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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种图形化衬底及其制备方法、LED外延片-CN202211257320.6在审
发明人：张锦宏;张剑桥;向炯;张巳扬;吴先燕;卢建航 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化衬底及其制备方法、LED外延片。制备方法包括：提供蓝宝石基板；蓝宝石基板包括层叠设置的基板本体以及金属离子掺杂层，金属离子掺杂层背离基板本体的一侧表面为蓝宝石基板正面；在蓝宝石基板正面形成掩膜层；利用曝光显影工艺对掩膜层进行图案化处理，以形成掩膜图案；基于掩膜图案，利用干法刻蚀工艺，对蓝宝石基板进行刻蚀，以在蓝宝石基板正面形多个凸起结构，凸起结构中掺杂有金属离子。本申请中，金属离子掺杂层能够吸收曝光时进入蓝宝石基板内部的光，避免出现二次曝光现象，改善掩膜图案均匀性；凸起结构中掺杂的金属离子，能够调节外延膜层的载流子浓度，减少芯片中多余电子的非辐射过程，改善芯片整体性能。
一种图形衬底及其制备方法 led 外延

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