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[发明专利]硬掩模用组合物-CN201980007915.6有效
发明人： 崔相俊;梁敦植;李殷相;崔汉永;赵庸桓;金烔永 -专利权人：东友精细化工有限公司;崔相俊
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明的硬掩模用组合物包含吲哚衍生物和芳香族单元。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、涂布性和耐化学性同时提高了的硬掩模。
硬掩模用组合

[发明专利]干式蚀刻装置的控制方法-CN201780024534.X有效
发明人： 崔相俊;姜智声;李炅珍 -专利权人：库库创作股份有限公司
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：与材质无关地能够适用的干式蚀刻装置的控制方法。本发明的一实施例公开的干式蚀刻装置的控制方法包括：将加工对象物紧贴于所述阴极部的下侧面的加工对象物放置步骤；将随着时间而极性为阳的电压和阴的电压交替的电压施加给阴极部的双向电压电源施加步骤；利用在施加于所述阴极部的双向电压电源的作用下产生的等离子而对加工对象物进行蚀刻的蚀刻步骤。
蚀刻装置控制方法

[发明专利]聚合物空气过滤器及其制造方法-CN202180056652.5在审
发明人： 崔相俊 -专利权人：库库创作股份有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B01D39/16 文献下载
摘要：本发明涉及通过蚀刻工艺在由聚合物材料制成的过滤膜形成具有预定图案的微孔的聚合物空气过滤器及其制造方法，根据本发明，带负电荷的灰尘与带相同负电荷的聚合物薄膜碰撞，通过静电排斥力推开并被过滤，从而可以有效去除细小灰尘，此外，通过改变聚合物薄膜中形成的微孔图案的形状来在保持微孔的最小宽度的同时加长该微孔的长度，并加长孔之间的间隔长度，从而过滤比微孔的最小宽度更大的颗粒，以能够在保持过滤性能的同时提高透气度。
聚合物空气过滤器及其制造方法

[发明专利]干法蚀刻装置及其控制方法-CN201780063840.4有效
发明人： 崔相俊;姜智声 -专利权人：库库创作股份有限公司
申请日： 2017-10-13 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明涉及一种可适用于所有的材质且精密度优秀的干法蚀刻装置及其控制方法，在适用本发明的一形态中，公开一种干法蚀刻装置，包括：阳极部；阴极部，在上述阳极部的上侧以与上述阳极部相向的方式配置，加载电压的极性随着时间交替变更为正电压以及负电压的双向电压电源，与上述阳极部间隔一定距离配置；扁平部，贴紧于上述阴极部中与阳极部相向的面上，用于使作业对象物质保持平坦状态；搁置部，用于将作业对象物质以及扁平部固定到上述阴极部中与阳极部相向的面上；以及，双向电压电源供应部，用于向上述阴极部加载上述双向电压电源。
蚀刻装置及其控制方法

[发明专利]感光性高分子及包含它的抗蚀剂组合物-CN202210138721.3在审
发明人： 崔相俊;金永善;吴载范 -专利权人： OLAS有限公司;凯美珀有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种包含衍生自化学式1或化学式2的乙烯基杂芳族化合物的重复单元的感光性高分子和包含该感光性高分子的抗蚀剂组合物。[化学式1][化学式2]在所述化学式1或2中，R1、R2是氢或甲基，X是碳、硫或氮原子，n表示1或2。
感光性高分子包含抗蚀剂组合

[发明专利]抗反射硬掩膜组合物-CN201810796829.5有效
发明人： 崔相俊 -专利权人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种抗反射硬掩膜组合物，其包含(a)由下述化学式1表示的芳基咔唑(arylcarbazole)衍生物聚合物或包含它的聚合物混合物(blend)及(b)有机溶剂。[化学式1]
反射硬掩膜组合

[发明专利]干式蚀刻装置-CN201780024513.8有效
发明人： 崔相俊;姜智声;李炅珍 -专利权人：库库创作股份有限公司
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：与材质无关地能够适用的干式蚀刻装置。本发明的一实施例公开的干式蚀刻装置包括：阳极部；阴极部，被施加随着时间而将极性为阳的电压和阴的电压双向交替的双向电压电源，并与所述阳极部分开配置；载置部，将加工对象物放置于所述阴极部的面向于所述阳极部的面；以及双向电压电源供给部，给所述阴极部施加所述双向电压电源。
蚀刻装置

[发明专利]硬掩模用组合物及图案形成方法-CN201810469998.8有效
发明人：崔汉永;梁敦植;李殷相;崔相俊 -专利权人：东友精细化工有限公司;崔相俊
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供硬掩模用组合物及图案形成方法，所述硬掩模用组合物包含：含有咔唑单元与芴单元结合而成的重复单元的聚合物、以及溶剂。使用硬掩模用组合物可以形成耐蚀刻性得到提高的硬掩模。
硬掩模用组合图案形成方法

[发明专利]硬掩模用组合物及图案形成方法-CN201810482174.4有效
发明人：梁敦植;金烔永;李殷相;崔汉永;崔相俊 -专利权人：东友精细化工有限公司;崔相俊
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供硬掩模用组合物及图案形成方法，所述硬掩模用组合物包含：具有来源于碳原子数6～40的芳香族化合物的芳香族单元与来源于含有脂肪族不饱和基团的缩醛化合物的脂肪族不饱和单元结合而成的重复单元的聚合物、及溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成耐热性、耐蚀刻性、涂布性同时提高了的硬掩模。
硬掩模用组合图案形成方法

[发明专利]硬掩模用组合物-CN201810130569.8有效
发明人：梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永;崔相俊 -专利权人：东友精细化工有限公司;崔相俊
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明涉及一种硬掩模用组合物，其通过包含碳原子数6～35的芳香族化合物与下述化学式1的化合物的聚合物、以及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～8的烷基，彼此可以连接而形成环，烷基可以在主链上进一步包含一个以上的氧原子，Ar为来源于碳原子数6～20的芳香族化合物的官能团。
硬掩模用组合

[发明专利]硬掩模用组合物-CN201810200722.X有效
发明人：梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永;崔相俊 -专利权人：东友精细化工有限公司;崔相俊
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含芘系连接化合物与含有羟基的芳香族化合物的聚合物、及溶剂。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高了的硬掩模。
硬掩模用组合

[发明专利]抗反射用硬掩模组合物-CN202010037447.1在审
发明人： 崔相俊;金完郁 -专利权人： OLAS有限公司
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：提供一种抗反射硬掩模组合物，包含(a)由以下述化学式1表示的聚合物或包含其的聚合物混合物(blend)；及(b)有机溶剂，[化学式1]
反射用硬掩模组

[发明专利]硬掩模用组合物-CN201810130570.0在审
发明人：梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永;崔相俊 -专利权人：东友精细化工有限公司;崔相俊
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明提供一种硬掩模用组合物，其通过包含含有下述化学式1的重复单元的聚合物及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。化学式1中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，选自由Ar1、Ar2、Ar3和Ar4组成的组中的至少两个可以将彼此的氢原子取代而连接形成环，n为1～200的整数。化学式1
硬掩模氢原子取代耐蚀刻性聚合物平坦性氢原子萘二基溶剂苯基萘基自由

[发明专利]用于纯化有机化合物的装置和用于纯化有机化合物的方法-CN201410182072.2有效
发明人： 崔相俊;刘炯国;丁憙准;姜明淳;尹海相 -专利权人：第一毛织株式会社
申请日： 2014-04-30 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B01D1/22 文献下载
摘要：本文中公开了用于纯化有机化合物的装置和用于纯化有机化合物的方法。该装置包括在其中接收纯化靶材料的内管、加热在内管中接收的纯化靶材料的加热器、将内管抽成真空的抽空器以及驱动内管的驱动设备。
用于纯化有机化合物装置方法

[发明专利]具有抗菌功能的聚氨酯泡沫的制造方法及通过该制造方法形成的聚氨酯泡沫-CN201480070293.9在审
发明人： 崔相俊 -专利权人：尼奥菲斯技术株式会社
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： B29B7/88 文献下载
摘要：本发明涉及具有抗菌功能的聚氨酯泡沫的制造方法及通过该制造方法形成的聚氨酯泡沫，更具体地涉及一种配合多元醇和抗菌剂而制造的聚氨酯泡沫的制造方法，包括如下步骤：第一次配合物形成步骤，将所述多元醇和多元醇重量对比的粉末状的抗菌剂0.8％放置于配合器而形成配合物，将配合物重量对比的发泡反应抑制剂0.05％添加至所述配合器而配合两小时；第二次配合物形成步骤，在所述第一次配合物形成步骤之后，将模具的温度设定为50℃～60℃，设定发泡器的压力、RPM、温度之后，将在所述配合器配合的所述配合物移动至原料箱，将重量对比的发泡反应催化剂0.05％添加至所述原料箱的配合物，并配合三小时；干燥步骤，在所述第二次配合物形成步骤之后，将配合物在所述模具中发泡而形成聚氨酯泡沫，之后取出而放到干燥机，并干燥六小时。由此，为一项对人体无害的抗菌剂且具有对广泛的细菌、黑曲霉及病毒具有半永久的抗菌效果，且除臭作用及耐热性非常优秀的发明。
具有抗菌功能聚氨酯泡沫制造方法通过形成

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