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[实用新型]一种光学膜厚监控系统-CN202222160564.4有效
发明人：徐波;张咏麟;吕启蒙;李卫涛;张新银;龙汝磊;展大伟 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学膜厚监控系统。光学膜厚监控系统包括光源、集光模块、待测光学膜片、探测模块和处理模块；光源分别输出第一光信号和第二光信号，第一光信号依次经过集光模块、待测光学膜片、探测模块的调节后输出监测光信号被处理模块接收；第二光信号经过探测模块后输出参考光信号被处理模块接收，处理模块根据监测光信号和参考光信号计算待测光学膜片的膜层厚度，缩短探测路径，保证膜层监测的精准度，同时降低光学膜厚监控系统的整体体积，提高基板盘载片量和产能。
一种光学监控系统

[实用新型]光学镜头调节机构、膜厚监控系统及真空镀膜装置-CN202222746974.7有效
发明人：徐波;张咏麟;张新银;吕启蒙;李卫涛;展大伟;龙汝磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学镜头调节机构、膜厚监控系统及真空镀膜装置，属于镜头调节技术领域。光学镜头调节机构包括安装基体、多个周向间隔设置于安装基体上的支撑组件、安装盘、多个第一调节组件、柔性密封件和第二调节组件，安装盘可拆卸连接于支撑组件，安装盘沿自身厚度方向凸设有导向部；第一调节组件设置于安装基体，每个第一调节组件的一端均可抵接于安装盘的外边缘，用于推动安装盘；第二调节组件设置在导向部；柔性密封件两端分别连接在通孔的周边区域和安装盘靠近安装基体的一侧；光传输部的下端部穿设于导向部和柔性密封件并穿过通孔内，且上端部抵接于第二调节组件上。本实用新型不破坏真空环境，可以在真空腔体外调节光路的监控位置和焦距。
光学镜头调节机构监控系统真空镀膜装置

[实用新型]一种膜厚监控系统及光学镀膜装置-CN202222160422.8有效
发明人：徐波;张咏麟;吕启蒙;李卫涛;张新银;龙汝磊;展大伟 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种膜厚监控系统及光学镀膜装置，膜厚监控系统包括：光源、投光单元、测试片、受光单元和第一探测模块；测试片设置于基板盘上，光源分别与投光单元连接，受光单元与第一探测模块连接，投光单元出射第一探测光信号至测试片，受光单元接收测试片反射的第二探测光信号。膜厚监控系统采用背反式膜厚检测方式，利用投光单元出射第一探测光信号，并根据测试片反射的第二探测光信号进行膜厚检测，保证镀膜精度，同时合理设置测试片在镀膜腔室中的放置位置，提高基板盘的载片量和产能。
一种监控系统光学镀膜装置