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[发明专利]工件加工装置-CN202210263158.2在审
发明人：会田英雄;武田秀俊;土肥俊郎;宫下忠一;锻治仓惇 -专利权人：国立大学法人长冈技术科学大学;土肥俊郎;不二越机械工业株式会社
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供工件加工装置，能够对使用难加工材料形成的工件实现高加工速率，在短时间内稳定地进行加工。本发明的工件加工装置(1)是使加工头(14)与保持于保持板(20)的上表面的工件(W)滑动接触而进行加工的工件加工装置，其中，加工头(14)具有产生等离子体而将等离子体照射到工件(W)的被加工面的等离子体电极(30)，等离子体电极(30)的设置于径向中心的环状或圆柱状的中心电极(31)和相对于中心电极(31)设置于径向外侧的环状的外周电极(32)在边界位置隔着环状的缝部(36)而配设，并且缝部(36)构成为等离子体产生空间，在中心电极(31)和外周电极(32)的底面设置有加工垫(40)。
工件加工装置

[发明专利]光转换用陶瓷复合体及其制造方法-CN201180058469.5有效
发明人：稻森太;河野孝史;土肥俊郎;黑河周平 -专利权人：宇部兴产株式会社
申请日： 2011-12-02 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即便为数种氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而形成的凝固体，其表面亦平坦的光转换用陶瓷复合体及其制造方法。上述光转换用陶瓷复合体的制造方法的特征在于：具备研磨步骤，该步骤是对具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体表面进行CMP，且将进行CMP时的研磨液的pH调整为11-12。又，上述光转换用陶瓷复合体是由具有Al2O3相及Al2O3以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成的组织的凝固体所构成，且该凝固体表面的Al2O3相及上述氧化物结晶相的相间阶差为0.010μm以下。
转换陶瓷复合体及其制造方法

[发明专利]抛光工件的抛光装置及方法-CN200410082052.4有效
发明人： 土肥俊郎;A·菲里迫西安;D·德那笛斯 -专利权人： 土肥俊郎;不二越机械工业株式会社
申请日： 2004-11-22 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：抛光装置能够改变浆料的pH值以调整抛光速率并且使用较高的平面度抛光工件。该抛光装置包括：压力容器；在压力容器中配备的抛光板；将工件挤压到抛光板上的挤压板；相对于挤压板移动抛光板从而抛光工件的驱动装置；向压力容器中供应碱性气体或酸性气体的气体供应源；从压力容器释放所供应气体的气体释放部；以及向抛光板上供应浆料的浆料供应装置。可以通过在浆料中溶解碱性气体或酸性气体来调整浆料的pH值。
抛光工件装置方法