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[发明专利]感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法、液晶显示装置及有机电致发光显示装置-CN201480017166.2有效
发明人：山田悟;松田知树;霜山达也;山﨑健太 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机电致发光显示装置。感光性树脂组合物可维持高灵敏度，并使耐化学品性变得良好，且进一步降低相对介电常数。该感光性树脂组合物包括：(A)含有满足(1)及(2)的至少一种的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有构成单元(a1)的聚合物及具有构成单元(a2)的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；在(A)聚合物成分中，包含至少一种(a4)含有内酯结构的构成单元，或包含至少一种含有构成单元(a4)、且不含构成单元(a1)及构成单元(a2)的聚合物。
感光性树脂组合绝缘及其制造方法液晶显示装置有机电致发光

[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置-CN201480052174.0有效
发明人：松田知树;山田悟;山﨑健太;霜山达也 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有特定的(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂。相对于构成(A)聚合物成分的所有结构单元，结构单元(a2)的比例为10摩尔％～40摩尔％，结构单元(a4)的比例为1.0摩尔％～20摩尔％。该感光性树脂组合物可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而使图案的尺寸稳定性良好。
感光性树脂组合硬化制造方法液晶显示装置有机 el

[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置-CN201480035928.1有效
发明人： 山﨑健太;米泽裕之 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2014-06-26 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有包含以下聚合物的聚合物成分、(S)成分、光酸产生剂、溶剂，所述聚合物满足包括具有酸基由酸分解性基所保护的基团的构成单元及具有交联性基的构成单元的聚合物、包含具有酸基由酸分解性基所保护的基团的构成单元的聚合物及包括具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一个。本发明的感光性树脂组合物在制成硬化膜时的耐化学品性良好且相对介电常数低。
感光性树脂组合硬化制造方法液晶显示装置有机 el

[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置-CN201380050101.3有效
发明人： 山﨑健太;霜山达也 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-09-20 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。上述感光性树脂组合物含有：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一者；(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂以及(C)溶剂；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000。本发明的感光性树脂组合物不仅维持高感度、透明性以及耐化学品性，并且显影时的密接性优异。
感光性树脂组合硬化制造方法有机 el 显示装置液晶

[发明专利]薄膜晶体管基板的制造方法及其应用-CN201610087786.4有效
发明人：霜山达也;山﨑健太 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜晶体管基板的制造方法及其应用，薄膜晶体管基板即使在以剥离液组合物进行处理之后硬化膜(有机膜)的体积电阻率依旧高。本发明的薄膜晶体管基板的制造方法依序包括至少步骤1～步骤6：步骤1：使用特定的硬化性组合物在薄膜晶体管基板上的至少一部分形成有机膜的步骤；步骤2：在有机膜上的至少一部分形成无机膜的步骤；步骤3：在无机膜上形成抗蚀剂层的步骤；步骤4：对抗蚀剂层进行曝光且显影的步骤；步骤5：经由经显影的抗蚀剂层对无机膜进行蚀刻的步骤；步骤6：使用特定的剥离液组合物将抗蚀剂层剥离除去的步骤。
薄膜晶体管制造方法及其应用

[发明专利]层间绝缘膜用感光性树脂组合物、硬化膜及其形成方法、有机EL显示装置及液晶显示装置-CN201380022515.5有效
发明人：霜山达也;山﨑健太;疋田政宪 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种可获得感光度高、透明性高、耐化学品性高、硬化膜与基板的密接性高、耐干式蚀刻性优异、介电常数低的硬化膜的感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。所述感光性树脂组合物包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；(C)加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物；以及(D)溶剂。
感光性树脂组合硬化形成方法有机 el 显示装置液晶

[发明专利]正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、液晶显示装置及有机电致发光显示装置-CN201210431750.5有效
发明人：米泽裕之;川岛敬史;山﨑健太;疋田政宪 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2012-11-01 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机电致发光显示装置，该正型感光性树脂组成物可获得感光度高、对于剥离液或NMP的耐受性高、与透明电极膜或金属的密接性也良好、且耐干蚀刻性优异、在显示装置中也不易产生显示不良的硬化膜。一种正型感光性树脂组成物，包括：(成分A)含有满足(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(成分C)光酸产生剂；及(成分D)溶剂。
感光性树脂组成硬化及其形成方法液晶显示装置有机电致发光

[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、有机EL显示装置及液晶显示装置-CN201380022517.4有效
发明人： 山﨑健太;疋田政宪;霜山达也;柏木大助 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光度高、尺寸稳定性优异、密接性优异、且即便在加热后也可维持高透过率的感光性树脂组合物。一种化学增幅型正型感光性树脂组合物，其包括(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(S)由下述通式(S)所表示的化合物，(B)光酸产生剂；以及(D)溶剂。
化学增幅型正型感光性树脂组合硬化制造方法有机 el 显示装置液晶

[发明专利]感光性组合物、固化膜的制造方法、液晶显示装置的制造方法、有机电致发光显示装置的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201610739063.8在审
发明人：安藤豪;山﨑健太;真崎庆央;山田悟 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明提供涂布性良好、且能够制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜的感光性组合物。此外，提供固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置、及触摸面板的制造方法。本发明的感光性组合物包含具有2个以上含有烯属不饱和键的基团的化合物、光聚合引发剂、溶剂、和具有下述S1所表示的结构及下述S2所表示的结构的化合物S。式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数。
感光性组合固化制造方法液晶显示装置有机电致发光触摸面板

[发明专利]感光性组合物、和固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置及触摸面板的制造方法-CN201610580165.X在审
发明人：真崎庆央;安藤豪;山﨑健太 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明提供涂布性良好、且能够制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜的感光性组合物。此外，提供固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置及触摸面板的制造方法。一种感光性组合物，其包含聚合物成分、光酸产生剂、溶剂、具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，相对于聚合物成分A100质量份，含有0.001～20质量份的化合物S。式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数。
感光性组合固化液晶显示装置有机电致发光触摸面板制造方法

[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置-CN201380032350.X在审
发明人： 山﨑健太;疋田政宪;霜山达也;川岛敬史;山田悟;米泽裕之 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-06-18 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物，其可达成显影时以及用作硬化膜时的与基板的密接性。所述感光性树脂组合物含有：(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物；(B)非离子性光酸产生剂；(C)下述通式(S)所表示的化合物(式中，R¹表示包含至少1个以上氮原子的基团，A表示2价连结基，R²表示有机基)；(D)溶剂；以及(E)烷氧基硅烷化合物。
感光性树脂组合硬化制造方法有机 el 显示装置液晶

[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机电致发光显示装置以及液晶显示装置-CN201310061402.8在审
发明人： 山﨑健太;米泽裕之;霜山达也;川岛敬史;下野胜弘;山田悟;汤本真敏;安藤豪 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种感光度高、体积电阻率及耐溶剂性优异的感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机电致发光显示装置以及液晶显示装置。一种正型感光性树脂组合物，其包括：(A)共聚物，具有含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元(a1)、及含有由-NH-CH2-O-R(R为碳数为1～20的烷基)所表示的部分结构的构成单元(a2)；(B)光酸产生剂；以及(D)溶剂。
感光性树脂组合硬化制造方法有机电致发光显示装置以及液晶

[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机电致发光显示装置-CN201310061467.2在审
发明人：下野胜弘;山﨑健太;川岛敬史;霜山达也;汤本真敏;山田悟;柏木大助 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置、以及液晶显示装置。本发明提供一种感光度、残膜率、及相对介电常数优异的正型感光性树脂组合物等。一种感光性树脂组合物，其包括：（A）聚合物成分，在同一聚合物或不同的聚合物中包含（a1）含有酸基由酸分解性基保护的残基的重复单元，（a2）含有选自环氧乙烷基、氧杂环丁基、或-NH-CH2-OR（R为碳数为1～20的烷基）中的基的重复单元，及（a3）侧链末端具有羧基、且将聚合物主链与所述羧基加以连结的二价的连结基的原子数为4以上的重复单元；（B）光酸产生剂；以及（D）溶剂。
感光性树脂组合硬化及其制造方法液晶显示装置以及有机电致发光

[发明专利]感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置-CN201210362957.1在审
发明人：柏木大助;山﨑健太;米泽裕之;霜山达也 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。本发明的感光性树脂组成物的特征在于：含有(成分A)具有缩醛结构且通过酸的作用碱溶解性发生变化的树脂、(成分B)光酸产生剂、(成分C)交联剂及(成分D)溶剂，且成分C包含封端异氰酸酯化合物，所述封端异氰酸酯化合物的母结构为缩二脲结构。
感光性树脂组成硬化形成方法有机 el 显示装置液晶

[发明专利]正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置-CN201110415283.2有效
发明人：山田悟;山﨑健太;杉原幸一;柏木大助;川岛敬史;霜山达也;真崎庆央;下野胜弘 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2011-12-13 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置，所述正型感光性树脂组成物各种性能综合优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于：包含含有丁氧基甲基丙烯酰胺等的碱可溶性树脂及感放射线酸产生剂。
感光性树脂组成硬化及其形成方法绝缘以及显示装置

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