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[发明专利]用于除尘装置的喷出部及除尘头-CN202210328290.7在审
发明人：伊藤彰浩;土居广树;纐缬雅之;伊藤秀治 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：一种用于除尘装置的喷出部(70)，其喷出对除尘对象喷吹的气体，具备：第一构件(71)，由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状；第二构件(72)，由预定厚度的金属形成为矩形板状，跨长边方向的全长相邻地形成有在短边方向的一端开口的多个缺口(73)；第三构件(80)，由金属形成为矩形板状，且形成有贯通孔(81)，由第一构件与第三构件夹着第二构件接合成一体，在第三构件形成有将贯通孔与多个缺口连通的流道(82)，在多个缺口从开口端(73a)开始的预定范围形成有倾斜部(73b)，倾斜部(73b)越接近开口端使缺口在长边方向上的长度越长。
用于除尘装置喷出

[发明专利]除尘头及除尘装置-CN202210348173.7在审
发明人：伊藤彰浩;土居广树;纐缬雅之;伊藤秀治 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：一种除尘头(21)，其用于从除尘对象除去灰尘的除尘装置，并且喷出对除尘对象喷吹的气体，具备：喷出部(70)，形成有多个导入口(81)、多个狭缝以及流道，多个狭缝沿预定方向延伸且在预定方向上相邻，流道将多个导入口分别与相同数量的狭缝连通；以及主体(22)，喷出部安装于主体，在主体形成有：供给室(23)，供给气体；第一连通道，将供给室与外部连通；以及第二连通道(25至28)，将供给室分别与多个导入口连通。
除尘装置

[发明专利]气体供给单元和气体供给系统-CN200680054549.2有效
发明人：守谷修司;长冈秀树;冈部庸之;板藤宽;土居广树;伊藤稔 -专利权人：喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-06-02 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： F16L41/02 文献下载
摘要：小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12-17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2-6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
气体供给单元系统

[发明专利]流量检验故障诊断设备、系统、方法及其控制程序产品-CN200810173857.8有效
发明人：中田明子;加藤启介;杉野彰仁;土居广树 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2008-10-29 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：流量检验故障诊断设备、系统、方法及其控制程序产品。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。
流量检验故障诊断设备系统方法及其控制程序产品

[发明专利]气体流量检验单元-CN200780008137.X有效
发明人：小泽幸生;伊藤稔;土居广树;中田明子 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2007-02-22 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。
气体流量检验单元

[发明专利]流量控制设备的绝对流量检测系统-CN200680020108.0有效
发明人：中田明子;伊藤稔;森洋司;土居广树 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2006-05-22 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P₁、温度T₁、与它们对应的第1压缩因数Z₁、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P₂、温度T₂、与它们对应的第2压缩因数Z₂、容积V求得质量G2，通过质量G₁和质量G₂的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
流量控制设备绝对检测系统

[发明专利]用于汽化器的液体原材料供应单元-CN200710110099.0有效
发明人：冈部庸之;大仓成幸;土居广树;伊藤稔;森洋司;西村康典 -专利权人：喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-06-22 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： F17D1/08 文献下载
摘要：液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。
用于汽化器液体原材料供应单元

[发明专利]流程块-CN200580031563.6无效
发明人：奥村胜弥;板藤宽;土居广树;西村康典 -专利权人：喜开理株式会社;奥克泰克有限公司
申请日： 2005-09-05 - 公布日： 2007-08-22 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种流程块，其压力损失得以减小，并且可以形成超长流程，而且其重量可以减轻。还提供了生产这种流程块的方法。流程块(1)具有块体(11)和盖子元件(12)，该块体内形成有通孔(21)和与该通孔(21)相通的凹槽(22)，盖子元件(12)盖住该凹槽(22)。用切削工具调节凹槽(22)的深度和宽度可以减小压力损失，用切削工具形成更长的凹槽(22)并用盖子元件(12)盖住凹槽(22)可以形成超长流程，因为可以用切削工具自由地形成凹槽(22)，因此可以形成复杂流程，并且可以减小块体(11)的厚度以减轻其重量。
流程

[发明专利]相对压力控制系统和相对流量控制系统-CN200480016146.X有效
发明人：河野哲儿郎;土居广树;伊藤稔;长冈秀树;伊藤惠贵;远藤宏纪;岛津强;广濑润;胜又治;三浦和幸;北泽贵 -专利权人：喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-06-04 - 公布日： 2006-07-19 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
相对压力控制系统流量

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