专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法-CN202210330977.4有效
  • 甘华平;王战思;秦远望;李涛;孟恒 - 宿州伊维特新材料有限公司
  • 2022-03-30 - 2023-09-12 - H01L21/311
  • 本发明涉及半导体器件领域,公开了一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法,包括以下步骤:将六氟乙烷原料气进行干燥后,将干燥气通入具有特殊结构的吸附器中进行吸附除杂,再依次进行液化和精馏提纯,获得高纯六氟乙烷;将含有高纯六氟乙烷的刻蚀气体形成等离子体后,对覆盖有图案化掩膜的半导体基底进行干法刻蚀。本发明采用具有特殊结构的吸附器对六氟乙烷干燥气进行吸附除杂,能够提高干燥气在吸附器中分布的均匀性,从而提高吸附除杂的效果,有利于获得更高纯度的六氟乙烷,进而减小六氟乙烷中的杂质对半导体器件性能的影响;同时,本发明中的吸附器还能提高再生气体分布的均匀性,从而缩短分子筛的再生周期,提高再生质量。
  • 一种利用高纯乙烷进行半导体刻蚀方法
  • [实用新型]承载装置及晶圆检测设备-CN202320675420.4有效
  • 陈思乡;雷传;吴灿;杜振东;孟恒 - 长川科技(苏州)有限公司
  • 2023-03-30 - 2023-08-22 - H01L21/683
  • 本实用新型涉及一种承载装置及晶圆检测设备,承载装置包括底座、载片台及顶升机构。将晶圆转移至载片台时,驱动组件先驱动多个顶杆伸出于承载面,再由搬运机器人将晶圆放置于顶杆的顶端,故晶圆将由多个顶杆共同支撑并保持与承载面平行。接着,多个顶杆在驱动组件的驱动下回缩至承载面的下方,将晶圆便转移至承载面并由承载面吸附。待晶圆检测完后,承载面切换至正压,驱动组件再次驱动多个顶杆伸出于承载面以将晶圆顶起,从而方便搬运机器人将晶圆取走。在晶圆由多个顶杆支撑时,每个顶杆的顶端可通过形成负压而吸附住晶圆。如此,在顶升机构带动晶圆升降的过程中晶圆在不易相对于顶杆滑动,从而提升晶圆接送的稳定性。
  • 承载装置检测设备
  • [实用新型]一种地理测绘架-CN202320790468.X有效
  • 董杰;祝中涛;孟恒 - 浙江国遥地理信息技术有限公司西安分公司
  • 2023-04-11 - 2023-07-04 - F16M11/32
  • 本实用新型公开了一种地理测绘架,包括连接基座,所述连接基座的下端外表面设置有可调节支撑杆,所述可调节支撑杆的数量为三组,所述可调节支撑杆包括固定杆、活动杆与锁止件,且所述活动杆与固定杆之间为滑动连接,所述锁止件位于固定杆一侧外表面的下部,所述活动杆的上端外表面设置有缓冲组件,所述活动杆的下端外表面设置有插地头,且所述插地头的上端外表面固定安装有连接组件。本实用新型所述的一种地理测绘架,通过设置的缓冲组件,便于在收拢三脚架时,可以起到缓冲减震的效果,便于对三脚架进行保护,增加使用的寿命,通过设置的连接组件,使得插地头与活动杆之间便于安装拆卸,方便对插地头进行换。
  • 一种地理测绘
  • [实用新型]整平装置及测量载具-CN202223255209.1有效
  • 徐焕;杜振东;刘治震;雷传;孟恒 - 长川科技(苏州)有限公司
  • 2022-12-05 - 2023-06-20 - B65G47/248
  • 本实用新型涉及一种整平装置及测量载具,测量载具包括承载台及设于承载台边缘的整平装置。整平装置包括升降机构、翻转机构及转动板。转动板可先在翻转机构带动下切换至第二状态,并在升降机构的带动下下降至承载台的承载面下方,以空出承载台上方的空间。待板材放置于承载台的承载面后,升降机构先带动转动板上升,翻转机构带动转动板由第二状态切换至第一状态,再由升降机构带动转动板下降,直至转动板的压接面与承载台上的板材抵接,便可将板材压平。板材在转动板下降的过程中被逐渐压平,能够避免转动板从侧面挤压板材的翘曲边而将板材压褶。因此,上述整平装置及测量载具能够将板材有效地整平。
  • 平装测量
  • [实用新型]一种地理数据采集器-CN202320859513.2有效
  • 祝中涛;孟恒;边世杰 - 浙江国遥地理信息技术有限公司西安分公司
  • 2023-04-18 - 2023-06-20 - B64U20/87
  • 本实用新型公开了一种地理数据采集器,其技术方案要点是:包括无人机本体,所述无人机本体的底面固定连接有放置板,所述放置板的底面固定连接有连接带;防护套,所述防护套固定连接在所述连接带的底面,所述防护套的内部活动套设有数据采集摄像机;固定组件,所述固定组件设置在所述放置板的底面,通过设置无人机本体,当工作人员将数据采集摄像机固定在无人机本体的底面后,使得无人机本体可以将数据采集摄像机带到工作人员不方便到达的区域进行地理数据信息采集,当转动杆在转动时,此时转动杆通过调节块可以带动固定板进行移动,使得两个固定板相互靠近进行移动,从而便于后期不同大小型号的数据采集摄像机固定在无人机本体的底面。
  • 一种地理数据采集
  • [实用新型]真空吸附手指及晶圆搬运设备-CN202222901967.X有效
  • 陈思乡;杜振东;雷传;徐焕;孟恒 - 长川科技(苏州)有限公司
  • 2022-11-01 - 2023-01-24 - B25J15/06
  • 本实用新型提供了一种真空吸附手指及晶圆搬运设备,涉及物料搬运技术领域,本实用新型提供的真空吸附手指用于搬运物料,其中物料包括物料本体及用于固定物料本体的固定支撑件,本实用新型提供的真空吸附手指包括承载本体,用于承载物料;和安装于承载本体上的吸附组件,吸附组件包括多个吸气端面,用于吸附所述固定支撑件的外周面。本实用新型提供的真空吸附手指结构简单,具有能够对物料中固定支撑件的外周面进行吸附的多个吸气端面,可在吸取过程中完成对物料的定位,且能够吸附不同内径的固定支撑件,具有较好的兼容性。
  • 真空吸附手指搬运设备
  • [实用新型]智能VR全景图形图像编辑处理回显装置-CN202222147050.5有效
  • 潘晓明;李博;孟恒 - 苏州东思信息技术有限公司
  • 2022-08-16 - 2022-11-22 - G06F3/041
  • 本实用新型涉及图像处理技术领域,公开了智能VR全景图形图像编辑处理回显装置,包括回显装置本体,所述回显装置本体包括触摸屏,所述触摸屏的背部开设有散热槽,且所述散热槽的中部嵌合安装有导热片,所述触摸屏的背部连接有连接轴,且所述连接轴的下方套接有底座,所述底座包括支座。触摸屏的背面设有弧形面的散热槽,且散热槽的中部套接有导热片,便于对触摸屏进行快速导热,且通过将回显装置本体安装在底座的上端,且支座的底部连接有安装套,并在安装套的内部安装有对称的两个直流风机,通过直流风机的转动带动气流进行流动,并强化对散热槽和导热片的风冷,增加触摸屏的散热效果,便于回显装置本体的使用。
  • 智能vr全景图形图像编辑处理装置

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