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[发明专利]一种半导体刻蚀设备-CN202310432502.0有效
发明人：赵天翔;华斌;宋裕华 -专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B08B15/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体刻蚀设备，包括：工作台，配置于工作台的腔体组件，配置于工作台并形成于腔体组件周向外侧的喷液组件，以及贯穿工作台并沿轴向延伸入腔体组件的承托组件；腔体组件包括：回收腔体，以及罩设于回收腔体并与回收腔体围合形成集气腔的固定罩；回收腔体包括：腔底结构，同轴设置于腔底结构外侧的第一分隔罩，沿第一分隔罩的径向方向向外依次形成若干个套设于第一分隔罩的第二分隔罩，同轴套设于第二分隔罩的外罩体，以及连通集气腔以供回收腔体内气体流通的导气通路。通过本申请，实现了回收腔体内的化学气体的流通，防止化学气体聚集在回收腔体内对晶圆表面造成腐蚀、污染等影响，以确保晶圆表面质量以及晶圆性能。
一种半导体刻蚀设备

[实用新型]一种应用透镜的装置-CN202222699749.2有效
发明人：徐益忠;于雷;林小明;邹永清;宋裕华 -专利权人：飞雕电器集团有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： F21V19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种应用透镜的装置，包括灯板，灯板的上端设有若干个圆孔，每一圆孔内设有一透镜，每一透镜的下端设有两颗灯珠，两颗灯珠并排设置，每一灯珠分别与电源连接，透镜的角度为160度或以上，灯板呈长条矩形，透镜沿灯板的长度方向设置，灯板沿长度方向的两端各设有一安装槽，灯板上下贯通设有若干安装孔，安装孔位于相邻两透镜之间，安装孔内设有连接螺丝；本实用新型在透镜下既可以装两颗色温不同的灯珠，也能装一颗单色温灯珠，切换三种不同色温实现透镜通用；结构简单，透镜和灯珠基板的尺寸小，节约原材料成本。
一种应用透镜装置

[发明专利]清洗机槽体温度稳定性控制装置及方法-CN202111652018.6有效
发明人： 宋裕华;于瑶;薛力博 -专利权人：智程半导体设备科技（昆山）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种清洗机槽体内温度稳定性控制装置及方法，包括温度传感器、预热槽加热器、电磁阀a、电磁阀b、预热盘管、控制组件、管道A、管道B以及预加热槽，所述管道A上设置有电磁阀a，管道A连接预热盘管，预热盘管位于预热槽内液面上方，后通过管道接入超声波槽，所述管道B上有电磁阀b，管道B直接连入超声波槽，本发明在不引入额外热源的情况下直接利用控温预备加热槽对超声波槽内的供给水进行加热，排除了引入独立热源对温度控制的影响，同时利用控制系统以及温度检测，实时对超声波槽内的液温进行调整并对控制方法进行设计，排除上述预热方式可能引入的控温问题，从而实现利用此方法提升清洗槽内温度控制的稳定性。
清洗体温稳定性控制装置方法

[发明专利]一种半导体晶圆清洗机上料设备-CN202210868361.2有效
发明人：周训丙;宋裕华 -专利权人：智程半导体设备科技（昆山）有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于半导体清洗技术领域，尤其是一种半导体晶圆清洗机上料设备，包括开设在清洗机本体外壳上料端的嵌入槽，所述嵌入槽的内壁固定嵌入有呈圆筒形状的支撑座，所述支撑座的内部设有驱动源；所述支撑座的上表面通过端面轴承转动连接有呈圆筒状且与所述嵌入槽内壁相适配的转台，所述转台的外表面等分环形开设有放置花篮的腔室。该半导体晶圆清洗机上料设备，通过设置防离心机构，在转台转动时带动花篮向内侧倾斜一定的角度，以克服转动过程中晶圆向外的离心力，而当花篮转动至清洗机本体内时，花篮又会自动的复位回归正常的位置供清洗机正常的拿取清洗，从而达到更好的锲合半导体晶圆单片清洗机上料的效果。
一种半导体清洗机上料设备

[发明专利]一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮-CN202210186938.1有效
发明人： 宋裕华;王午阳 -专利权人：智程半导体设备科技（昆山）有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，包括与输送轨道滑动安装的支架，所述支架的端部下方设置有悬座，且所述悬座的下方活动安装有夹杆，并且所述悬座的下表面固定安装有电动推杆；还包括：篮体，固定夹持于所述夹杆的下端，所述篮体的外侧设置有槽体；托架，活动设置于所述托板的上表面；导柱，固定设置于所述托板的上表面边缘位置，所述导柱的上端外侧设置有浮板。该具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮可以便捷地对晶圆进行夹持定位，且可以进行稳定的缓震搬运，避免晶圆之间发生碰撞、损坏，且可以在清洁过程中利用浮力驱动晶圆进行旋转调节，从而实现全面清洗，实用性强。
一种具有限位稳定夹持输送结构清洗花篮

[发明专利]一种三维地形测绘系统-CN202110610305.4有效
发明人： 宋裕华;吴振华 -专利权人：深圳市南湖勘测技术有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维地形测绘系统，具体涉及测绘技术领域，包括无人机以及遥控车，所述遥控车设在无人机下方，所述无人机和遥控车之间设有壳体，所述壳体一侧设有连杆，所述连杆一端延伸入壳体内部且另一端设有罩体，所述罩体内部顶端固定设有第一激光扫描器，所述罩体内部设有第一感应机构，所述壳体内部一侧设有第一调节机构，所述连杆另一端内部设有第二调节机构，所述遥控车前侧设有第二激光扫描器，所述第二激光扫描器后侧设有第三调节机构。本发明通过第一调节机构和第二调节机构使得第一激光扫描器向下发射竖直的激光脉冲测量高程，通过第三调节机构使得第二激光扫描器向目标物体发射水平的激光脉冲测量水平坐标，测量误差小。
一种三维地形测绘系统

[实用新型]环保型皮带输送机-CN202120047618.9有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;王昆;李玉军;宋康;孙凯;于淙任 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B65G45/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及皮带输送机的技术领域，是一种环保型皮带输送机，其包括机架、主动托辊、从动托辊、防尘罩、集料槽，在机架上端的前后两侧分别固设有一个位置相对应的水平横梁，在两个水平横梁之间安装有主动托辊、从动托辊，传送皮带绕装在主动托辊与从动托辊上，在机架的上下两侧分别设置有防尘罩与集料槽，集料槽上安装有刮灰器与清理门。本实用新型的整体结构除了在进料斗与出口处为敞开状态外，其余部位都是密封状态，因此，受外界环境影响不大，物料在运输过程产生的粉尘，会被极大地限定在由防尘罩与集料槽组成的密闭空间内，刮灰器可以方便清理集料槽内壁上的料渣与灰尘，配合清理门一起使用，可以对本实用新型的内部进行有效清理。
环保皮带输送

[实用新型]浮选机顶部充气装置-CN202023210496.5有效
发明人：闫福彬;姚树建;宋裕华;王磊;宋靖坤;孙凯;宋康 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B03D1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及浮选机的技术领域，是一种浮选机顶部充气装置，其包括搅拌轴、第一轴承体，搅拌轴内设置有气道，在第一轴承体的外侧设置有安装架，安装架上固设有第二轴承体，搅拌轴通过安装通孔其上、下两侧分别可转动的安装在第二轴承体、第一轴承体内，搅拌轴的上侧外伸出第二轴承体，在搅拌轴进气口处的上方设置有旋转接头，在旋转接头的进气嘴上固定连接有充气软管。通过设置第二轴承体，可以增大本实用新型对搅拌轴的承重能力，使搅拌轴的转动更加平稳，能有效避免因搅拌轴的长度较长、下部搅拌侧负荷较大，在旋转时极易产生不稳、摆动，进而导致第一轴承体内的轴承因长期偏磨而使用寿命缩短的问题。
浮选机顶部充气装置

[实用新型]烟道灰渣反吹清理系统-CN202023210367.6有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;王昆;姜金刚;宋康;于淙任 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： F23J3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及烟道清理装置的技术领域，是一种烟道灰渣反吹清理系统，其包括主风管、管道疏通机、疏通软管、烟道，烟道上固设有至少一个的直角弯管，直角弯管进气部的下端口与主风管之间通过设置供气支管相连通，进气部的外壁上设置有供疏通软管进入的疏通孔。通过在烟道上设置带疏通孔的直角弯管，可以使疏通软管进入到烟道内，然后配合管道疏通器的使用，可以使疏通软管在烟道内产生旋转摆动的效果，从而能对烟道内壁上的灰渣进行有效清理，再加上供气支管不断通过直角弯管向烟道内鼓风，通过风吹的方式将灰渣吹起、带走，从两个方面最终实现烟道内部清理与疏通的目的，相比现有技术，省时省力效率高，具有很强的实用性。
烟道反吹清理系统

[实用新型]耐磨抗冲击的球磨机进料管-CN202023210475.3有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;姜金刚;李小涵;宋康;宋靖坤 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B02C23/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及球磨机的技术领域，是一种耐磨抗冲击的球磨机进料管，其包括管体、防撞胶条、阻尼布袋，在管体的一侧内壁上密布有防撞胶条，阻尼布袋设置在管体内，防撞胶条位于阻尼布袋的外侧。本实用新型结构合理而紧凑，通过设置阻尼布袋，可以对下落到管体内的矿石进行柔性包裹，减缓矿石沿管体内部下滚的速率，减轻矿石对管体内部的摩擦损伤与冲击破坏，借助防撞胶条可以弹性形变的结构特点，可以对下落到管体内的矿石起到很好的缓冲作用，进一步减轻矿石对管体的撞击损伤，通过这两个方面，可以对管体进行有效的保护，减轻矿石对管体的损伤，大大提升了本实用新型的使用寿命，降低了损坏与更换频率，具有很强的实用性。
耐磨冲击球磨机进料

[实用新型]防尘型斗式提升机-CN202023214828.7有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;姜金刚;李小涵;宋康;于淙任 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B65D47/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及提升机的技术领域，是一种防尘型斗式提升机，其包括机身、机头罩、进料口、出料口，在机身的底部设置有进料口，机身顶部安装有机头罩，在机头罩上设置有出料口，在出料口处设有防尘罩，防尘罩由管状部与罩体部构成，管状部的一端与出料口法兰连接，管状部的另一端与罩体部相连通，在罩体部开口侧上可拆卸地安装有底板，底板上至少设置有一个的出料孔。本实用新型结构合理而紧凑，通过更换不同孔大小与数量的底板，可以对出料口的出料速度与流量进行有效控制，实现精确运输，再加上伞盖状的罩体结构本身就能对上扬的灰尘进行一定范围内的遮挡，因此本实用新型能有效降减轻出料口处物料扬尘过大的问题，降低厂区的粉尘污染。
防尘型斗式提升

[实用新型]储料仓进料装置-CN202023214830.4有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;王昆;李玉军;孙凯;宋康 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及储料仓的技术领域，是一种储料仓进料装置，其包罐状的料仓本体、支腿，支腿安装在料仓本体的底部，在进料口处的料仓本体外侧固设有管筒，在管筒内水平安装有筛板，在管筒顶部开口端处的左右两侧分别铰接有一扇密封门以密封管筒顶部开口，在后侧的管筒上端开口处还固设有导流斜板。本实用新型结构合理而紧凑，通过在料仓本体的管筒内设置筛板，可以对物料中的杂质进一步去除，确保后续流程不因较大杂质的存在而受到影响，通过在管筒的上端开口处设置由两个密封门、导流斜板构成的滑槽，可以有效地将物料引流到料仓本体内，从而能大大减小物料在进入料仓本体时的外撒、浪费。
储料仓进料装置

[实用新型]简易式内丝清理器-CN202120047617.4有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;姜金刚;李小涵;宋康 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及内螺纹清理装置的技术领域，是一种简易式内丝清理器，其包括扭杆、中心轴、上撑杆、下撑杆，中心轴竖直设置，在中心轴的顶部水平固设有扭杆，上撑杆与下撑杆的中部固设在中心轴下侧的轴体上，在下撑杆下端面的左右两侧分别固设有一个下安装筒，在下安装筒内螺纹连接有一个下螺柱，下螺柱的一端为尖角，下螺柱的另一端也一体连接有旋钮。本实用新型结构合理而紧凑，通过旋拧扭杆，可以使下螺柱上的尖角端会顺着内螺纹的走向运动，在此过程中，如果相邻齿牙之间填塞有杂质，杂质就会被下螺柱的尖角强制挤出或铲松，再加之后续毛刷的清扫，就能够有效地去除填塞在内螺纹上的杂质，整个过程省时省力效率高。
简易式内丝清理

[实用新型]防腐型板框压滤机机架-CN202120047677.6有效
发明人：闫福彬;宋裕华;王磊;王昆;李玉军;宋康 -专利权人：托里县招金北疆矿业有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B01D25/21 文献下载
摘要：本申请涉及一种防腐型板框压滤机机架，包括左支腿架、右支腿架、第一横梁、第二横梁，左支腿架、右支腿架左右间隔分布，在左支腿架与右支腿架之间水平固定连接有第一横梁与第二横梁，第一横梁与第二横梁前后间隔分布且位置相对应；在第一横梁与第二横梁的表面喷覆有第二防腐层，在第二防腐层及第一横梁与第二横梁外包套有若干连续的倒U形抗磨板，在每个抗磨板的上表面至少布设有一个支撑块，在每个抗磨板除支撑块所处位置外的其余上表面处喷覆有第一防腐层，第一防腐层遮蔽两两抗磨板间的连接缝。本申请通过设置抗磨板与PO粉防腐层，可以从防磨、防腐两个方面对板框压滤机机架的横梁部分进行有效保护，能有效延长整个板框压滤机的使用寿命。
防腐型板框压滤机架

[发明专利]一种工程测绘用地理经纬仪-CN202110454367.0在审
发明人： 宋裕华 -专利权人： 宋裕华
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G01C1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种工程测绘用地理经纬仪，包括经纬仪本体和支撑架体，所述支撑架体包括安装板、调节板和支撑腿，所述安装板设置于调节板顶部，所述支撑腿的数量设置为三个，三个所述支撑腿均匀分布于调节板外侧。本发明通过第一调节环带动Z形拐板上升，使三个齿条板同步啮合三个齿轮，三个支撑腿均匀扩散打开，直至达到理想支撑角度为止，并使用第一紧固螺丝固定，三个支撑腿与调节板之间的夹角相等，操作简单方便且定位效果好，将经纬仪本体固定在安装板顶部中心处，通过定位检测组件检测设备坐标基点和设备的垂心，并调节支撑腿的伸缩结构和底部微调结构使设备达到理想检测要求，便于经纬仪本体的精确安装和调节，提高测量精度。
一种工程测绘用地经纬仪

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