专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种激光退火装置-CN201511025829.8有效
  • 宋春峰;徐文 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2015-12-30 - 2019-11-26 - H01L21/268
  • 本发明涉及一种激光退火装置,包括载片台、第一能量探测器、第二能量探测器、第三能量探测器、空间光调制器、能量吸收单元、系统控制器以及与所述系统控制器分别相连的载片台控制器、反射率测量单元、能量调制退火单元;载片台控制器与载片台相连并控制载片台运动,反射率测量单元发出的激光一部分进入第一能量探测器,另一部分入射至晶圆表面,经晶圆表面反射后入射至第二能量探测器,根据第一能量探测器与第二能量探测器的数值得到晶圆反射率;能量调制退火单元发出的激光一部分进入第三能量探测器,另一部分经空间光调制器入射至晶圆表面,经晶圆表面反射后入射至能量吸收单元;上述所得晶圆反射率的值输入空间光调制器的输入端。
  • 一种激光退火装置
  • [发明专利]一种具有能量补偿的激光退火装置及退火方法-CN201510140856.3有效
  • 兰艳平;宋春峰 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2015-03-27 - 2019-09-17 - H01L21/268
  • 本发明公开了一种具有能量补偿的激光退火装置,包括控制系统、载片台,红外激光器和脉冲激光器,所述红外激光器发出红外激光采用布儒斯特角对硅片进行预热,所述脉冲激光器发出脉冲激光,采用布儒斯特角对所述硅片进行退火;所述红外激光和所述脉冲激光二者能量可调可叠加。本发明还公开了一种激光退火方法。本发明提供的具有能量补偿的激光退火装置,采用布儒斯特角对硅片进行退火,温度驻留时间在微秒量级,驻留时间短,可降低离子热扩散;不需要对工件台预热,热预算较小,避免带来热应变,减小热应力变形,减小对套刻精度的影响。红外激光和脉冲激光二者能量可调可叠加,可以避免图案效应问题,简化了机械结构,节约成本。
  • 一种具有能量补偿激光退火装置方法
  • [发明专利]激光退火装置-CN201410243344.5有效
  • 宋春峰;张鹏黎;陆海亮 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2014-07-04 - 2018-11-09 - H01L21/268
  • 本发明揭示了一种激光退火装置。包括激光光源、前端光学器件及能量补偿光学单元,激光光源发出的光束经所述前端光学器件整形、偏振调节成P偏振光或S偏振光入射能量补偿光学单元,通过能量补偿光学单元实现入射光束多次入射硅片。本发明通过将反射光补偿使得表面最大吸收,最小化光学吸收差异,解决了入射角度的局限性,且S偏振光和P偏振光都能够被使用,因此提高了激光退火装置的适应性。
  • 激光退火装置

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