专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法-CN202180003911.8有效
  • 辻一仁;大渊真志;下山正 - 株式会社荏原制作所
  • 2021-02-25 - 2023-08-25 - C25D17/06
  • 本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法。本发明提供一种能够抑制因滞留在基板的被镀覆面的气泡而导致基板的镀覆品质变差的技术。镀覆装置(1000)具备:镀覆槽(10),存积镀覆液,并且在内部配置有阳极(11);基板保持件(30),配置于比阳极靠上方的位置,将作为阴极的基板保持为基板的被镀覆面朝向下方,并且具有比基板的被镀覆面的外周缘向下方突出的环(31);旋转机构(40),使基板保持件旋转;以及升降机构(50),使基板保持件升降,在环的下表面的一部分配置有朝向下方侧突出的至少一个突起(35)。
  • 镀覆装置以及气泡除去方法
  • [发明专利]镀覆装置-CN202310296969.7在审
  • 石井翼;下山正;大渊真志;增谷浩一;樋渡良辅 - 株式会社荏原制作所
  • 2023-03-24 - 2023-07-07 - C25D17/00
  • 本发明提供镀覆装置。在镀覆处理中实时且正确地掌握镀覆膜厚。镀覆装置具备:镀覆槽,其用于收容镀覆液;基板支架,其用于保持基板;阳极,其以与被上述基板支架保持的上述基板对置的方式配置在上述镀覆槽内;电位传感器,其构成为配置于被上述基板支架保持的上述基板的附近,并测定上述镀覆液的电位;以及状态空间模型,其构成为基于上述电位传感器测定出的上述镀覆液的电位的测定值,使用状态方程式以及观测方程式来推断在上述基板的外缘部流过的电流密度。
  • 镀覆装置
  • [发明专利]镀覆装置-CN202211411683.0在审
  • 石井翼;下山正;大渊真志;增谷浩一 - 株式会社荏原制作所
  • 2022-11-11 - 2023-06-23 - C25D17/00
  • 本发明提供镀覆装置,能够实现形成于基板的镀膜的均匀性的提高。镀覆装置具备:镀覆槽、用于保持基板的基板支架以及以与被上述基板支架保持的基板对置的方式配置于上述镀覆槽内的阳极。另外,镀覆装置具备:导管,该导管具有配置于被上述基板支架保持的基板与上述阳极之间的区域的包含开口端的第一部分、和远离被上述基板支架保持的基板与上述阳极之间的区域的第二部分,该导管的至少一部分被镀覆液填满;以及电位传感器,该电位传感器配置于上述导管的上述第二部分,构成为对镀覆液的电位进行测量。
  • 镀覆装置
  • [发明专利]扩散器以及多级泵装置-CN201780014161.8有效
  • 平本和也;大渊真志;前田毅 - 株式会社荏原制作所
  • 2017-03-29 - 2020-10-27 - F04D11/00
  • 本发明涉及扩散器以及多级泵装置,扩散器(250)具备:壳体部(260、270),其以从流体的流入侧朝向流出侧直径变细的方式划分圆筒状的流路;和多个扩散器翼部(280),它们在圆筒状的流路配置多个,将圆筒状的流路划分为螺旋状。针对多个扩散器翼部(280),在壳体部(260、270)的任意的子午面位置处,将相对于旋转轴的周向与扩散器翼部的翼面切线方向所成的角度定义为扩散器翼角度βw。该扩散器翼角度βw(°)相对于子午面位置的单位变化量ΔXc(mm),以满足Δβw<2.4·ΔXc的关系的变化量Δβw而变化。另外,扩散器翼角度βw在所有的区域小于90°。
  • 扩散器以及多级装置

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