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[发明专利]卡匣运送系统及卡匣位置自动教导方法-CN202210611301.2在审
发明人：尹政泰;崔大圭;金成挥 -专利权人：罗泽系统株式会社;三星显示有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明提供一种卡匣运送系统及卡匣位置自动教导方法。卡匣运送系统包括收纳玻璃基板的卡匣、收纳所述卡匣且包括配置在用于放置所述卡匣的底部的下部感测所述卡匣的位置的多个位移传感器的端口、以及利用感测到的所述卡匣的多个感测值算出所述卡匣的偏移量并比较所述偏移量与允许误差值以判断正常运送状态的系统控制部。因此能够自动教导卡匣的位置而无需通过夹持装置夹持放置于端口的卡匣的动作。从而能够防止执行夹持卡匣的动作时发生的颗粒物，能够防止夹持装置与卡匣接触时发生的静电等影响导致玻璃基板不良。尤其，通过防止OLED制造工程中影响产品品质不良的颗粒物及静电，能够去除OLED产品的品质不良。
运送系统位置自动教导方法

[发明专利]反应器、包括其的工艺处理装置及反应器制造方法-CN202210089411.7在审
发明人： 崔大圭 -专利权人： (株）NP控股
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本发明涉及由多个部件组装而成的反应器。根据本发明一实施例的反应器的内部设有等离子体形成空间，且上述反应器包括主体，其中，上述主体形成有气体流入上述等离子体形成空间的流入口，及流体自上述等离子体形成空间向外部流出的排出口，上述部件之间的组装线形成于，自与上述主体的上述等离子体形成空间内等离子体所集中地区域最接近的区域脱离特定范围的区域。
反应器包括工艺处理装置制造方法

[发明专利]用于制造超薄玻璃的钢化处理装置及方法-CN202110577052.5在审
发明人： 崔大圭 -专利权人： (株)NP控股
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C03B27/012 文献下载
摘要：本发明涉及用于制造超薄玻璃的钢化处理装置及方法。本发明的用于制造超薄玻璃的钢化处理装置包括工艺处理部，所述工艺处理部包括：预热部，对装载于载具中的对象玻璃进行预热工艺；以及化学钢化部，对在所述预热部经过预热处理的对象玻璃进行化学钢化工艺，在所述预热部的工艺处理时间长于在所述化学钢化处理部的工艺处理时间。
用于制造超薄玻璃处理装置方法

[发明专利]密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒-CN201910181430.0有效
发明人： 崔大圭 -专利权人： (株）NP控股
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： F16K3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够在真空环境下更换密封构件的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，可包括：阀体，能够开闭腔室的通道；以及密封构件更换装置，利用至少一个以上密封构件或者设置有密封构件的密封板，即使在真空环境下也能够更换所述密封构件或者所述密封板，所述密封构件使用时，能够紧固到所述阀体，不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机。
密封构件换型闸阀系统用料

[发明专利]灭火用消防无人机-CN201680031596.9有效
发明人：元基渊;金庚和;崔大圭 -专利权人：元基渊;金庚和;崔大圭
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： B64C37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种灭火用消防无人机，其构成为，当在住宅及建筑物、营造物等发生火灾时，可以在火灾初期迅速投入从而在初期扑灭火灾，与中央管制系统相连接，从而在远程以无人操作的形式实现操作。所述灭火用消防无人机包括：飞行部，其设置有螺旋桨部；防灾炮塔部，其用于喷射灭火剂；移动部，为了移动主体部而设置有多个移动部；防灾装置部，其具备用于喷射灭火剂、或者发射灭火弹、或者拯救生命的物品。
灭火消防无人机

[发明专利]用于干式处理和湿式处理的混合基板处理系统及其基板处理方法-CN201680036075.2在审
发明人： 崔大圭;王晖;王希;张晓燕;贾社娜 -专利权人： ACN有限公司;盛美半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2016-05-27 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：可以使用配备在前端模块中的单个基板输送机械手根据处理特性而选择性地通过真空或边缘夹持方法来输送基板。另外，在处理之后，可以使用缓冲室来装载基板，以用于冷却处理和输送基板。
用于处理混合系统及其方法

[发明专利]感应耦合等离子体反应器-CN201510079762.X有效
发明人： 崔大圭 -专利权人：吉恩株式会社
申请日： 2007-05-22 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的感应耦合等离子体反应器包括具有搭载被处理基板的基板支撑台的真空腔；向真空腔内部供给气体的气体喷头；设于真空腔上部的介电窗；及设于介电窗上部的射频天线。气体喷头及基板支撑台与真空腔内部的等离子体电容耦合，射频天线与真空腔内部的等离子体感应耦合。等离子体反应器通过电容且感应的耦合在真空腔内部产生等离子体，由此更均匀地产生大面积的等离子体，同时容易进行等离子体离子能量的正确调节，从而可以提高成品率和生产能力。等离子体反应器包括磁芯，该磁芯的磁束出入口朝向真空腔内部，并且该磁芯以沿着射频天线将其覆盖的方式设于介电窗上部。射频天线由磁芯覆盖，可集中更强的磁束，最大限度抑制磁束的损失。
感应耦合等离子体反应器

[发明专利]双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统-CN201210549476.1无效
发明人： 崔大圭 -专利权人：株式会社新动力等离子体
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： F16K3/02 文献下载
摘要：公开了一种双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统。双向闸阀包括：阀室，其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭阀室盖；移动模块，具有用于密封第一入口的第一密封板、用于密封第二入口的第二密封板以及第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体；推-拉模块，具有推-拉模块主体、第一操作主体和第二操作主体；第一驱动装置；第二驱动装置；以及第三驱动装置，其用于使推-拉模块在操作位置和备用位置之间移动，其中，当推-拉模块被第三驱动装置移动至操作位置时，第一操作主体由第一驱动装置操作或第二操作主体由第二驱动装置操作以便选择性地密封第一入口和第二入口之一。
双向闸阀具有衬底加工系统

[发明专利]可识别多触点的红外线触摸屏装置-CN201210043817.8无效
发明人： 崔大圭 -专利权人： AFO股份公司;崔大圭
申请日： 2012-02-23 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： G06F3/042 文献下载
摘要：本发明涉及红外线触摸屏装置，尤其涉及在产生多个触点时，可顺利识别各接触位置的可识别多触点的红外线触摸屏装置。为此，本发明提供一种可识别多触点的红外线触摸屏装置，包括：屏幕，由可对图像进行投影的显示面板，及形成于上述显示面板前面以保护显示面板并接受触摸的钢化玻璃板构成；光扫描仪，形成于上述屏幕一侧以利用红外线扫描屏幕；导光条，形成于上述钢化玻璃板边缘，以反射由上述光扫描仪照射并通过钢化玻璃板的红外线中的一部分，且对未反射并入射至内部的红外线进行导光以传送至一端；受光部，设置于上述导光条末端以接受通过导光条传送的红外线；及位置检测仪，利用上述受光部接受的光量和上述光扫描仪的扫描角度检测触摸位置；而从上述导光条反射的红外线入射至相对于反射红外线的导光条形成的另一导光条。
识别触点红外线触摸屏装置

[发明专利]多电感耦合等离子体反应器及其方法-CN201010164265.7有效
发明人：许鲁铉;金奎东;南昌祐;朴成民;崔大圭 -专利权人：株式会社新动力等离子体
申请日： 2010-04-09 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：公开了一种多电感耦合等离子体反应器及其方法。在多电感耦合等离子体反应方法中，用于增进待处理衬底中特定部分的蚀刻方法包括：蚀刻待处理衬底中特定部分；和在被蚀刻的特定部分的表面上沉积钝化层，其中重复进行蚀刻和沉积步骤，当存在由中心等离子体源和外围等离子体源形成的等离子体时执行这两个步骤之一。根据本发明的多电感耦合等离子体反应器及其方法，由于中心等离子体源和外围等离子体源被分开设置，因此在衬底的整个区域上可以均匀地处理等离子体。另外，可以使用在中心等离子体源和外围等离子体源之间接地的防干扰电极来在等离子体反应器中形成没有电干扰的独立的复等离子体区。另外，由中心等离子体源和外围等离子体源形成的等离子体用于深蚀刻待处理衬底中的特定部分。
电感耦合等离子体反应器及其方法

[发明专利]感应耦合等离子体反应器-CN200710105100.0有效
发明人： 崔大圭 -专利权人：新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-05-22 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明的感应耦合等离子体反应器包括：具有搭载被处理基板的基板支撑台的真空腔；向真空腔内部供给气体的气体喷头；设于真空腔上部的介电窗；及设于介电窗上部的射频天线。气体喷头及基板支撑台与真空腔内部的等离子体电容耦合，射频天线与真空腔内部的等离子体感应耦合。等离子体反应器通过电容且感应的耦合在真空腔内部产生等离子体，由此更均匀地产生大面积的等离子体，同时容易进行等离子体离子能量的正确调节，从而可以提高成品率和生产能力。等离子体反应器包括磁芯，该磁芯的磁束出入口朝向真空腔内部，并且该磁芯以沿着射频天线将其覆盖的方式设于介电窗上部。射频天线由磁芯覆盖，可集中更强的磁束，最大限度抑制磁束的损失。
感应耦合等离子体反应器

[发明专利]结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器-CN200710086254.X无效
发明人： 崔大圭 -专利权人：新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-03-09 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
结合多重电感耦合等离子体反应器

[发明专利]具有放电感应电桥的等离子源及利用其的等离子处理系统-CN200610084863.7有效
发明人： 崔大圭;魏淳任 -专利权人：新动力等离子体株式会社
申请日： 2006-05-23 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。
具有放电感应电桥离子源利用等离子处理系统

[发明专利]表面光源装置、显示装置以及显示装置控制方法-CN200510123315.6无效
发明人：秋大镐;崔大圭 -专利权人：三星电子株式会社;新力等离子株式会社
申请日： 2005-11-17 - 公布日： 2006-05-24 - 主分类号： G02F1/13357 文献下载
摘要：一种表面光源，其包括放电管、功率源和表面光源控制部分。放电管包括多个发光区。每个发光区都有放电电极部分。功率源向放电电极部分施加电功率。表面光源控制部分通过单独控制分别施加到各发光区的放电电极部分的电功率横向，来单独地控制各发光区的明亮度。因此，获得了较高的对比度和较低的功耗。
表面光源装置显示装置以及控制方法

[发明专利]产生气体等离子体的方法和装置及制造半导体器件的方法-CN03104125.6有效
发明人：闵泳敏;崔大圭;裴道仁;杨润植;黄完九;金镇满 -专利权人：三星电子株式会社;新能量等离子株式会社
申请日： 2003-02-14 - 公布日： 2004-05-26 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种产生等离子体的方法和装置，以及用等离子体制造半导体器件的方法和装置。气体沿具有与主磁场的磁力线相同偏移的流动路径流动，并对气体施加高频交变电流，从而产生气体等离子体。气体等离子体引入到处理室中，以进行制造半导体器件的工艺。
产生气体等离子体方法装置制造半导体器件

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