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[实用新型]TSV电镀设备真空槽装置-CN202023284771.8有效
发明人：陈宇;陈利锋;储冬华;赵芹;邵树宝;王福亮;周雨英 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C25D17/02 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种TSV电镀设备真空槽装置，包括槽体、第一管路、第二管路，槽体一侧设有真空泵、储液罐，第一管路两端分别与真空泵、槽体连接，第二管路一端伸入储液罐中，第二管路另一端伸入槽体，储液罐一侧设有压力机构，压力机构与储液罐通过第三管路连接；槽体内设有料架，槽体外侧设有旋转动力机构，旋转动力机构通过传动机构与料架传动连接。本实用新型可以通过旋转料架使半导体工件呈倾斜状，然后由槽体底部导入电镀液，电镀液液位上升过程中慢慢浸没半导体工件，半导体工件上的孔洞倾斜，电镀液可以平滑的进入孔洞中，防止残留气泡，同时，通过真空泵抽取槽体内空气，使槽体内气压降低，电镀液更容易进入槽体中，也更容易填满孔洞。
tsv 电镀设备真空装置

[实用新型]TSV电镀设备阴极导电环装置-CN202023290162.3有效
发明人：邵树宝;王福亮;储冬华;陈利锋;赵芹;周雨英;陈宇 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种TSV电镀设备阴极导电环装置，包括基板、电极片、密封板，基板上设有第一接电端子、电镀孔，电极片包括闭环状的主体部以及在主体部外周间隔设置的若干第二接电端子，主体部与电镀孔对位设置，主体部内周间隔均匀设有一圈弹片，弹片上衬设有用于密封半导体工件正面边缘的密封圈，密封板与基板通过螺栓连接以压合密封半导体工件背面。本实用新型通过弹片、密封圈对半导体工件正面边缘进行密封保护，通过密封板对半导体工件背面进行密封保护，可以直接制备得到仅在正面中间位置存有金属层的电镀半导体工件，同时，通过将导电线设置在导线槽中并填充绝缘层，将导电线与电镀液隔开，可以避免导电线被腐蚀。
tsv 电镀设备阴极导电装置

[实用新型]一种产品孔深检测筛选机构-CN201822210572.9有效
发明人： 周雨英 -专利权人：苏州川吉自动化科技有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种产品孔深检测筛选机构，包括给料导轨、检测挡停气缸、压紧气缸、长度计、顶升气缸、活动导轨、推轨气缸和控制机构；检测挡停气缸安装于给料导轨的外侧壁上，检测挡停气缸可挡停产品；压紧气缸和长度计相对地安装于给料导轨的上下两侧；顶升气缸可提升长度计，检测头可检测产品底部盲孔的深度；活动导轨连接于给料导轨的尾端，活动导轨上设有合格品导轨和不合格品导轨，推轨气缸可切换合格品导轨或者不合格品导轨与给料导轨对接；给料导轨和活动导轨的轨道面均由进料端向出料端下倾；长度计连接控制机构，控制机构连接推轨气缸。本实用新型可自动检测产品盲孔深度、筛选合格产品，工作结果准确可靠。
导轨给料气缸活动导轨检测合格品本实用新型不合格品顶升气缸筛选机构压紧气缸产品孔连接控制机构底部盲孔工作结果合格产品上下两侧自动检测出料端轨道面检测头进料端可检测可切换外侧壁盲孔尾端下倾筛选

[实用新型]一种汽车助力器水口加工设备-CN201822199087.6有效
发明人： 周雨英 -专利权人：苏州川吉自动化科技有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： B21D53/88 文献下载
摘要：本实用新型提供一种汽车助力器水口加工设备，包括机架、设置于机架上的产品固定装置以及与产品固定装置相对应的水口加工装置，所述水口加工装置包括与产品外形轮廓相匹配的靠板以及位于靠板上方的挖水口模具，挖水口模具上设有向下方延伸的挖水口板，挖水口板与靠板之间留有容纳产品凹槽边沿的间隙，靠板上表面位于挖水口模具处设有一缺口，挖水口模具能够相对靠板移动以缩小挖水口板与靠板之间距离的同时将产品凹槽边沿压紧于缺口内。本实用新型通过半自动化的操作，改善水口加工的效率和合格率，提高生产效率和质量，并且能够降低设备的成本。
靠板水口加工水口模具水口板产品固定装置本实用新型汽车助力器凹槽边沿半自动化产品外形降低设备生产效率上表面压紧匹配合格率容纳延伸移动

[实用新型]一种激光打标抽尘一体化装置-CN201822199119.2有效
发明人： 周雨英 -专利权人：苏州川吉自动化科技有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光打标抽尘一体化装置，涉及激光打标机技术领域，包括激光打标机本体以及设置在激光打标机本体上的激光镜头护罩，激光镜头护罩上开设有激光打标孔，激光打标机本体上设置有抽尘机构，抽尘机构包括一密封壳体，密封壳体的一侧连接有吸尘管道，吸尘管道的一端连接有吸尘器，另一端连接有吸尘嘴，密封壳体的另一侧设置有气缸，气缸连接有挡板，密封壳体内还设置有与吸尘嘴位置相对的风刀。本实用新型的激光打标抽尘一体化装置在传统激光打标机的基础上，增加抽尘机构，可以防止灰尘掉落到激光机镜头上，无需人工擦拭镜头，增强了设备的打标效率，同时设置在一个密封的壳体内，没有扬尘，改善了整体的工作环境。
抽尘激光打标激光打标机本体一体化装置密封壳体本实用新型激光镜头吸尘管道一端连接吸尘嘴护罩吸尘器体内激光打标机挡板传统激光灰尘掉落气缸连接位置相对镜头打标机激光机密封壳打标风刀气缸扬尘擦拭密封

[发明专利]一种原子层沉积设备-CN201110339681.0无效
发明人：饶志鹏;夏洋;陈波;李超波;万军;赵珂杰;黄成强;周雨英;李勇滔;刘键;石莎莉;江莹冰 -专利权人：嘉兴科民电子设备技术有限公司
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种原子层沉积设备，包括反应腔和光源装置；所述反应腔的腔体内设有基板，用来放置衬底材料；所述光源装置设置在所述反应腔的腔体内或腔体外围，用于活化前驱体或起到催化剂作用。本发明对ALD设备腔体结构的改进，通过在腔体内或腔体外增加光源装置，使得本发明能够在反应中对前躯体提供能量，起到活化前躯体或者起到催化剂的作用，当作光催化剂。
一种原子沉积设备