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- [实用新型]一种清洗管结构及晶圆修边机台-CN201721059495.0有效
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吴虎;詹明松
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武汉新芯集成电路制造有限公司
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2017-08-23
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2018-04-27
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种清洗管结构及晶圆修边机台,属于半导体制造技术领域,晶圆修边机包括一用于放置晶圆的转盘、一设置于转盘边缘处的刀具,刀具可旋转地设置于一转轴上,清洗管结构包括清洗喷管,设置于转盘的上方并包围刀具的修切区域,并向清洗喷管内输送高压清洗液;复数个喷嘴,设置于清洗喷管上并与清洗喷管连通,每个喷嘴的喷头朝向刀具的修切区域。上述技术方案的有益效果是清洗喷管围绕刀具的修切区域设置,并在清洗喷管上设置多个朝向修切区域的喷嘴,使得清洗液背向晶圆的中心喷射至修切区域,可以更高效的清洗晶圆的边缘,同时避免晶屑被清洗液将冲到晶圆表面后粘附在晶圆表面,减小晶圆因修切边缘造成缺陷的概率。
- 一种清洗结构晶圆修边机台
- [发明专利]高低压涡轮过渡流道一维优化设计方法-CN201410819649.6有效
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吴虎;杨金广;侯朝山;刘昭威
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西北工业大学
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2014-12-25
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2018-02-13
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G06F19/00
- 本发明公开了一种高低压涡轮过渡流道一维优化设计方法,用于解决现有方法实用性差的技术问题。技术方案是采用贝塞尔曲线构建满足过渡流道几何约束的端壁型线方程。继而生成满足正交多项式的扰动量,并对生成扰动量中过大者进行修正,以防止扰动后流道畸形。并以已有过渡流道几何型线方程为基础,生成新的高低压涡轮过渡流道型线方程。再由高低压涡轮过渡流道中线上的流动控制方程求解出流场性能参数。以总压恢复系数为优化目标函数,采用复合形法直至迭代结果满足精度要求为止。本发明采用贝塞尔曲线为基础构建了高低压涡轮过渡流道的型线方程,对高低压涡轮过渡流道进行优化。克服了现有方法不适用于扩张角度较大的急扩型流道的问题,实用性强。
- 低压涡轮过渡流道一维优化设计方法
- [发明专利]高低压压气机过渡流道优化设计方法-CN201510174689.4有效
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吴虎;侯朝山;杨金广;刘昭威
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西北工业大学
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2015-04-13
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2018-02-02
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G06F17/50
- 本发明公开了一种高低压压气机过渡流道优化设计方法,用于解决现有压气机过渡流道设计方法所设计的压气机过渡流道流动损失大的技术问题。技术方案是通过现有设计方法初步确定压气机过渡流道的几何形状,再采用贝塞尔曲线构建满足初始设计结果的端壁型线方程,并在此基础上进一步叠加所构造好的支板。继而随机生成机匣和轮毂的几何参数,并生成新的型线。然后用通流求解流场性能参数。最后,以支板出口处的总压损失系数为优化目标函数,并以沿轮毂的静压恢复系数梯度小于优化前压力恢复系数梯度为约束条件,采用小生境遗传算法优化直至进化到给定代数为止。由于采用贝塞尔曲线构建压气机过渡流道的型线方程,所设计的压气机过渡流道流动损失减小。
- 低压压气过渡流优化设计方法
- [实用新型]晶圆清洗装置-CN201520732937.8有效
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吴虎
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武汉新芯集成电路制造有限公司
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2015-09-21
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2016-01-06
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B08B3/02
- 本实用新型提出了一种晶圆清洗装置,包括用于放置晶圆并带动晶圆旋转的旋转机台,设置于机械手臂顶端并能随着机械手臂做往复运动的清洗喷嘴,与清洗喷嘴相连并提供具有一定压力的气体或液体的管路。使用具有一定压力的气体或液体通过清洗喷嘴喷射至晶圆的表面,对晶圆进行高压清洗,相比于现有技术中使用清洗刷直接与晶圆表面接触式的清洗,可以避免晶圆表面残留的颗粒吸附至清洗刷上对晶圆表面造成刮伤,提高晶圆的良率。
- 清洗装置
- [实用新型]一种无链自行车-CN201420493148.9有效
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张永春;吴虎;李哲
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滁州学院
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2014-08-28
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2015-01-07
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B62M19/00
- 本实用新型公开了一种无链自行车,包括车把(1)、鞍座(2)、前轮(3)、后轮(4)、脚蹬(5)及支撑的车架(17),所述前轮(3)和后轮(4)分别连接有前叉(9)和后叉(7),所述两脚蹬(5)之间连接液压泵(6),所述液压泵(6)与设于下方车架(17)内的油箱(18)连接,所述车架(17)、前叉(9)及后叉(7)内均设有相互连通的油道,所述前叉(9)的前叉轴上连接有液压马达(10),所述后叉(7)上设有助力启动的蓄能器(8)。采用上述结构的无链自行车,采用液压传动,无机械传动噪声,使用方便舒适省力,结构紧凑美观,便于维护保养,应用范围广前景好,具有较强的实用性。
- 一种自行车
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