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[发明专利]高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法-CN201510881229.5有效
发明人：卢乾波;白剑;娄树旗;焦旭芬;韩丹丹 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法，所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块，四个对称分布的蟹脚型悬臂梁，连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜；敏感质量块的重心通过特别设计的微加工工艺可以确保位于悬臂梁的中心平面上，单轴光学微加速度计的敏感轴方向垂直于该中心平面，通过重心位置的调整从根本上抑制了离轴串扰；所述的微机械加速度敏感配合基于衍射光栅的光学微加速度计可以在保证高加速度测量灵敏度的前提下有效抑制离轴串扰，应用的表面微加工工艺也可与IC工艺兼容，实现大批量制作。
高精度光学加速度计抑制微机加速度敏感结构及其制造方法

[发明专利]光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法-CN201510292513.9有效
发明人：卢乾波;娄树旗;焦旭芬;白剑 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-05-30 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转换模块，减法器，除法器，数据存储求和平均模块、乘法器，以上模块均由一个可编程数字信号处理器实现。本发明结构相对简单，可有效降低由于光源自身功率波动和环境光对输出信号的影响，相比采用具有很高功率稳定性激光器的方案可以有效降低光学MEMS加速度计的成本。而且该系统和方法能够有效应用于光学MEMS加速度计中，减小其输出信号的扰动，最终提高加速度测量零偏稳定性和精度。
光学 mems 加速度计三光信号补偿系统及其方法

[实用新型]一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构-CN201520995615.2有效
发明人：卢乾波;白剑;娄树旗;焦旭芬;韩丹丹 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构，所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块，四个对称分布的蟹脚型悬臂梁，连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜；敏感质量块的重心通过特别设计的微加工工艺可以确保位于悬臂梁的中心平面上，单轴光学微加速度计的敏感轴方向垂直于该中心平面，通过重心位置的调整从根本上抑制了离轴串扰；所述的微机械加速度敏感配合基于衍射光栅的光学微加速度计可以在保证高加速度测量灵敏度的前提下有效抑制离轴串扰，应用的表面微加工工艺也可与IC工艺兼容，实现大批量制作。
一种高精度光学加速度计抑制微机加速度敏感结构

[实用新型]一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统-CN201520368026.1有效
发明人：卢乾波;娄树旗;焦旭芬;白剑 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-05-30 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转换模块，减法器，除法器，数据存储求和平均模块、乘法器，以上模块均由一个可编程数字信号处理器实现。本实用新型结构相对简单，可有效降低由于光源自身功率波动和环境光对输出信号的影响，相比采用具有很高功率稳定性激光器的方案可以有效降低光学MEMS加速度计的成本。而且该系统和方法能够有效应用于光学MEMS加速度计中，减小其输出信号的扰动，最终提高加速度测量零偏稳定性和精度。
一种光学 mems 加速度计三光信号补偿系统

[发明专利]基于单片集成的高精度、大量程光学NEMS微加速度计-CN201410402873.5有效
发明人：卢乾波;廉文秀;娄树旗;白剑 -专利权人：浙江大学
申请日： 2014-08-15 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于单片集成的高精度、大量程光学NEMS微加速度计，由加速度敏感系统和光学位移测量系统组成，所述加速度敏感系统由单片SOI上的光栅、四个悬臂梁和基底组成；光学位移测量系统包括激光器、光电探测器、上层基底层、支撑和连接部分、处理电路和计算机；其中光栅既作为光学位移测量系统中的光学调制元件，又在加速度敏感系统中充当了质量块的角色；本发明微加速度计利用了单片集成的NEMS加速度敏感系统实现了大动态范围的线性加速度敏感，并利用了衍射光栅的干涉现象和亚波长光栅的伍德异常现象实现了很高的位移测量灵敏度，综合两个系统可以达到高精度、大动态范围的加速度测量。
基于单片集成高精度量程光学 nems 加速度计