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[发明专利]光刻机动态调平调焦方法-CN201610498133.5有效
发明人：许伍;廖飞红;季采云 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机动态调平调焦方法，工件台在交接位承载工件，并向对准位开始步进；在工件台匀速运动过程中，采用动态调平调焦装置对工件的垂向高度进行扫描测量，所述动态调平调焦装置安置于工件台交接位与对准位之间的直线匀速段；通过信号处理器处理上述扫描信息，同时获得工件的表面水平信息和焦面信息；对工件台上的工件进行调平调焦。本发明中，所述工件从交接位运动至动态调平调焦装置，再运动至对准位，其中动态调平调焦装置安置于交接位到对准位的直线位置上，减小了运动台从交接位到对准位的移动距离，并在运动台运动过程中的匀速段进行多次位置测量并最终实现工件位置调平。
光刻机动平调方法

[发明专利]一种辅助支撑装置及带有辅助支撑的光刻机设备-CN201511025453.0有效
发明人： 季采云;廖飞红;钟亮;王璟 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种使用于光刻机设备的辅助支撑装置，从上至下依次包括相互连接的弹性支撑装置、吸振部件以及驱动磁场装置，所述驱动磁场装置对所述弹性支撑装置具有相互排斥的力，使得所述弹性支撑装置支撑用于放置工件台的吊框。这样使用磁场力以及弹性装置来调节支撑的力量，保证了在垂直方向上的自由度，还具有能够吸附地基振动的吸振部件，因此既能够补偿工件台的支撑面型，又不会引入地基振动。本发明还提供一种带有上述辅助支撑的光刻机设备，包括：工件台、用于放置工件台的吊框，还包括n个上述辅助支撑装置，n为正整数；这样使用多个辅助支撑装置，能够根据其所在位置处的面型变化调节支撑的力量，从而更好地补偿工件台的支撑面型。
一种辅助支撑装置带有光刻设备

[发明专利]应用于运动台的力矩补偿装置及方法-CN201510268937.1有效
发明人：钟亮;季采云;徐士龙;胡月 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-05-24 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于运动台的力矩补偿装置及方法，该应用于工件台的力矩补偿装置包括：真空气浮块，设置在运动台的X向运动模块和Y向运动模块上；真空泵，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生负压；风机，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生正压；以及控制器，控制所述真空泵和风机动作。本发明通过将真空气浮块安装在运动台上，使其一端产生正压，一端产生负压，两者合成力矩抵消运动台运动过程中产生的力矩，保证气膜厚度，进而补偿运动台的偏心力矩和惯性力矩，避免运动台重心变化导致的气膜挤压。
应用于运动力矩补偿装置方法

[发明专利]吸振装置及吸振方法、光刻机系统-CN201510270064.8有效
发明人： 季采云;孙见奇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-05-24 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种吸振装置及吸振方法，包括壳体、铁芯，所述壳体内设置有相互贯通的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有磁流变弹性体，位于所述第二腔室的铁芯缠绕有励磁线圈。本发明通过励磁线圈的电流的大小控制所述磁流变弹性体的刚度变强或变弱，以保证吸振装置的振动频率与振动源的振动频率相一致，降低振动敏感位置的振动幅值。本发明还公开了一种光刻机系统，依次包括地基、基础框架、一级减振器、主基板、法兰，二级减振器、光刻投影物镜以及设置于光刻投影物镜的模态节点位置的吸振装置，该光刻机系统能够对光刻投影物镜产生的振动进行吸振，特别是对绕水平方向的吸振效果较佳。
装置方法光刻系统

[发明专利]一种用于光刻设备的吸声装置-CN201410330541.0有效
发明人：徐士龙;钟亮;王璟;季采云 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种用于光刻设备的吸声装置，其特征在于，该吸声装置包括一弧形微穿孔板以及支撑该弧形微穿孔板的调节装置组成，该弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，该调节装置与该微穿孔板球铰链连接；所述调节装置调节所述微穿孔板相对于被吸声器件的距离及角度。
一种用于光刻设备吸声装置

[发明专利]一种运动台吸附装置及光刻装置-CN201610510854.3在审
发明人： 季采云;廖飞红;杨辅强;许伍 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种运动台吸附装置及光刻装置，所述吸附装置包括吸附台和支撑组件，所述吸附台上设有容纳所述支撑组件的第一让位槽，所述支撑组件设于所述第一让位槽内，所述支撑组件包括若干水平支撑杆，所述水平支撑杆下方通过连杆连接至驱动机构，所述吸附台和所述支撑组件靠近工件的一侧设有吸附结构。通过在支撑组件靠近工件的一侧设置吸附结构，对工件的整个平面进行吸附，解决了工件在让位槽区域平面凸起的现象，保证了面型精度；在吸附气流撤销后，通过驱动机构带动支撑组件承担工件传输过程中的上下片工作。本发明不仅可以将工件整面支撑的面型精度控制在8um以下，同时保证了工件传输过程中的上、下片工作。
一种运动吸附装置光刻

[发明专利]有源消声装置及光刻设备-CN201310752318.0有效
发明人： 季采云;钟亮;王璟 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种有源消声装置及光刻设备，带有误差传感器的有源消声装置改善了有源消声能力，能够将剩余噪声号反馈至控制单元，从而对次级噪声进行修正，提高了降噪效果，能很好地降低500Hz以下初级噪声的影响。本发明将有源消声信装置运用于所述光刻设备内能够降低光刻设备内的初级噪声对其动态性能的影响，保证了物镜的曝光精确度和测量装置的测量准确性，进而提高了光刻工艺的精度。
有源消声装置光刻设备

[发明专利]吸音隔声装置及光刻设备-CN201310670312.9在审
发明人：钟亮;王璟;季采云 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-10 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种吸音隔声装置及光刻设备，采用中空板进行隔音，且对中空板内抽真空，降低空气密度可以获得极佳的隔声效果，并且吸声材料具有良好的吸声性能，能够进一步的起到隔音效果；进一步的，本发明提出的梯形结构可以增加中空板的吸声能力，将其应用在光刻设备内部，可以增加光刻设备内的总体吸声面积，降低混响噪声，梯形结构顶层的微穿孔可以扩展结构吸声频段和吸声能力，同时，提出的光刻设备采用上述吸音隔声装置，由于吸音隔声装置具有宽频隔声吸声能力，降低噪声对光刻设备整机动态性能的影响，保证了物镜系统的曝光精确度和调平调焦系统的准确性，进而提高了光刻工艺的精度。
吸音装置光刻设备

[发明专利]重载荷柔性支撑装置-CN201310103211.3有效
发明人：王璟;王茜;季采云 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种重载荷柔性支撑装置，包括三组柔性机构，三组柔性机构支撑物镜并呈等腰三角形布置在主基板上。柔性机构包括：顶部横梁和两条侧面竖梁，顶部横梁的两端分别与对称设置的两侧面竖梁相连；顶部横梁上分别设有至少一组中心轴为Y向的第一柔性铰链和至少一组中心轴为Z向的第二柔性铰链，第一柔性铰链靠近所述顶部横梁的中心，第二柔性铰链靠近侧面竖梁；所述侧面竖梁上设有至少一组中心轴为X向的第三柔性铰链；所述第一、第二和第三柔性铰链统称为柔性铰链。物镜采用3组相同的柔性机构支撑在主基板上，使得整体前六阶模态频率低于30Hz，起到了振动隔离的作用，提高了物镜曝光的稳定性，降低因结构振动导致的成像短期误差。
载荷柔性支撑装置

[发明专利]物镜框架连接件-CN201310103931.X有效
发明人： 季采云;赵灿武;吴飞;王璟 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种物镜框架连接件，包括：柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，柔性底座与柔性盖板通过双头螺栓相连，且柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，蝶形弹簧组固定在双头螺栓上。由于双头螺栓、柔性底座和柔性盖板都可以快速拆卸和安装，使得物镜框架安装方便，同样也避免了物镜框架及内部各模块之间的扰动影响。柔性底座和柔性盖板使得物镜框架连接件具有一定的柔性作用，解决了多面体框架包络成形的EUV物镜框架难以装配的问题。实际应用时，根据物镜框架的大小，设计成多点接触的柔性连接框架结构来保证物镜框架整体具有一定的高刚度，从而达到EUV物镜框架结构的高模态，从而降低对连接主基板的低频区域扰动力的响应。
物镜框架连接

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