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[发明专利]光刻机、瞳面透过率分布检测装置及检测方法-CN202010327823.0有效
发明人： 孙文凤;尹光才;田毅强 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻机、瞳面透过率分布检测装置及检测方法，所述瞳面透过率分布检测装置中的所述图像传感器和所述功率计均设置于一物镜的像面上。其中，一光束沿第一光路或第二光路传播至所述物镜的像面上，且所述光束具有一预设光束角。所述图像传感器用于测量经所述第一光路的所述光束的照明光瞳信息。所述功率计用于测量经所述第二光路的所述光束的像面光瞳信息。所述数据处理器根据所述照明光瞳信息和所述像面光瞳信息得到所述瞳面的透过率分布。因所述光束预设的光束角能够使得图像传感器能够不受物镜的影响，在像面上获取所述照明光瞳信息，从而能够实现瞳面透过率分布的高精度在线测量，有助于准确掌握物镜的像质状态，提高成像质量。
光刻透过分布检测装置方法

[发明专利]一种基于移动式磁共振系统的近距离报警系统及方法-CN202211253428.8在审
发明人：纪静;孙文凤 -专利权人：中科微影（泰州）医疗科技有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于移动式磁共振系统的近距离报警系统及方法，其中，系统包括：第一获取模块，用于获取正在运行途中的移动式磁共振设备的设备位置和影响距离；确定模块，用于基于预设的绘制规则，根据设备位置和影响距离，确定移动式磁共振设备影响到的第一区域；第二获取模块，用于获取第一区域内的第一图像；判断模块，用于根据第一图像，确定提醒目标；第一提醒模块，用于对提醒目标进行相应提醒。本发明的基于移动式磁共振系统的近距离报警系统及方法，根据移动式磁共振设备的设备位置和影响距离，确定需要监测的第一区域，更加合理；基于第一区域内的第一图像直接确定提醒目标进行相应提醒，更加智能，也提升了提醒的及时性。
一种基于移动式磁共振系统近距离报警方法

[发明专利]一种核磁共振图像与CT图像融合方法与系统-CN202210947992.3在审
发明人：张源;孙文凤 -专利权人：中科微影（浙江）医疗科技有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G06T5/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种核磁共振图像与CT图像融合方法与系统，其中该方法包括：对核磁共振图像和CT图像进行小波分解并计算分解后图像的信息梯度值；根据信息梯度值构建融合系数；计算核磁共振小波图像和CT小波图像的信息值；根据信息值构建融合公式；根据融合公式和融合系数构建图像融合模型；利用图像融合模型对核磁共振图像和CT图像进行融合得到融合后的图像。本发明通过待融合图像的信息梯度值和信息值构建图像融合模型，并基于此对核磁共振图像和CT图像进行融合，不仅可以改善图像的清晰度，可以弥补单一的核磁共振图像或者CT图像信息量不足的缺陷，大大提高了医生对图像的判读效果，为后续病灶定位提供了有利的影像依据。
一种核磁共振图像 ct 融合方法系统

[发明专利]一种用于核磁共振图像的病灶识别提取方法与系统-CN202211076750.8在审
发明人： 孙文凤;刘李鹏 -专利权人：中科微影（浙江）医疗科技有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G06T7/11 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于核磁共振图像的病灶识别提取方法与系统，包括：使用滤波窗口检测核磁共振图像上的噪声点得到噪声均值；当滤波窗口内噪声均值大于预设阈值时，对相应滤波窗口内的核磁共振图像进行去噪；滑动滤波窗口，直到遍历完成整个核磁共振图像；利用最优的分割阈值对去噪后的核磁共振图像进行分割得到分割后的核磁共振图像。本发明首先利用滤波窗口对核磁共振图像进行滤波，然后基于均值核磁共振图像和去噪后的核磁共振图像之间的相关度得到最优的分割阈值，并基于分割阈值对图像进行分割可以将核磁共振图像的背景区域剥离出来，使得目标区域的轮廓和纹理更加清晰。
一种用于核磁共振图像病灶识别提取方法系统

[发明专利]光刻机扫描系统及光刻机扫描系统远心异常校准方法-CN202011533017.5在审
发明人： 孙文凤 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻机扫描系统及刻机扫描系统远心异常校准方法，所述光刻机扫描系统通过在第一光源组件和可变狭缝组件之间设置用于发出第二出射光的第二光源组件，并在第二光源组件发出第二出射光，且测量单元被第二出射光照射到时，测量第二出射光照射到第一测量组件上形成的光斑的中心位置，以计算得到照明组件的远心。如此一来，通过在光刻机扫描系统中引入用于测量远心的第二光源组件，以避免使用用于光刻的第一出射光进行照明组件远心测量而导致的干扰问题。同时，可直接在光刻机扫描系统中完成远心的测量，以提升远心的测量和校准效率。
光刻扫描系统异常校准方法

[发明专利]光刻设备及光刻设备的瞳面透过率的检测方法-CN201910579085.6有效
发明人：田毅强;孙文凤 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻设备以及光刻设备的瞳面透过率的检测方法。根据具有子光束能量常数的相位掩模版，获取对应的子光束入射能量或者获取子光束的入射能量比值，并且在光刻设备中还集成有检测装置，以利用检测装置可以实现在线获取子光束的出射能量，进而可以得到瞳面透过率的检测结果。即，本发明中的光刻设备集成有瞳面透过率检测功能，从而可以在线执行检测过程，不仅其检测方式便利，并且可有效缩减检测时长。
光刻设备透过检测方法

[发明专利]光刻设备的瞳面透过率分布的检测方法-CN201910579128.0有效
发明人： 孙文凤 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻设备的瞳面透过率分布的检测方法。提供多种相位掩模图形，并使从不同的相位掩模图形投射出的第二级子光束分别对应在成像系统的瞳面的不同位置，从而可以对成像系统的瞳面上的多个检测点进行光瞳透过率检测，进而得到整个瞳面的透过率分布。即，本发明提供的瞳面透过率分布的检测方法，其检测过程便捷，并且检测时长也较短，有利于实现光刻设备以短周期执行检测过程，以及时的监控光刻设备的光瞳透过率状态。
光刻设备透过分布检测方法

[发明专利]一种步态识别方法及装置-CN201910309192.7有效
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种步态识别方法及装置。方法包括：获取待识别视频中任一行人对应的人体关键点特征向量序列；将人体关键点特征向量序列输入至目标神经网络，根据目标神经网络的输出结果，识别人体关键点特征向量序列对应的行人身份；其中，目标神经网络是根据带有行人身份标签的人体关键点特征向量序列进行训练后得到的。本发明实施例提供的方法及装置，通过获取待识别视频中任一行人对应的人体关键点特征向量序列，并将该序列输入至目标神经网络，根据目标神经网络的输出结果，识别该序列对应的行人身份。通过充分利用人体关键点特征，自学习人体的步态特征，大大提高了步态识别的鲁棒性和准确性，并且，对硬件的要求较低，便于实际应用。
一种步态识别方法装置

[发明专利]光刻成像系统及其投影曝光方法-CN201511024258.6有效
发明人： 孙文凤 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻成像系统及其投影曝光方法，该光刻成像系统包括：光源、照明组件、掩模和投影物镜，所述照明组件与掩模之间和/或投影物镜与硅片之间设置有偏振补偿装置，所述投影物镜的像面上设置有远心检测装置，所述偏振补偿装置和远心检测装置分别连接至偏振控制单元。本发明通过在照明组件与投影物镜和/或投影物镜与像面之间直接加入偏振补偿装置，改变了投影物镜的偏振输入，对光刻成像系统进行偏振补偿，改善了系统传输特性，达到了提高投影成像光刻分辨率的目的；此外，在光刻成像系统中加入偏振补偿器件，不影响原照明组件和投影物镜的技术参数，因此可以在设计制造光刻曝光系统时就考虑加入，使光刻成像系统的设计简单方便。
光刻成像系统及其投影曝光方法

[发明专利]一种目标物体的识别方法及装置-CN201910308713.7在审
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种目标物体的识别方法及装置。其中，方法包括：将待识别图片输入至第一神经网络模型，输出所述待识别图片中每一目标物体对应的位置框坐标；将所述位置框坐标输入至云台摄像机，获取所述云台摄像机拍摄到的对应目标物体的图片，并基于所述图片对所述目标物体进行识别。本发明实施例提供的方法及装置，通过将待识别图片输入至第一神经网络模型，根据该模型的输出结果控制云台摄像机拍摄到放大的且更加清晰的包含目标物体的图片，基于该图片进行目标物体的识别，可提高识别的准确率，并且，通过神经网络获取输出结果的过程较快，因此整体降低了识别过程所耗费的时长。
目标物体云台摄像机神经网络模型图片输入图片输出结果控制神经网络输出结果整体降低拍摄准确率时长放大输出清晰

[发明专利]一种违禁物品的识别方法及装置-CN201910309212.0在审
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种违禁物品的识别方法及装置。其中，方法包括：获取待识别图片；将所述待识别图片输入至目标神经网络，根据所述目标神经网络的输出结果，识别所述待识别图片中是否存在违禁物品；其中，所述目标神经网络是根据带有违禁物品存在性标签的图片进行训练后得到的。本发明实施例提供的方法及装置，通过神经网络强大的自适应学习能力，自动的学习违禁物品特征，从而实现自动检测待识别图片中是否存在违禁物品，检测速度快且准确，无需使用复杂的硬件设备，对硬件的要求较低，便于实际应用。
违禁物品目标神经自适应学习神经网络输出结果图片输入硬件设备自动检测图片网络标签检测应用学习

[发明专利]基于深度学习的数字表识别方法及设备-CN201910301195.6在审
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G06K9/20 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种基于深度学习的数字表识别方法及设备，所述方法通过将待识别图像输入预先构建的数字表识别模型；其中，所述数字表识别模型基于预先标注的图像样本和深度卷积神经网络训练获得；基于数字表识别模型的输出结果，获取待识别图像中数字表的数值，实现快速和准确进行数字表识别的技术效果。
数字表卷积神经网络技术效果输出结果图像输入图像样本构建标注图像学习

[发明专利]基于深度学习的安全护具穿戴识别方法及设备-CN201910300432.7在审
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种基于深度学习的安全护具佩戴识别方法及设备，所述方法通过将待识别图像输入预先构建的安全护具识别模型；其中，所述安全护具识别模型基于预先标注的图像样本和多层卷积神经网络训练获得；基于安全护具识别模型的输出结果，获得待识别图像中包含安全护具的子图像。解决了现有技术中安全护具佩戴识别方案受光照的影响较大，并且不同的特征提取方法对算法的鲁棒性也有影响的技术问题，实现快速和准确进行安全护具佩戴识别的技术效果。
安全护具佩戴卷积神经网络技术效果输出结果特征提取图像输入图像样本鲁棒性子图像多层构建算法穿戴标注光照图像学习

[发明专利]基于深度学习的安全帽佩戴识别方法及设备-CN201910300441.6在审
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种基于深度学习的安全帽佩戴识别方法及设备，所述方法通过将待识别图像输入预先构建的安全帽识别模型；其中，所述安全帽识别模型基于预先标注的图像样本和多层卷积神经网络训练获得；基于安全帽识别模型的输出结果，获得待识别图像中包含安全帽的子图像。解决了现有技术中安全帽佩戴识别方案受光照的影响较大，并且不同的特征提取方法对算法的鲁棒性也有影响的技术问题，实现快速和准确进行安全帽佩戴识别的技术效果。
安全帽佩戴卷积神经网络技术效果输出结果特征提取图像输入图像样本鲁棒性子图像多层构建算法标注光照图像学习

[发明专利]一种抄表方法及装置-CN201910242344.6在审
发明人：袁飞;华仁红;马向军;孙文凤 -专利权人：北京易达图灵科技有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种抄表方法及装置，该方法包括：获取空间语义地图信息和路径规划信息；根据所述空间语音地图信息和路径规划信息，实时获取抄表预览图片信息；对所述抄表预览图片信息进行分析，若所述抄表预览图片信息中包括表计信息，则获取抄表高清图片信息；对所述抄表高清图片信息进行分析，得到表计信息，对所述表计信息进行识别，得到表计读数信息。该方法通过空间语义地图确定表计位置信息和道路信息，然后根据预先规划的路径，拍摄抄表高清图片信息，对抄表高清图片信息进行分析，从而识别图片中的表计读数信息本发明实施例不需要预设摄像头位置或者表计，也不需要高精度的地图，可以更灵活有效的完成抄表工作。
抄表表计高清图片预览图片路径规划信息表计读数语义地图摄像头位置道路信息实时获取所述空间语音地图分析预设灵活拍摄规划图片

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