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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]薄膜组件用粘着剂、薄膜组件和选择薄膜组件用粘着剂的方法-CN202310248085.4在审
发明人：簗濑优;堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2017-07-10 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C09J133/08 文献下载
摘要：提供：一种粘着剂，其基本上不包含表面改性剂，并且在薄膜组件分离后留下较少的残留物；一种薄膜组件；以及一种选择留下较少残留物的粘着剂的方法。更具体地说，提供：一种薄膜组件用粘着剂，该粘着剂的剥离强度与拉伸强度之比为一种薄膜组件，其包括薄膜组件框架、设置在所述薄膜组件框架的上端面上方的薄膜组件膜和粘附到所述薄膜组件框架的下端面的所述粘着剂；以及一种选择粘着剂的方法，包括以下步骤：测量粘着剂的剥离强度和拉伸强度，以及选择前者与后者之比为0.10至0.33的粘着剂作为所述薄膜组件用粘着剂。
薄膜组件粘着选择方法

[发明专利]薄膜组件用粘着剂、薄膜组件和选择薄膜组件用粘着剂的方法-CN201710555994.7有效
发明人：簗濑优;堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2017-07-10 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：提供：一种粘着剂，其基本上不包含表面改性剂，并且在薄膜组件分离后留下较少的残留物；一种薄膜组件；以及一种选择留下较少残留物的粘着剂的方法。更具体地说，提供：一种薄膜组件用粘着剂，该粘着剂的剥离强度与拉伸强度之比为0.10～0.33；一种薄膜组件，其包括薄膜组件框架、设置在所述薄膜组件框架的上端面上方的薄膜组件膜和粘附到所述薄膜组件框架的下端面的所述粘着剂；以及一种选择粘着剂的方法，包括以下步骤：测量粘着剂的剥离强度和拉伸强度，以及选择前者与后者之比为0.10至0.33的粘着剂作为所述薄膜组件用粘着剂。
薄膜组件粘着选择方法

[发明专利]EUV用防尘薄膜组件-CN202211555279.0在审
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-10-14 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：本发明提供一种防止由于EUV曝光而使防尘膜升温而产生的防尘膜的变形以及破损，脱落。本发明的内容为在防尘薄膜组件的接着层中配合热传导性充填剂。
euv 防尘薄膜组件

[发明专利]防尘薄膜组件-CN202010862483.1在审
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种防尘薄膜组件。本发明的目的在于提供一种具有通过轻微的剥离力即可剥离的离型性衬片的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件包括：防尘薄膜、在一侧的端面上粘贴有该防尘薄膜的防尘薄膜组件框架、设置于该防尘薄膜组件框架的另一侧的端面上的用于将防尘薄膜组件粘贴在玻璃基板的粘合剂、以及用于保护该粘合剂的离型性衬片。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，所述离型性衬片的离型侧的表面粗糙度为5μm～30μm。因此，对于防尘薄膜组件的粘合剂层具有稳定良好的剥离性，故非常适合于自动安装机，即使在手动操作剥离衬片时也不需要对防尘薄膜组件施于过大的力。
防尘薄膜组件

[发明专利]EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂以及用该接着剂的防尘薄膜组件-CN202010637924.8在审
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-10-25 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件，该防尘薄膜组件的制造方法，以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为，接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50％的范围。式：硬度的变化率(％)＝{(所述静置后的硬度)－(所述静置前的硬度)}÷(所述静置前的硬度)×100。
euv 光刻防尘薄膜组件适宜接着以及

[发明专利]EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂以及用该接着剂的防尘薄膜组件-CN201610937977.5有效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-10-25 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件，该防尘薄膜组件的制造方法，以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为，接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50％的范围。式：硬度的变化率(％)＝{(所述静置后的硬度)－(所述静置前的硬度)}÷(所述静置前的硬度)×100。
euv 光刻防尘薄膜组件适宜接着以及

[发明专利]防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件-CN201510512777.0有效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明提供一种可减少从防尘薄膜组件框架释放出的硫酸离子以及铵离子等的，在曝光环境下，可减少雾状物(haze)的发生防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。构成该防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架，被含有对二甲苯系聚合物的层被覆。
防尘薄膜组件框架以及

[发明专利]防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的防尘薄膜组件-CN201510153493.7有效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：提供一种不易发生污染防尘薄膜和光掩模的外部气体，同时具有耐高温的耐热性的防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的EUV用防尘薄膜组件。本发明的接着剂，为将防尘薄膜11贴附于防尘薄膜组件框架12的低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂13。这种接着剂13的特征为其为硅酮系接着剂，而且外部气体量用ASTM＿E595－93的实验方法测定时，满足TML为1.0％以下，CVCM为0.1％以下的条件。另外，本发明的防尘薄膜组件，为在EUV曝光时，被暴露于100℃～200℃的温度的EUV用防尘薄膜组件，其防尘薄膜11通过满足上述条件且具有耐100℃～200℃的温度的接着剂贴附于防尘薄膜组件框架12。
防尘薄膜组件接着以及使用

[发明专利]防尘薄膜组件用粘着剂以及使用其的防尘薄膜组件-CN201510090684.3有效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2015-02-28 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： C09J11/06 文献下载
摘要：一种将至少由防尘薄膜和该防尘薄膜被贴附在其上的防尘薄膜组件框架构成的防尘薄膜组件贴附在玻璃基板时用粘着剂，其特征在于，该粘着剂含有荧光材料。所述荧光材料，优选其浓度为0.01质量％以上1.0质量％未满。所述荧光材料，优选在紫外线的下发出荧光。
防尘薄膜组件粘着以及使用

[发明专利]EUV用防尘薄膜组件-CN201610896178.8在审
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-10-14 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：防止由于EUV曝光而使防尘膜升温而产生的防尘膜的变形以及破损，脱落。本发明的内容为在防尘薄膜组件的接着层中配合热传导性充填剂。
euv 防尘薄膜组件

[发明专利]防尘薄膜组件-CN201410177846.2在审
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2014-04-29 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种通过设为适当的粘合层的截面形状而使其长期不产生松弛并且外观优良的防尘薄膜组件。本发明为在防尘薄膜组件框架的一侧框架表面上借助于涂敷在该框架表面上的粘合层粘贴有防尘薄膜的防尘薄膜组件，其特征在于，所述粘合层的与防尘薄膜组件框架的长方向直交的截面的与防尘薄膜相对侧的截面形状由曲率半径R10以上且R1000以下的凸曲线构成。另外，本发明的凸曲线优选为大致弓形。
防尘薄膜组件

[发明专利]防尘薄膜组件-CN201310149430.5有效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2013-04-26 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种即使以强压力将防尘薄膜组件压在光掩模等上，框架和光掩模等也不接触，由此可以防止光掩模等上的受伤的防尘薄膜组件。该防尘薄膜组件，在其框架的一个端面上，贴附防尘薄膜，所述框架的另一个端面上设置粘着层，其特征在于：所述粘着层，含有粘着剂以及粒子状的空间剂，该空间剂的硬度为，A型硬度计测定值80以下，比所述粘着剂还硬。
防尘薄膜组件

[发明专利]防尘薄膜组件用粘着剂-CN201110117241.0有效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-05-05 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：本发明的课题是选定一种粘着剂，该粘着剂在防尘薄膜组件的异物检测时，不会发生由于光在粘着剂中反射或折射产生杂散光而发生误检。本发明的防尘薄膜组件至少由防尘薄膜以及防尘薄膜组件框架组成，在所述防尘薄膜组件框架的一个端面，贴附有所述防尘薄膜，在所述防尘薄膜组件框架的另一个端面，设有用来将所述防尘薄膜组件贴附于玻璃基板的粘着剂，在所述粘着剂上表面，设置有可剥离片，所述防尘薄膜组件用粘着剂的特征在于：其全光线透过率为不大于70％。本发明的防尘薄膜组件用粘着剂优选为黑色。
防尘薄膜组件粘着

[发明专利]防尘薄膜组件制造方法-CN201110035692.X无效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-02-10 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B05D1/00 文献下载
摘要：本发明目的在于提供一种防尘薄膜组件制造方法，该组件具备确认装置，其在用自动涂布装置对组件框架涂布接合剂、粘着剂的步骤中，会于涂布前确认涂布位置。本发明防尘薄膜组件制造方法包括用自动涂布装置对组件框架端面涂布接合剂或粘着剂的步骤，其特征在于，在涂布该接合剂或粘着剂的步骤中，取得接受涂布操作的组件框架端面的位置信息，根据位置信息将开始涂布位置与涂布方向输入涂布程序，以对组件框架端面涂布接合剂或粘着剂。位置信息最好为三维位置信息，另外，最好从图像取得位置信息，再者，最好从图像取得三维位置信息之中的平面方向的位置信息，且最好利用电磁波或音波取得上下方向的位置信息，另外，最好利用相机取得图像。
防尘薄膜组件制造方法

[发明专利]防尘薄膜组件及其制造方法-CN201010534983.9无效
发明人： 堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2010-11-04 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：本发明提供一种防尘薄膜组件及其制造方法，其能够简化制造工序和降低制造时的所需能源，并且粘合层中无起泡，成品率良好。在形成防尘薄膜用的粘合层时，作为粘合剂，使用固化时无需加热的二液混合固化型粘合剂。
防尘薄膜组件及其制造方法

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