过螺丝与外界的机台进行固定；所述生产座设置有c个第二定位孔，第二定位孔与定位销一一对应装设，所述底座与所述生产座之间设置有固定结构，a、b与c均为大于2的自然数。本实用新型通过在底座设置有第一定位孔和安装孔，用于与机台大平面上的定位柱进行进行以及固定，从而实现了无需拆卸大平面即可进行底座和生产座的设置，更换效率更高，并降低了成本。
一种更换 cnc 机床

[发明专利]一种镜面油墨的固化工艺-CN202110388952.5在审
发明人： 彭芳草;王清超;卢华波 -专利权人：东莞智动力电子科技有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B41M7/00 文献下载
摘要：本发明涉及手机后盖LOGO技术领域，尤其是指一种镜面油墨的固化工艺，包括以下步骤：A.把油墨印刷至复合板材上；B.把复合板材置于35‑45℃下进行低温烘烤，直至油墨在复合板材上定型；C.对经低温烘烤后的复合板材进行高温烘烤，以使得油墨固化在复合板材上。本发明通过低温烘烤的方式替代传统的自然风干，能够大幅度缩短油墨定时所需的时间，从而提升了效率，并减少了油墨因定型所需长可能会导致的图案变形。
一种油墨固化工艺

[发明专利]基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器-CN201710873241.0有效
发明人：王卓然;袁国慧;彭芳草;管磊;彭真明 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，包括第一直波导、微环谐振腔和第二直波导，微环谐振腔位于第一直波导和第二直波导之间，第一直波导和微环谐振腔耦合形成耦合点，第一直波导上设有一维光子晶体组，一维光子晶体组水平的分布在第一直波导上；一维光子晶体组包括非均匀圆孔组和均匀圆孔组，第一直波导上从两端到耦合点的方向上依次对称的设有均匀圆孔组和非均匀圆孔组。本发明所提供的基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，通过在输入直波导上刻蚀一维光子晶体，相较于传统微环谐振腔所产生的对称线型(洛伦兹线型)，非对称线型在传感领域更加有优势。
基于光子晶体耦合微环腔生物传感器

[发明专利]基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器制备方法-CN201710873569.2有效
发明人：王卓然;袁国慧;管磊;彭芳草;彭真明 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01N21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器制备方法，包括以下步骤：S1、清洗SOI样品；S2、将经过预处理的SOI样品放置在170～200℃的恒温箱中预烘2～5min；S3、采用旋涂的方式涂覆光刻胶；S4、将样品放置在170～200℃温度的恒温箱中烘10～15min；S5、对样品进行电子束曝光，电子束曝光图形为基于一维光子晶体的SOI微环谐振腔；S6、对曝光处理后的样品依次进行显影、定影；S7、采用ICP对样品进行刻蚀操作；S8、对刻蚀处理后的样品进行清洗。本发明制备方法制作的SOI微环光子生物传感器具有灵敏度高、探测极限小、易于集成等特性，有助于提升光学生物传感器的传感性能。本发明的制备方法对设备要求简单，工艺上容易实现。
基于光子晶体 soi 生物传感器制备方法

[发明专利]一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器-CN201710873081.X有效
发明人：王卓然;袁国慧;管磊;彭芳草;彭真明 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于一维光子晶体的SOI微环光子生物传感器，包括输入输出直波导和微环谐振腔，输入输出直波导与微环谐振腔耦合构成单直波导耦合微环腔，微环谐振腔是刻蚀有一维光子晶体的微环，微环上刻蚀的一维光子晶体包括由非均匀孔和在非均匀孔两端刻蚀的均匀孔构成。该生物传感器通过在普通微环上刻蚀一维光子晶体，由于一维光子晶体的与微环共同的作用，使得透射谱线形成Autler–Townes splitting(ATS)，通过测量分裂开的两个峰值之间个相对距离的变化来探测溶液折射率和浓度的变化信息。
一种基于光子晶体 soi 生物传感器

[发明专利]基于一维光子晶体耦合微腔的光学生物传感器制备方法-CN201710873280.0有效
发明人：王卓然;袁国慧;彭芳草;管磊;彭真明 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于一维光子晶体耦合微腔的光学生物传感器制备方法，包括以下步骤：S1、清洗SOI样品；S2、将SOI样品放置在在170～200℃温度的恒温箱中烘2～5min；S3、采用旋涂的方式在样品上涂覆光刻胶；S4、将样品放置在在170～200℃温度的恒温箱中烘10～15min；S5、对样品进行电子束曝光，曝光图形为一维光子晶体耦合微环谐振腔结构；S6、对曝光处理后的样品依次进行显影、定影操作；S7、采用ICP对样品进行刻蚀操作；S8、对样品采用Piranha溶液清洗后，使用DI水冲洗，再采用HF溶液清洗，最后用DI水冲洗。本发明的制备方法制作的光学生物传感器具有灵敏度高、探测极限小、易于集成等特性，对设备要求简单，工艺上容易实现，适合大量生产。
基于光子晶体耦合光学生物传感器制备方法

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