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[发明专利]一种连续膨胀法校准标准漏孔的装置及方法-CN202310636161.9在审
发明人：赵澜;董猛;成永军;陈联;孙雯君;张瑞芳;丁栋;管保国;李刚;冯天佑 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本申请涉及测量技术领域，具体而言，涉及一种连续膨胀法校准标准漏孔的装置及方法，所述装置包括气体微流量计、监测真空计、质谱仪、校准室、温度计、被校标准漏孔以及抽气系统，其中：气体微流量计、监测真空计、质谱仪以及抽气系统均与校准室连接；被校标准漏孔设置多个，多个被校标准漏孔均与校准室连接。本申请装置结构简单，方法容易实行，成本低，能够用于不同量级、多种校准气体的标准漏孔的校准，延伸了漏率校准范围，并且能够实现同步对多台被校准漏孔进行校准，提高了校准效率。
一种连续膨胀校准标准漏孔装置方法

[发明专利]一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法-CN202011464931.9有效
发明人：丁栋;成永军;陈联;孙冬花;孙雯君;裴晓强;冯天佑;李玉成;张瑞年 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法。使用本发明能够用于密闭空间微量有害气体成分及浓度检测及校准，同时给出气体种类、浓度和所处位置；方法简单可行，易操作。本发明由取样管路、取样阀、取样室、质谱室、质谱计等组成的检测系统，能够对密闭空间内的微量有害气体进行巡检，并给出气体成分和浓度值；同时，为避免质谱计随着测量时间的延长和质谱计污染，其灵敏度会降低，导致其检测数据不准确，因而通过校准系统对质谱计进行校准。校准系统通过设置小体积和小孔，使得标准气进样压力衰减至分子流状态，确保微量气体进样过程中各种气体成分比例保持恒定，更加符合检测系统工况，对检测数据校准更为精确。
一种用于密闭空间微量有害气体检测校准装置方法

[发明专利]一种基于低真空累积法的高灵敏度检漏装置及方法-CN202310636131.8在审
发明人：陈联;赵澜;陈会颖;冯天佑;孙冬花;成永军;孙雯君;张瑞芳 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本申请涉及真空泄漏检测技术领域，具体而言，涉及一种基于低真空累积法的高灵敏度检漏装置及方法，所述装置包括低真空累积检漏组件、示漏气体取样组件、示漏气体质谱分析组件以及抽空机组，其中：低真空累积检漏组件通过电磁阀和电动阀与抽空机组连接；示漏气体取样组件用于低真空气体的引出，设置在低真空累积检漏组件与示漏气体质谱分析组件之间；示漏气体质谱分析组件通过电动阀与抽空机组连接；抽空机组用于示漏气体的抽除以及提供真空条件。本申请将低真空累积、限流小孔取样和选择性抽气、分压力测量结合起来，在高灵敏度检漏的同时，显著缩短了检漏时间，解决了传统检漏方法中存在的检漏灵敏度越高要求检漏时间越长的缺点。
一种基于真空累积灵敏度检漏装置方法

[发明专利]一种基于NEG泵的宽动态范围质谱测量装置及方法-CN202310602024.3在审
发明人：董猛;成永军;孙雯君;吴成耀;冯天佑;陈联;裴晓强;李刚 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于NEG泵的宽动态范围质谱测量装置及方法。本发明利用非蒸散性吸气剂泵(NEG泵)的选择性抽气特性和限流阀的可调节分子流导特性，结合混合气体测量时先吸附后激活脱附的手段，将质谱计测量混合气体的动态范围特性至少提升1个数量级以上，进而提升质谱计测量混合气体的灵敏度，实现混合气体质谱精准定性、定量分析与测量。
一种基于 neg 动态范围测量装置方法

[发明专利]一种空间用高压气瓶高效安全检漏平台及方法-CN202310644574.1在审
发明人：丁栋;陈联;成永军;孙雯君;赵澜;孙冬花;冯天佑;张瑞年;汪宁 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本申请涉及航天产品安全技术领域，具体而言，涉及一种空间用高压气瓶高效安全检漏平台及方法，所述平台包括充气系统、集气室、高压气瓶、标准漏孔、真空规、检漏系统以及抽真空系统，其中：高压气瓶设置在集气室的内部，充气系统、标准漏孔、真空规、检漏系统以及抽真空系统均设置在集气室的外部；充气系统通过第一截止阀与高压气瓶连接；标准漏孔通过第二截止阀与集气室连接；真空规通过第三截止阀与集气室连接；抽真空系统通过第四截止阀与集气室连接；检漏系统通过第五截止阀与集气室连接。本申请降低了集气室内示漏气体的本底浓度，采用温度补偿或修正的方式对漏率检测结果进行了校准，提高了高压气瓶漏率测量结果的准确性。
一种空间压气高效安全检漏平台方法

[发明专利]一种复合型电容薄膜真空计-CN202310635946.4在审
发明人：吴成耀;成永军;孙雯君;裴晓强 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种复合型电容薄膜真空计，本申请提供了一种复合型电容薄膜真空计，包括真空计机架和真空计模块，其中：真空计机架的整体为立方体结构，内部为空腔结构；真空计机架的底面上设置有进气口，其他5个面上均设置有真空计模块；真空计模块为圆柱体结构，每个真空计模块的测量腔均与真空计机架内部的空腔连通。本申请总体积小，重量轻，在多个量程段均具有较高的测量精度，共用同一组电路系统，易于检测，成本低，实现了真空计的模块化设计，能够根据实际应用情况进行真空计模块个数与类型的选择。
一种复合型电容薄膜真空计

[发明专利]一种基于第一性原理反演真空度的测量系统及方法-CN202310644577.5在审
发明人：成永军;董猛;孙雯君;吴翔民;李彦朋 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种基于第一性原理反演真空度的测量系统及方法，所述系统包括高纯气瓶、稳压室、真空度测试室、电离真空计、非蒸散型吸气剂泵、磁悬浮涡轮分子泵以及干泵，其中：高纯气瓶通过第一金属截止阀与稳压室连接；稳压室通过金属调节阀与真空度测试室连接；电离真空计与真空度测试室连接；磁悬浮涡轮分子泵通过第一插板阀与真空度测试室连接；非蒸散型吸气剂泵通过第二插板阀与真空度测试室连接；干泵通过第二金属截止阀与磁悬浮涡轮分子泵连接。本申请利用基于第一性原理在磁势垒中反演真空度的方法不受气体种类限制，可利用不同气体进行测试，进而实现电离真空计针对不同气体相对灵敏度的校准。
一种基于第一性原理反演真空测量系统方法

[发明专利]一种多感压膜绝压MEMS电容薄膜真空规-CN202310648235.0在审
发明人：李刚;李得天;成永军;孙雯君;张虎忠;陈会颖;任正宜;赵澜 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种多感压膜绝压MEMS电容薄膜真空规，包括基底玻璃、基底硅、感压薄膜以及上盖玻璃，其中：基底硅设置在基底玻璃与上盖玻璃之间；感压薄膜设置在基底硅上，感压薄膜的下方空间与基底玻璃之间形成测量腔体，感压薄膜的上方空间与上盖玻璃之间形成参考腔体；测量腔体内设置有敏感电容电极和信号引出电极；参考腔体内设置有硅块和吸气剂膜。本申请能够实现10‑2Pa至104Pa范围绝对真空度的测量，测量准确度高、灵敏度高、输出的重复性和长期稳定性好，同时具有体积小、重量轻、功耗低、制作工艺与集成电路兼容，便于集成化批量生产的优点。
一种多感压膜绝压 mems 电容薄膜真空

[发明专利]一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法-CN202111513436.7有效
发明人：丁栋;成永军;孙雯君 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及超高真空比对校准系统技术领域，具体而言，涉及一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法，所述保护IE514分离规不受湿度影响的装置包括真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀，其中：真空室通过第一截止阀连接用于真空室内气体置换的高纯氮气瓶；真空室通过第二截止阀连接用于真空室抽真空的机械泵；IE514分离规放置于真空室内，真空室经第三截止阀接校准系统。本申请通过将IE514分离规放置于真空室内，并将真空室的湿度控制在IE514分离规允许的湿度范围内，实现IE514分离规不受外界湿度的影响，为提供IE514分离规提供良好工作环境，进而解决了相关技术中IE514分离规受湿度影响严重的技术问题。
一种保护 ie514 分离不受湿度影响装置方法

[发明专利]一种复合式MEMS真空规及其制作方法-CN202211662335.0在审
发明人：李刚;李得天;张虎忠;成永军;孙雯君;郭美如;任正宜;葛金国;赵澜;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-24 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种复合式MEMS真空规及其制作方法，所示真空规包括MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规，其中：电容薄膜真空规和皮拉尼真空规设置在同一硅基底上；电容薄膜真空规包括真空参考腔和电容间隙，真空参考腔与电容间隙之间的硅基底上设置有感压薄膜，电容间隙内设置有固定电极；皮拉尼真空规包括承载膜、压敏电阻、引出电极以及参考电阻，承载膜设置在硅基底上，下方设置有腔体，压敏电阻设置在承载膜上，引出电极和参考电阻均设置在硅基底上，压敏电阻和参考电阻均与引出电极连接。本申请结合MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规，采用一个传感器就可以同时精确测量待测气体的真空压力和待测气体的种类。
一种复合 mems 真空及其制作方法

[发明专利]冷原子超高真空混合气体分压力测量装置及方法-CN202310066652.4在审
发明人：成永军;吴翔民;孙雯君;董猛;赵澜;丁栋;习振华;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01N7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于冷原子技术测量超高真空混合气体分压力的装置及方法。本发明依据势阱中陷俘的冷原子因背景气体粒子碰撞引起的规律性衰减能反演出气体粒子密度的理论，以及不同气体粒子与冷原子的速度热平均碰撞截面随势阱深度具有确定且独立变化趋势的特性，提出构建不同阱深条件下总碰撞损失率关于混合气体分密度的多变量线性回归方程组，来分析不同阱深条件下冷原子团总损失率的变化，从而分离出混合气体中各成分的种类和密度，确定出每种成分的分压力。本发明方法避免了传统质谱计在电离过程带来诸多效应而引起测量不确定度，且基于冷原子的基本物理特性，具有无需校准、对测量环境无扰动、准确度高、不同时间不同地点可复现等优势。
原子超高真空混合气体分压力测量装置方法

[发明专利]一种基于指数衰减法的真空计校准装置及方法-CN202011451187.9有效
发明人：习振华;成永军;李亚丽;贾文杰;范栋;孙雯君;郭美如;李玉成;管保国 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于指数衰减法的真空计校准装置及方法，解决了现有高真空、超高真空范围基于气体微流量动态平衡原理的校准方法高度依赖高精度气体微流量计的难题，降低了真空校准装置结构复杂程度、成本，有效缩短了校准时间，提高了真空计校准的效率，为现场环境真空计的校准提供了一种新方法。
一种基于指数衰减真空计校准装置方法

[发明专利]一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置及诊断方法-CN202011467195.2有效
发明人：郭美如;成永军;孙雯君;耿健;李亚丽;王晓冬;习振华;任正宜;吴成耀 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置。本发明通过设置一个密闭空间，引用朗缪尔探针，配合采用固定流导法，实现了对微型溅射离子泵正常工作时的内部空间电子温度和电子数密度进行检测。同时，利用电机、丝杠、滑块、朗缪尔探针之间的配合，实现了朗缪尔探针在容纳泵腔体内上下移动，进而实现了测量泵内部不同位置的电子温度和电子数密度。此外，通过引入气体微流量计，实现对容纳泵腔体及测试罩内部的压力调节，实现获得不同压力下的电子温度和电子数密度。
一种微型溅射离子等离子体诊断装置方法

[发明专利]一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法-CN202011468250.X有效
发明人：董猛;成永军;习振华;贾文杰;孙雯君;张虎忠;马亚芳;刘珈彤;杨利 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法。利用第一性原理等物质的本征物理特性及定义出发，利用基于量子理论的中性气体－超冷原子碰撞理论能够实现超高或极高真空的绝对测量，使其成为具有自校准特性的超高或极高真空测量量子基准，不需要和其它标准进行比对校准，而且测量下限不受限制，可以实现10－9Pa及以下的宇宙空间极高真空精确测量。
一种利用原子测量超高极高真空装置检测方法

[发明专利]一种精密测量冷原子真空系统压强的传感装置及方法-CN202210007999.7有效
发明人：武海斌;李睿;张雪姣;张静怡;成永军;董猛;孙雯君 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密测量冷原子真空系统压强的传感装置及方法。其装置采用在二维磁光阱腔室上及三维磁光阱腔室上分别配置离子泵、钛泵及激光器，并在二维磁光阱腔室上还配置了原子炉，在三维磁光阱腔室上还配置了高纯度气瓶、球面透镜、光电倍增管及数据采集卡；其方法采用所述装置实现，第一步，提取出原子损失率Γ；第二步，获得当前阱深修正的损失率系数Kloss；并通过计算，获得冷原子真空系统的真空压强P。本发明遵循冷原子本身的秉性，解决了超高或极高真空中精确量化真空度的问题，其测量范围不受背景气体数密度的影响，与传统的真空计量装置相比，具有测量精度更高，可测量真空压强更小，且不需要反复校准的优势。
一种精密测量原子真空系统压强传感装置方法

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