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- [发明专利]氮化镓基晶体管-CN202310678628.6在审
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孙海定;张昊宸
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中国科学技术大学
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2023-06-09
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2023-09-01
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H01L29/207
- 本公开提供一种氮化镓基晶体管,包括:底部结构;背势垒层,设置在底部结构上,背势垒层采用铝元素、镓元素、铟元素与氮元素组合的二元、三元或四元合金,背势垒层的铝元素组分沿背势垒层的生长方向递减,以改变氮化镓基晶体管沟道处的能带结构;沟道层,设置在背势垒层上,沟道层用于提供电流横向流通的通道;势垒层,设置在沟道层上,势垒层用于与沟道层形成异质结,通过极化效应在异质结的界面处形成二维电子气;其中,背势垒层用于限制电子在沟道层中传输,以抑制电流分散。
- 氮化晶体管
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