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[发明专利]扫描型探针显微镜-CN202010217142.9有效
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01Q60/04 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描型探针显微镜。扫描型探针显微镜包括壳体、致动器、至少一个弹性构件、探针。致动器包含圆筒状的压电扫描器和试样保持构件。压电扫描器与壳体呈同轴状地配置于壳体内，并且其第1端固定于底部。试样保持构件设于压电扫描器的第2端。至少一个弹性构件配置为夹在压电扫描器和试样保持构件中的至少一者与壳体之间。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜和分析方法-CN201880086991.6有效
发明人：新井浩;平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01Q30/04 文献下载
摘要：扫描型探针显微镜(1)具备控制部(15)。控制部(15)包括信号获取处理部(151)、图像获取处理部(152)、扫描条件变更处理部(154)、扫描处理部(155)以及噪声判定处理部(156)。在扫描型探针显微镜(1)中，在去除试样的表面图像中含有的噪声的情况下，扫描条件变更处理部(154)变更扫描条件。并且，信号获取处理部(151)获取来自检测部(12)的输出信号。图像获取处理部(152)基于该输出信号来获取试样(S)的表面图像。噪声判定处理部(156)基于通过扫描条件变更处理部(154)变更了扫描条件时的输出信号的变化或者试样(S)的表面图像的变化，来判定输出信号中是否含有噪声。因此，在输出信号中含有噪声的情况下，能够正确地判定该情况。
扫描探针显微镜分析方法

[发明专利]表面分析装置-CN201910984278.X有效
发明人：小林宽治;平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-10-16 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：提供一种表面分析装置。表面分析装置具备：载置试样的试样台；以及以与试样台相向的方式配置的悬臂及驱动悬臂的悬臂驱动部。驱动机构构成为：在取出试样台时，以使测定部与试样台在悬臂与试样台相向的第一方向上分离的方式使试样台相对于测定部相对地进行位移，之后使试样台在与第一方向交叉的方向上滑动。
表面分析装置

[发明专利]数据校正方法、记录介质、图像处理装置、扫描型探针显微镜-CN201910213897.9有效
发明人： 平出雅人;山崎贤治 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01Q40/00 文献下载
摘要：本发明提供数据校正方法、记录介质、图像处理装置、扫描型探针显微镜，用于不依据观测者而良好地对所获得的图像进行高度校正。公开一种使用了通过扫描型探针显微镜(1)获取到的图像数据的多个测定数据的高度数据校正方法。在该数据校正方法中，计算机(132)从图像数据中提取基准平面区域，选择多个测定数据中的、提取出的基准平面区域内的三个点的测定数据作为第一基准点数据～第三基准点数据，设第一基准点数据～第三基准点数据的高度相同，来进行剩余的测定数据的高度校正。
数据校正方法记录介质图像处理装置扫描探针显微镜

[发明专利]扫描探针显微镜以及控制方法-CN202210517615.6在审
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01Q10/06 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描探针显微镜以及控制方法。SPM(100)用于测定试样(S)。SPM(100)具备：试样台(14)，其用于配置试样(S)；探针(3)，其以与试样(S)相向的方式配置；微动机构(12)，其通过以使作用于探针(3)与试样(S)之间的原子力成为固定的方式执行反馈控制，来使探针(3)沿着试样(S)的表面相对地移动；以及信息处理装置(20)，在尽管执行了反馈控制但原子力未成为固定的情况下，信息处理装置(20)停止试样(S)的测定。
扫描探针显微镜以及控制方法

[发明专利]分析装置、显示控制方法以及记录介质-CN202210454768.0在审
发明人：渡边一马;新井浩;藤野敬太;平出雅人;池田雄一郎;中岛秀郎;山崎贤治 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01Q30/04 文献下载
摘要：本公开涉及分析装置、显示控制方法以及记录介质。提供一种尽量不对用户造成压力地进行试样的分析的技术。分析装置具备显示部以及控制显示部的显示控制部。显示控制部在用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。
分析装置显示控制方法以及记录介质

[发明专利]信息提供系统、服务器装置、分析装置及信息提供方法-CN202210454321.3在审
发明人：渡边一马;新井浩;平出雅人;池田雄一郎;中岛秀郎;山崎贤治;藤野敬太 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本公开涉及信息提供系统、服务器装置、分析装置及信息提供方法。提供一种在向用户提供便利性的同时进行试样的分析的技术。信息提供系统具备：判定是否需要更换部件的判定部、显示部以及控制显示部的显示控制部。在需要更换部件的情况下，显示控制部使显示部显示与部件的供应商有关的供应商信息。
信息提供系统服务器装置分析方法

[发明专利]扫描探针显微镜以及表面图像校正方法-CN201910146459.5有效
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01Q40/00 文献下载
摘要：提供一种扫描探针显微镜以及表面图像校正方法，能够简化试样的设置作业。倾斜校正处理部对通过扫描处理部的扫描而获取到的试样的表面图像进行用于校正该表面图像的向与X方向及Y方向交叉的Z方向的倾斜的图像处理。倾斜校正处理部从表面图像中沿着规定方向在一条直线上提取多个像素，基于提取出的各像素的亮度来校正该表面图像的倾斜。倾斜校正处理部在校正在与X方向及Y方向交叉的至少一个方向(P方向)上具有平坦面的试样的表面图像的情况下进行图像处理，使得能够通过使所述规定方向(直线(28)的方向)与所述一个方向(P方向)大致一致来沿着该一个方向(P方向)提取多个像素。
扫描探针显微镜以及表面图像校正方法

[发明专利]表面分析装置-CN202110282045.2在审
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明提供表面分析装置。本发明提供变换机构，该变换机构能够顺畅地进行使用连杆机构进行的移动方向的变换，能够适用于表面分析装置等。移动机构包括：连杆机构，其包括第1块、第2块以及轴支承于第1块和第2块的连杆构件；滑动机构，其使第1块在第1方向上往复移动；以及抵接构件，其与第2块或连杆构件抵接，引导第2块的第2方向的升降移动。连杆构件以能够绕与第1方向和第2方向正交的第3方向的转动轴线转动的方式轴支承于第1块和第2块。抵接构件在从第3方向观察时具有圆形的截面。当第1块向抵接构件侧移动时，在相对于圆形的截面的中心轴线位于斜上方的第1接触点，第2块或连杆构件最先与抵接构件抵接。
表面分析装置

[发明专利]扫描型探针显微镜和扫描型探针显微镜的光轴调整方法-CN201980070728.2在审
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-07-03 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：扫描型探针显微镜包括：悬臂(2)，其在顶端部具有探针(7)；光学系统(80)，其向悬臂照射激光并且检测被悬臂反射的激光；拍摄部(10)，其用于在进行激光的光轴调整时对包含悬臂(2)的顶端的位置在内的范围进行拍摄；图像处理部(72)，其根据由拍摄部(10)生成的图像来检测探针的顶端的位置和激光的光斑的位置；光轴调整部(73)，其基于检测到的位置来调整激光的光轴；以及试样保持部(44)，其用于保持试样。试样保持部(44)包含镜(33)。
扫描探针显微镜光轴调整方法

[发明专利]扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的控制装置-CN201880095528.8在审
发明人：渡边一马;藤野敬太;平出雅人;山崎贤治;中岛秀郎;池田雄一郎;新井浩 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。
扫描探针显微镜以及控制装置

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201580078724.0有效
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2015-04-14 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：提供一种能够使探针的相对速度变快，并且难以对样品的表面形状的测量结果产生噪声的扫描型探针显微镜。在向X方向以及与X方向相反的方向往返移动时，在切换探针的相对移动的方向时(开始位置P1以及折返位置P2)，使相对速度逐渐地降低之后切换方向，在切换后使相对速度逐渐地上升，防止探针的相对速度急剧地变化。在向Y方向以及与Y方向相反的方向位移移动时(开始位置P1以及折返位置P2)，使探针的相对速度逐渐地上升后，使相对速度逐渐地降低，由此防止探针的相对速度急剧地变化。
扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜及光强度调整方法-CN201910328923.2在审
发明人：渡边一马;藤野敬太;饭田荣治;平出雅人;山崎贤治;中岛秀郎;池田雄一郎;新井浩 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高用户的操作性的扫描型探针显微镜及光强度调整方法。扫描型探针显微镜(1)具备光源、检测器(7)、壳体、开闭门、开闭传感器(14)以及控制部(16)等。开闭门被设置于壳体。控制部(16)也作为光强度变更处理部(164)起作用。在扫描型探针显微镜(1)中，当开闭传感器(14)检测到开闭门的开闭时，光强度变更处理部(164)基于开闭传感器(14)的检测结果，自动变更从光源(4)照射的光的强度。因此，能够省去用户手动的光的强度调整作业。其结果，能够提高使用扫描型探针显微镜(1)时的用户的操作性。
探针显微镜扫描型开闭传感器开闭门变更处理部光强度调整壳体光源检测器检测结果强度调整自动变更开闭照射检测

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201910303073.0在审
发明人：渡边一马;藤野敬太;饭田荣治;平出雅人;山崎贤治;中岛秀郎;池田雄一郎;新井浩 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够缩短微小对象物体的观察时间的扫描型探针显微镜。通过对每条线(L)重复下述处理，来基于多条线(L)的测定范围(R)内的检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使悬臂在沿X方向的规定长度的线(L)上进行扫描，一边以规定的第1间隔(D11)获取到检测信号后，使悬臂以规定的第2间隔(D12)在Y方向上进行扫描。在正式测定前，通过以比第1间隔(D11)宽的间隔来获取检测信号，或者使悬臂以比第2间隔(D12)宽的间隔在Y方向上进行扫描，来执行用于获取比正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。
检测信号悬臂探针显微镜扫描表面图像扫描型微小对象粗的预备重复观察

[发明专利]扫描探针显微镜-CN201480077349.3有效
发明人： 平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：在扫描探针显微镜中设置有：试样移动单元(111、133)，其包括圆筒形的压电扫描器(111)，通过利用施加电压使压电扫描器(111)弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样(110)移动；扫描控制单元(132)，其通过控制所述施加电压来控制探针(114)与试样(110)的相对位置；试样厚度获取单元(138)，其获取试样(110)的厚度值；以及相关信息决定单元(139)，其使用所述厚度值来决定表示向压电扫描器(111)施加的施加电压与试样(110)表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，扫描控制单元(132)使用所述相关信息来进行所述相对位置的控制。由此，能够进行考虑了试样(110)的厚度对XY方向上的移动量造成的影响的准确的试样扫描。
扫描探针显微镜

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