“唐艳文”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果21个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种活动连接组件及宏微结合的垂向定位装置-CN202311204515.9在审
发明人：禹洪亮;江旭初;吴火亮;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2023-09-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种活动连接组件及宏微结合的垂向定位装置，该活动连接组件包括第一连接单元、第二连接单元及第三连接单元，每一连接单元均由顶板与顶头构成且三者连接单元的结构均不相同，能够实现对被支撑件与支撑件之间的稳定活动连接，在配合驱动组件作用时，能够驱动被支撑件相对于支撑件作自由度确定的微小运动，实现对被支撑件的垂向高度和水平度调整。该垂向定位装置包括宏动模块及微动模块，其中，宏动模块包括底座组件、下楔形块组件、上楔形块组件及宏动驱动组件，微动模块包括垂向微动板及微动驱动组件，微动驱动组件包括上述的活动连接组件，该垂向定位装置整体结构扁平紧凑，具有高刚性、高到位稳定性、抗电磁干扰及高负载能力。
一种活动连接组件结合定位装置

[实用新型]一种推顶装置-CN202223493416.0有效
发明人：高元桢;唐艳文;袁嘉欣;吴火亮;江旭初 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种推顶装置，该推顶装置包括升降驱动部件和接片部件，升降驱动部件位于接片部件下方以驱动接片部件做升降运动，接片部件能够相对于升降驱动部件做旋转运动，接片部件和升降驱动部件设置有旋转解耦部件以使接片部件做旋转运动时，升降驱动部件不随接片部件运动。本实用新型的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。
一种装置

[发明专利]微动台系统-CN202310848963.6在审
发明人： 唐艳文;袁嘉欣;梁冰 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种微动台系统，包括：移动模块，移动模块包括底座和移动驱动部，移动驱动部安装在底座上；旋转模块，旋转模块包括旋转驱动部、旋转座和安装座，旋转座可转动地设置在安装座上，移动驱动部与安装座驱动连接，以带动安装座移动；其中，旋转驱动部包括超声电机和陶瓷件，超声电机安装在安装座上，陶瓷件安装在旋转座上，陶瓷件沿旋转座的周向延伸，超声电机与陶瓷件的至少部分接触，以通过超声电机和陶瓷件之间的逆压电效应驱动旋转座转动。通过本发明提供的技术方案，能够解决现有技术中的微动台的定位精度较差的技术问题。
微动系统

[发明专利]气动刹车装置及其控制方法及运动平台-CN202310725915.8在审
发明人：梁冰;袁嘉欣;唐艳文;谢怡仁 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F16D65/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种气动刹车装置及其控制方法及运动平台。该气动刹车装置包括：基座，被构造为能够与移动台连接；弹性件；以及气动结构，具有浮起状态和刹车状态，气动结构包括气垫，气垫的第一面被构造为能够对准固定台，弹性件设置在气垫的第二面与基座之间，气垫上开设有相互连通的正压接口和正压出气孔，正压出气孔沿气垫的第一面向内开设，正压接口被构造为能够连通正压气源；在刹车状态下，正压气源关闭，弹性件在自身弹力作用下将气垫的第一面抵紧固定台。本发明的技术方案的气动刹车装置能够解决现有移动台和固定台在精密设备停止时无法相对固定的问题。
气动刹车装置及其控制方法运动平台

[实用新型]一种带旋转的交接机构-CN202223493463.5有效
发明人：高元桢;唐艳文;袁嘉欣;吴火亮;江旭初 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带旋转的交接机构，包括底座、二维运动组件、旋转组件和转接组件，二维运动组件包括第一旋转部件和用以驱动第一旋转部件做升降运动的升降驱动部件，旋转组件包括旋转驱动部件和第二旋转部件，第一旋转部件和第二旋转部件通过转接组件连接，旋转驱动部件驱动第一旋转部件和第二旋转部件做同步旋转，转接组件至少部分在升降运动方向能够变形或运动。本实用新型的带旋转的交接机构中，转接组件能够避免交接机构中的升降部件之间的过约束，提高运动的稳定性及结构部件的寿命；并且，第一旋转部件能独立旋转运动，降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度，且能够解决气路和线缆的缠绕扭曲问题。
一种旋转交接机构

[发明专利]一种交接装置-CN202211679474.4有效
发明人：高元桢;袁嘉欣;江旭初;唐艳文;吴火亮 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种交接装置，包括底座、升降部件和旋转部件，升降部件包括支撑部件和用以驱动支撑部件做升降运动的垂向驱动部件，旋转部件包括旋转驱动部件和位于升降部件上方的承载装置，旋转驱动部件能够驱动支撑部件和承载装置做同步旋转运动，其中，垂向驱动部件和支撑部件之间设有旋转解耦部件以实现支撑部件做旋转运动时垂向驱动部件静止。本发明的交接装置中支撑部件的旋转运动与动子的垂向运动解耦，解决气路和线缆的缠绕扭曲问题，提高系统可靠性，延长装置的寿命。另外，支撑爪随承载装置一起旋转，相较于不随承载装置旋转的设备，能够缩短一个承载装置厚度的垂向运动行程，解决交接行程过长的问题，提高交接效率。
一种交接装置

[发明专利]一种带升降真空爪的转台及交接方法-CN202210818387.6有效
发明人： 唐艳文;高元桢;袁嘉欣;江旭初 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种带升降真空爪的转台及交接方法，该转台包括底座、旋转组件及升降真空爪组件，底座包括下底座与上底座，旋转组件包括真空吸盘及驱动装置，真空吸盘位于上底座上方且设置有沿垂直方向贯穿真空吸盘的多个通道，驱动装置位于上底座内部与真空吸盘连接以驱动真空吸盘旋转，升降真空爪组件包括气动滑台、升降环及真空爪，气动滑台安装于底座内部，升降环与气动滑台的运动端固定连接，真空爪与升降环固定连接，其中气动滑台带动真空爪沿通道作升降运动。本发明中真空爪与旋转组件运动不干涉，能够实现真空吸盘的大角度旋转。此外，可通过设置簧片实现旋转接头和轴承座的柔性连接，解决分离旋转部件的同步性与同轴性，补偿垂向装配误差。
一种升降真空转台交接方法

[发明专利]吸附装置-CN202210500799.5有效
发明人：袁嘉欣;江旭初;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种吸附装置，吸盘本体的端面上具有第一吸附区和第二吸附区；第一吸附区上设置有第一微孔，第二吸附区上设置有第二微孔；进气孔设置在吸盘本体背向第一吸附区和第二吸附区的端面上；第一气道设置在吸盘本体内部且与第一微孔连通，第一气道与进气孔连通；第二气道设置在吸盘本体内部且与第二微孔连通，第二气道与第一气道互不连通；通断装置设置在吸盘本体外且与吸盘本体连接，通断装置上设置有连接通道，连接通道与第一气道和第二气道均连通，通断装置还包括通断部件，以通过通断部件控制连接通道的通断，使第一气道与第二气道通过连接通道连通或者使第一气道与第二气道断开，解决了现有技术中的吸附装置的吸盘结构复杂的问题。
吸附装置

[实用新型]支撑装置-CN202123005462.7有效
发明人：袁嘉欣;江旭初;彭仁强;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H02K41/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种支撑装置，其包括：驱动部件，驱动部件包括定子结构和动子结构，动子结构沿预定轴线的延伸方向相对定子结构可运动地设置；导向轴，导向轴穿设在定子结构和动子结构中，导向轴的中心轴线与预定轴线重合；导向轴与动子结构固定连接并沿预定轴线的延伸方向相对定子结构可运动地设置；支撑部件，动子结构与支撑部件连接，以驱动支撑部件运动，支撑部件用于支撑硅片。本申请的支撑装置通过将导向轴穿设在定子结构和动子结构中，可以使支撑装置的整体结构比较紧凑，进而使得支撑装置的整体体积较小，本申请的支撑装置可以用作硅片交接装置，以解决现有技术中的硅片交接装置的体积较大的问题。
支撑装置

[实用新型]承载板组件及具有其的运动定位装置-CN202123023172.5有效
发明人： 唐艳文;江旭初;袁嘉欣 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种承载板组件及具有其的运动定位装置，承载板组件设置在运动定位装置的安装板上，其包括：承载板，设置在安装板上方以用于承载工件，承载板电机定子安装在安装板上侧，承载板电机动子安装在承载板下侧；承载板滑动组件，位于承载板和安装板之间且至少部分可滑动，以使承载板可相对于安装板运动；承载板滑动组件具有第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子的相对两侧，第一滑动部与承载板固定连接，第二滑动部通过至少部分可变形的柔性连接件与承载板连接，以解决现有技术中XY运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题。
承载组件具有运动定位装置

[发明专利]夹持装置-CN202210123242.4有效
发明人： 唐艳文;江旭初;袁嘉欣 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供了一种夹持装置，其包括：托盘，托盘为旋转对称的形状；多个支撑组件，多个支撑组件沿托盘的周向间隔设置在托盘上，各个支撑组件包括用于支撑呈板状的待加工件的支撑部和用于与待加工件的外周边限位接触的限位部，多个支撑组件的支撑部沿待加工件的周向间隔设置；夹紧组件，夹紧组件设置在托盘上并包括摆杆，摆杆绕第一预设轴线可摆动地设置，第一预设轴线与托盘的中心轴线垂直；沿摆杆的延伸方向，摆杆的两端中的其中一端形成用于与待加工件的外周边抵接的抵接端，以使夹紧组件和至少一个限位部共同对待加工件形成夹持作用。本申请的夹持装置能够解决现有技术中的真空吸附固定硅片的方式会对硅片的背部板面造成大面积遮挡的问题。
夹持装置

[实用新型]运动载台系统-CN202123111301.6有效
发明人：袁嘉欣;江旭初;彭仁强;高元桢;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种运动载台系统。本实用新型中，运动载台系统包括：基座；活动座包括：第一座本体、环设在第一座本体外的第二座本体；垂向驱动组件，垂向驱动组件包括：环绕固定在基座上的垂向定子、环设在第二座本体上的垂向动子，且垂向动子与垂向定子彼此套设；其中，所述垂向动子和所述垂向定子中有一个为线圈，另一个为磁钢；所述线圈为环状一体结构，磁钢为包括多个子磁钢的分体式结构，所述多个子磁钢环绕所述线圈的轴线环设；相邻两个子磁钢之间的夹角之和α，0°≤α≤60°。与现有技术相比，使得运动载台系统结构紧凑，尺寸较小，且更为可靠，运动精度更高。
运动系统

[实用新型]平台移动设备-CN202123111346.3有效
发明人：袁嘉欣;江旭初;彭仁强;高元桢;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平台移动设备。本实用新型中，平台移动设备包括：底座；运动座，可活动地设置在底座上，包括：第一座体、环设在第一座体外的第二座体，第一座体与第二座体转动连接；且第一座体内具有朝上开口的容纳腔；垂向驱动装置，用于驱动第二座体带动第一座体相对于底座做垂向运动；垂向驱动装置包括：环绕固定在底座上的垂向定子、环设在第二座体上的垂向动子，且垂向动子与垂向定子彼此套设；以及旋转驱动装置，包括：固定于第二座体的旋转定子、固定于第一座体的旋转动子，且旋转定子与旋转动子彼此套设。与现有技术相比，使得平台移动设备结构紧凑，尺寸较小，且更为可靠，运动精度更高。
平台移动设备

[发明专利]支撑装置-CN202111459889.6在审
发明人：袁嘉欣;江旭初;彭仁强;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H02K41/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种支撑装置，其包括：驱动部件，驱动部件包括定子结构和动子结构，动子结构沿预定轴线的延伸方向相对定子结构可运动地设置；导向轴，导向轴穿设在定子结构和动子结构中，导向轴的中心轴线与预定轴线重合；导向轴与动子结构固定连接并沿预定轴线的延伸方向相对定子结构可运动地设置；支撑部件，动子结构与支撑部件连接，以驱动支撑部件运动，支撑部件用于支撑硅片。本申请的支撑装置通过将导向轴穿设在定子结构和动子结构中，可以使支撑装置的整体结构比较紧凑，进而使得支撑装置的整体体积较小，本申请的支撑装置可以用作硅片交接装置，以解决现有技术中的硅片交接装置的体积较大的问题。
支撑装置

[发明专利]顶板组件及具有其的运动定位装置-CN202111471254.8在审
发明人： 唐艳文;江旭初;袁嘉欣 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种顶板组件及具有其的运动定位装置，顶板组件设置在运动定位装置的安装板上以用于承载并定位工件，顶板组件包括：顶板，设置在安装板上方以用于承载工件；多个顶板滑块，顶板通过位于其下方的多个顶板滑块与安装板上的顶板导轨可运动地连接，以在顶板电机定子和顶板电机动子的相互作用下相对于安装板运动；转接件，顶板电机定子安装在安装板上，顶板电机动子通过转接件与顶板连接；转接件包括多个支撑部，各个支撑部与顶板之间点接触且接触点均位于顶板滑块的正上方，顶板通过接触点向转接件提供竖直向上的支撑力，以解决现有技术中的XY运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题。
顶板组件具有运动定位装置

1
2
下一页»
尾页
共 21 条