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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于处理基板的装置和用于处理基板的方法-CN202211675450.1在审
发明人：河道炅;崔文淳;韩泳遵;梁承太 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于处理基板的装置和用于处理基板的方法，具体地，公开了一种用于在多个腔室中处理基板的方法。该基板处理方法可以包括：在液体在循环管线中循环的情况下，通过用于连接循环管线和各多个腔室的供应管线对位于腔室中的基板执行液体处理，其中设置在该供应管线中的阀的下游流动的液体的每单位时间流量恒定地保持为参考流量，并且基于分配流量控制上游流量或者下游流量、以保持该参考流量，上游流量为在循环管线而不是供应管线的上游流动的液体的每单位时间流量，下游流量为在循环管线而不是供应管线的下游流动的该液体的每单位时间流量，分配流量为在阀的上游流动的液体的每单位时间流量。
用于处理装置方法

[发明专利]药液供应单元和适用其的基板处理系统以及药液供应方法-CN202211067257.X在审
发明人：梁承太;朴尚禹;韩泳遵;崔气勋;崔文淳;金圣贤;郑富荣 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明是药液供应单元和适用其的基板处理系统以及药液供应方法，公开当通过药液供应单元供应药液时通过感测随着化学反应生成的杂质并将其去除从而能够确保执行工艺的可靠性和稳定性的技术。
药液供应单元适用处理系统以及方法

[发明专利]供应化学液体的装置和方法及基板处理装置-CN202211598517.6在审
发明人：尹泰锡;朴尚禹;河道炅;梁承太;郑富荣;崔文淳;林采永 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种用于供应化学液体的装置，该装置包括：储罐，在所述储罐中储存化学液体；排放管线，储存在所述储罐中的所述化学液体通过所述排放管线排放；液位管，所述液位管连接至所述储罐从而检查所述储罐中的所述化学液体的水位，并以与所述储罐中的所述化学液体的水位相同的水位接收所述化学液体；和控制器，所述控制器用于控制安装在所述排放管线中的第一阀，其中所述液位管的一端与所述储罐的上部空间连接，而另一端与所述排放管线连接。
供应化学液体装置方法处理

[发明专利]混合装置、包括其的基板处理装置以及基板处理方法-CN202211175115.5在审
发明人：安求悦;河道炅;崔文淳;郑富荣;李景训;林采永 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了使用能够快速且稳定地生成混合液的混合装置的基板处理装置。该基板处理装置包括：混合喷嘴，在其内部具有倒锥形状的混合空间，并且包括：第一流入口，设置在混合空间的侧表面；第二流入口，设置在混合空间的上表面；以及排出口，设置在混合空间的下部；第一液态化学品供应部，与第一流入口连接；第二液态化学品供应部，与第二流入口连接；以及供应罐，与排出口连接，其中，第一液态化学品供应部通过第一流入口向混合空间供应第一液态化学品，第二液态化学品供应部通过第二流入口向混合空间供应第二液态化学品，由第一液态化学品和第二液态化学品在混合空间内混合而成的混合液通过排出口供应到供应罐。
混合装置包括处理以及方法

[发明专利]用于供应液体的单元、用所述单元处理基板的设备和方法-CN202211288412.0在审
发明人：河道炅;尹泰锡;崔文淳;安求悦;林采永;郑富荣 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：支撑单元，所述支撑单元被配置为支撑基板；以及液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将处理液供应到支撑在所述支撑单元上的所述基板上，并且其中所述液体供应单元包括：罐，所述罐被配置为具有容纳空间，该容纳空间用于在其中储存所述处理液；循环管线，所述循环管线被配置为使储存在所述容纳空间中的所述处理液循环；补充管线，所述补充管线被配置为将所述处理液供应至所述容纳空间，并且在所述补充管线处安装有阀；加热器，所述加热器安装在所述循环管线处并且用于加热所述处理液；以及控制器，所述控制器用于控制所述阀。
用于供应液体单元处理设备方法

[发明专利]溶解臭氧去除单元、包括该溶解臭氧去除单元的基板处理装置以及基板处理方法-CN201911306583.X有效
发明人： 崔文淳 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思涉及一种溶解臭氧去除单元，包括该溶解臭氧去除单元的基板处理装置以及一种基板处理方法。溶解臭氧去除单元包括：流体通道提供构件，其具有供处理液通过的流体通道；以及光源构件，其被安装在该流体通道提供构件中并向处理液供应紫外线，并且流体通道提供构件包括螺旋流体通道，该螺旋流体通道被构造为使得处理液在围绕光源构件螺旋移动的同时暴露于紫外线。
溶解臭氧去除单元包括处理装置以及方法

[发明专利]液体储存单元及基板处理设备-CN202211137674.7在审
发明人： 崔文淳;林采永;河道炅;安求悦 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种液体储存单元及基板处理设备。所述液体储存单元包含：在其中界定有储存空间的罐壳；穿透至该罐壳中且在其上形成有出口的液体出口管；以及穿透至该罐壳中且在其上形成有入口的液体入口管，并且其中第一引导表面设置在该出口与该入口之间。
液体储存单元处理设备

[发明专利]处理液提供单元及具有其的基板处理装置-CN202210124305.8在审
发明人：李建旼;河道炅;崔文淳;林采永;刘在赫 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了能够将基板处理液的流入量或消耗量等增加为控制因子以预测基板处理液的温度变化的处理液提供单元及具有其的基板处理装置。所述处理液提供单元包括：处理液存储模块，存储基板处理液；处理液加热模块，加热基板处理液；处理液排出模块，排出基板处理液；处理液供应模块，当基板处理液被排出时，向处理液存储模块供应基板处理液；以及控制模块，基于基板处理液的流入量来预测残留在处理液存储模块的基板处理液的温度。
处理提供单元具有装置

[发明专利]药液供应装置及包括药液供应装置的基板处理装置-CN202110926197.1在审
发明人：河道炅;刘在赫;李建旼;崔文淳;林采永 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供药液供应装置及包括其的基板处理装置。基板处理装置可包括提供对基板执行指定的工序的处理空间的工序腔室及向配置在所述工序腔室内的所述基板上供应药液的药液供应装置。所述药液供应装置可包括储存所述药液的药液储存槽、提供从所述药液储存槽向所述基板上供应所述药液的路径的药液供应线路、对从所述药液储存槽供应的所述药液加热的至少一个加热部件、具有测量进入所述至少一个加热部件的所述药液的温度的第一传感器及测量从所述至少一个加热部件出去的所述药液的温度的第二传感器的感测部件、以及根据由所述第一传感器及所述第二传感器测量的温度的差异控制所述至少一个加热部件的工作的控制部件。
药液供应装置包括处理

[发明专利]泵和液体供应装置-CN201710158698.3有效
发明人： 崔文淳;金锡奎;郑英周 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： F04B53/00 文献下载
摘要：提供一种泵。该泵包括：泵体；消音器，所述消音器连接到所述泵体；和防凝结装置，所述防凝结装置围绕所述消音器。
液体供应装置

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