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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]焊接装置、焊接系统以及加工装置-CN202180073564.6在审
发明人：细见幸司;佐藤真路;宫川智树;长谷川智志;三村晃平;平田纯也;清水飒 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B25J13/00 文献下载
摘要：照射使配置于电路基板的焊料熔融的加工光的焊接装置包括：光照射装置，具有检流镜，经由所述检流镜来照射加工光；检测装置，对来自电路基板的光进行检测，生成图像数据与形状数据中的至少一个数据；机械臂，设有光照射装置与检测装置，且具有使光照射装置与检测装置移动的驱动部；以及控制装置，基于伴随检测装置的位移而变化的至少一个数据来控制检流镜的方向，以使来自与检测装置一同位移的光照射装置的加工光照射至同一位置。
焊接装置系统以及加工

[发明专利]机器人系统、机器人手臂、端点效果器以及配接器-CN202080106828.9在审
发明人： 宫川智树 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B25J13/08 文献下载
摘要：一种机器人系统，包括具有可动部的机器人手臂，所述机器人系统包括：第一摄影装置以及第二摄影装置，被安装于所述机器人手臂；控制部，控制所述机器人系统；以及距离信息获取部，获取与对象物的距离相关的信息，所述控制部可变更基线长度，所述基线长度为所述第一摄影装置与所述第二摄影装置之间的距离，所述距离信息获取部基于所述基线长度来获取与所述对象物的距离相关的信息。
机器人系统手臂端点效果器以及配接器

[发明专利]射束加工装置-CN201980103236.9在审
发明人： 宫川智树 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：射束加工装置是对工件照射加工射束的射束加工装置，在使加工射束的照射位置在第一方向上移动的同时对工件的第一面照射加工射束来对工件的第一部分进行去除加工，在使加工射束的照射位置在第一方向上移动的同时对通过第一部分的去除加工而形成于工件上的第二面照射加工射束来对工件的第二部分进行去除加工。第二部分的去除加工中的加工射束的移动范围相较于第一部分的去除加工中的加工射束的移动范围而言变小。
加工装置

[发明专利]曝光装置、移动体装置以及器件制造方法-CN201910116553.6在审
发明人： 宫川智树 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-11-20 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供曝光装置、移动体装置以及器件制造方法。按照编码器系统的计测结果来控制磁悬浮型平面电机即载物台控制系统(124)而对晶片台(WST)进行驱动控制，并且在检测出晶片台(WST)的驱动控制的异常的情况下，控制载物台驱动系统(124)，对晶片台(WST)施加铅垂方向的推力。由此，能够避免晶片台(WST)的纵摇，能够防止晶片台(WST)(特别是，设置于载物台上表面的刻度)以及配置于其正上方的构造物(特别是编码器头等)的破损。
晶片台移动体装置曝光装置器件制造驱动控制载物台控制系统载物台上表面编码器系统载物台驱动计测结果平面电机铅垂方向编码器磁悬浮构造物纵摇破损施加检测配置

[发明专利]曝光装置、移动体装置以及器件制造方法-CN201380070733.6有效
发明人： 宫川智树 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-11-20 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：按照编码器系统的计测结果来控制磁悬浮型平面电机即载物台控制系统(124)而对晶片台(WST)进行驱动控制，并且在检测出晶片台(WST)的驱动控制的异常的情况下，控制载物台驱动系统(124)，对晶片台(WST)施加铅垂方向的推力。由此，能够避免晶片台(WST)的纵摇，能够防止晶片台(WST)(特别是，设置于载物台上表面的刻度)以及配置于其正上方的构造物(特别是编码器头等)的破损。
曝光装置移动以及器件制造方法

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