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[发明专利]一种LTCC基板组件及其共晶烧结工艺方法-CN201510919650.0有效
发明人：张群力;宋云乾;刘侨 -专利权人：中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明涉及一种LTCC基板组件及其共晶烧结工艺方法，LTCC基板组件包括LTCC基板(2)、0.08mm厚预成型银锡焊片(3)、毛纽扣安装孔(即CNA8高温保护阻焊胶涂覆位置)(4)、LTCC基板结构件(5)，LTCC基板组件放入至弹性定位工装(1)中构成产品件。本发明适合多尺寸的专用弹力工装，可将基板空洞率由80％以下提高到90％以上；设计毛纽扣安装孔的保护工艺，实现对不同连接器安装孔的焊接过程的精确保护，不会对后续连接器进行安装产生影响。同时采用银锡焊片作为焊接材料，可实现焊料量的高精度控制，提高产品的一致性。
一种 ltcc 组件及其烧结工艺方法

[实用新型]一种LTCC基板组件共晶烧结多功能夹具-CN201720855316.8有效
发明人：何李婷;张群力;宋云乾 -专利权人：中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型一种LTCC基板组件共晶烧结多功能夹具，弹性支架(1)、(2)和定制支架(3)、(4)均通过圆柱销(5)连接，实现旋转运动；LTCC基板组件(10)通过底座(8)的凸台定位于底座(8)上；弹簧球头柱塞(6)通过自身螺纹与弹性支架(1)及弹性支架(3)的一端的螺纹孔连接；弹性支架(2)和弹性支架(4)通过螺钉与底座(8)进行紧固连接；弹性支架(1)及弹性支架(3)的另一端通过松不脱螺钉(9)与底座(8)进行紧固连接。该夹具可实现LTCC基板组件共晶烧结时定位夹紧，通过采用弹性夹紧装置，防止组件表面擦伤，通过采用弹性支架及垫块结构，使该夹具具有很强的通用性，并且装夹方便易拆卸。
一种 ltcc 组件烧结多功能夹具

[发明专利]一种射频组件集成方法-CN201710529729.1在审
发明人：宋志东;宋云乾;李曦 -专利权人：中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所
申请日： 2017-07-02 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：本发明提供一种射频组件集成方法，包括如下步骤，根据电路设计加工各层硅基板，完成各层基板的硅腔与TSV加工；完成各层硅基板的金属化，根据电路设计完成各层基板上的金属图案绘制，并完成阻容元件、滤波电路等无源器件的内嵌加工；通过晶圆键合工艺组合相应的硅基基板，形成埋置元器件所需要的腔体；进行芯片微组装，将射频电路中的元器件安装在相应的腔体内；通过晶圆键合工艺完成所有硅基基板层的互联；进入封装间进行进一步的三维堆叠，根据需要选择在上下表面安装其他元器件。本发明所提供的方法，加工精度高；元器件可以全部内埋，表面做到光洁无外露；集成尺寸小，有利于组件小型化、超薄化，批量生产成品率高。
一种射频组件集成方法