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[发明专利]一种低摩擦无轴静电感应马达-CN202010596857.X有效
发明人：郑泉水;向小健 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于结构超滑的低摩擦无轴静电感应马达，包括对称分布的定子、转子和基底支撑层，所述转子包括圆形转子HOPG超滑片和圆形转子介电材料层；所述基底支撑层直径略大于圆形HOPG石墨片，且具有原子级光滑表面；本发明可以极大降低转子与基底之间的摩擦力，同时，利用超滑片与基底边缘之间的范德华回复力作为转子绕轴心转动的约束力，避免传统支撑形式的转轴引起的摩擦和磨损问题，可以极大提高微马达的寿命和转速。
一种摩擦静电感应马达

[发明专利]结构超滑的集成微发电机、电容式电路及微型分布式器件-CN202111018964.5有效
发明人：聂锦辉;黄轩宇;向小健;马明;彭德利;田凯文;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H02N1/08 文献下载
摘要：本发明涉及基于结构超滑的集成微发电机、电容式控制电路及其微型分布式器件。基于结构超滑的集成微发电机，包括定子层与动子层，定子层与动子层相对设置，定子层与动子层相对滑动，动子层包括连接层和至少一个动子，动子固定连接于连接层的朝向定子层的一侧，且动子朝向定子层的一侧面为超滑面，动子与定子层超滑接触。电容式控制电路，用于供给用电器电能，至少一个集成微发电机并联或串联并经整流元件与用电器相连接。微型分布式器件，包括基于结构超滑的集成微发电机的电容式控制电路。
结构集成发电机电容电路微型分布式器件

[实用新型]一种RF MEMS开关和电子设备-CN202223327152.1有效
发明人： 向小健;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01H1/06 文献下载
摘要：本申请涉及射频开关领域，公开了一种RF MEMS开关和电子设备，包括悬臂梁；设于悬臂梁自由端的第一触点；与第一触点相对设置的第二触点；第一触点和第二触点接触时为结构超滑接触；用于驱动悬臂梁的自由端产生位移，使第一触点和第二触点接触或分离的驱动电极。本申请中第一触点、第二触点中至少一个为内部为层状结构的触点，第一触点与第二触点接触时为结构超滑接触，第一触点与第二触点之间摩擦几乎接近零、磨损为零，使得第一触点与第二触点使用寿命延长，从而延长RF MEMS开关的使用寿命。
一种 rf mems 开关电子设备

[发明专利]具有导电性能的大尺度超滑元件及其加工工艺、大尺度超滑系统-CN202110383841.5有效
发明人： 向小健;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有导电性能的大尺度超滑元件及其加工工艺、大尺度超滑系统，包括至少两个超滑片和设于超滑片上的导电支撑台，相邻的超滑片通过导电支撑台相连接，导电支撑台与超滑片导电接触并固定连接，且所有超滑片远离导电支撑台的表面组合为超滑面。本发明提供的具有导电性能的大尺度超滑元件，导电支撑台能够直接与超滑片贴合实现导电接触，导电支撑台和超滑片之间不存在其他不能够导电或导电性能差的材料，具有较好的导电性能，导电支撑台还可以实现若干个超滑片的连接，能够实现更大尺度的超滑，刚性的导电支撑台也具有较好的承载性能。
具有导电性能尺度元件及其加工工艺系统

[发明专利]一种超滑封装器件及其封装方法-CN202110825464.6有效
发明人：邓杨;向小健;黄金奖;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种超滑封装器件及其封装方法，包括超滑基底、封装板和超滑片，超滑基底和封装板围合形成腔室，至少一个超滑片设于腔室内，且超滑片具有超滑面，超滑基底朝向封装板的一侧具有原子级平整表面，超滑面贴合于原子级平整表面上，采用粘接片将所有的超滑片粘接，可以将所有的超滑片统一转移至待封装部件上，并将粘接片的粘接层去除既可以使得所有的超滑片统一与粘接片分离，并落入至待封装部件上，能够大大的提高转移效率，同时粘接片既可以为封装板，能够使得转移和封装在同一步骤中完成，提高整体的封装速度，超滑片转移过程也不会对超滑片的超滑面和超滑基底上的原子级平整表面产生影响。
一种封装器件及其方法

[发明专利]基于倒序工艺的原子级粗糙表面制备工艺-CN202080047178.5有效
发明人： 向小健;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种倒序工艺的原子级粗糙表面制备工艺，包括如下步骤：堆叠步骤，在第一基底(1)的表面设置牺牲层(2)，然后在牺牲层(2)上设置绝缘层(3)和导线层(4)，牺牲层(2)设于绝缘层(3)和第一基底(1)之间，且绝缘层(3)朝向牺牲层(2)的一侧面为原子级粗糙表面；粘接步骤，将第二基底(7)粘接于导线层(4)或绝缘层(3)上；去除步骤，将第一基底(1)和牺牲层(2)完全去除。
基于倒序工艺原子粗糙表面制备

[发明专利]基于结构超滑的电极开关-CN202011087865.8有效
发明人：郑泉水;吴章辉;向小健 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于结构超滑的电极开关，包括基底、驱动部件以及滑动部件，驱动部件包括设于基底内部的第一电极件以及设于基底外部的第二电极件，第二电极件与所有第一电极件在垂直方向上均具有正对面积，滑动部件设于第一电极件和第二电极件之间，且基底和滑动部件超滑接触。滑动部件设置在第一电极件和第二电极件之间，使得滑动部件的两侧可以形成压差，驱动滑动部件能够在基底上往复运动，进而实现开关的效果，且第二电极件设置在基底的外部，可以直接在第一电极件和第二电极件之间形成电场，能够实现较低的驱动电压及实现滑动部件的驱动。
基于结构电极开关

[发明专利]一种RF MEMS开关和电子设备-CN202211581481.0在审
发明人： 向小健;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01H1/06 文献下载
摘要：本申请涉及射频开关领域，公开了一种RF MEMS开关和电子设备，包括悬臂梁；设于悬臂梁自由端的第一触点；与第一触点相对设置的第二触点；第一触点和第二触点接触时为结构超滑接触；用于驱动悬臂梁的自由端产生位移，使第一触点和第二触点接触或分离的驱动电极。本申请中第一触点、第二触点中至少一个为内部为层状结构的触点，第一触点与第二触点接触时为结构超滑接触，第一触点与第二触点之间摩擦几乎接近零、磨损为零，使得第一触点与第二触点使用寿命延长，从而延长RF MEMS开关的使用寿命。
一种 rf mems 开关电子设备

[发明专利]一种可降低边缘摩擦力的结构超滑器件-CN202080092514.8在审
发明人：郑泉水;向小健 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种可降低边缘摩擦力的结构超滑器件，该超滑器件是超滑副的一部分，其包括了超滑片和/或薄膜层，超滑片的边缘向沿着超滑面相反的方向翘曲，本发明完全消除超滑片边缘于基底之间由界面化学键引起的摩擦力，极大降低超滑片与基底之间的总摩擦力，可实现万分之一量级的摩擦系数。
一种降低边缘摩擦力结构器件

[发明专利]带有微结构的原子级平整器件及其制备方法-CN202080092515.2在审
发明人：郑泉水;向小健 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提供一种带有微结构的原子级平整器件，该器件由下至上包括基底、粘结材料、位于基底上的第二介质层、微结构、第一介质层，其中第一介质层表面为原子级光滑表面。本发明还提供了该带有微结构的原子级平整器件的制备方法，能够有效的避免现有微结构加工过程中产生的凹坑或者毛刺。
带有微结构原子平整器件及其制备方法

[发明专利]一种基于悬浮电位的面内滑动式并联电容射频开关-CN202080093842.X在审
发明人：郑泉水;向小健 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H03K17/96 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于结构超滑的面内滑动式并联电容射频开关。包括基底、驱动部件、绝缘层以及滑动部件，当在驱动部件之间施加驱动电压时，滑动部件在水平方向作用力的作用下滑动至驱动部件上方，此时，驱动部件与滑动部件之间形成较大的电容，射频信号几乎被全部反射，传输截止；当在其它驱动部件之间施加驱动电压时，滑动部件在水平方向作用力的作用下滑动至另一驱动部件之上，此时前一驱动电极与滑动部件在垂直方向上无正对面积，电容很小，射频信号可实现基本无损耗传输。
一种基于悬浮电位滑动并联电容射频开关

[实用新型]微发电机、集成发电模组以及植入式微型器械-CN202122114674.2有效
发明人：黄轩宇;聂锦辉;向小健;马明;彭德利;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及微发电机、集成发电模组以及植入式微型器械，其中微发电机包括基底、导电层、集成片、俘能器、连接线，所述基底设于导电层上；所述集成片滑动设置在基底上，包括至少一个与基底超滑接触的超滑片；俘能器设置在集成片上方；连接线连接导电层与集成片形成完整的电路。所述集成发电模组包括基膜以及至少两个集成在基膜上的微发电机。植入式微型器械包括有集成发电模组。本实用新型能够包裹便携设备，包裹植入部位或替代原植入性微型器械的供电设备，用于提供稳定、长寿命的电力供给。
发电机集成发电模组以及植入式微器械

[实用新型]一种连续支撑的驱动部件和MEMS开关-CN202122986244.X有效
发明人：李闯;向小健;胡恒谦;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种连续支撑的驱动部件，包括支撑架，支撑架包括相对设置的不间断的基底；设于支撑架上的滑动部件；滑动部件的宽度大于基底之间的距离；设于基底相对范围内用于驱动滑动部件移动的驱动部件，驱动部件的高度小于基底的高度。本申请中基底相对分离设置，滑动部件设置基底上，驱动部件设在两个基底相对范围内，仅通过基底形成的支撑架对滑动部件支撑，减小基底与滑动部件的接触面积，从而降低两者间的摩擦力；滑动部件设置驱动部件的上方，滑动部件受到驱动部件向下的吸力，而滑动部件的正下方并不存在基底，可以进一步减小摩擦力；本申请中基底是连续不间断的，便于制作，降低驱动部件制作工艺的难度。本申请还提供一种MEMS开关。
一种连续支撑驱动部件 mems 开关

[实用新型]一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达-CN202122471541.0有效
发明人：李闯;向小健;胡恒谦;柏帆;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达，包括基底、驱动组件及滑动基座；所述驱动组件设置于所述基底的第一表面下方，所述驱动组件与所述滑动基座绝缘设置；所述驱动组件包括多列交替间隔设置的驱动单元；所述滑动基座能够被所述驱动组件所驱动并滑动至所述驱动组件的不同位置。本实用新型通过交错的驱动单元逐级驱使所述滑动基座在驱动组件上滑动，实现了所述滑动基座的多级稳定驱动，同时，由于本实用新型提供的方案中不包括机械传动装置，所述滑动基座的使用寿命长，可靠性高。
一种连续驱动装置 mems 扫描激光雷达

[实用新型]一种非连续支撑的驱动部件和MEMS开关-CN202122979612.8有效
发明人：李闯;向小健;聂锦辉;柏帆;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01P1/10 文献下载
摘要：本申请公开了一种非连续支撑的驱动部件，包括支撑架，支撑架包括相对设置的基底；设于支撑架上的滑动部件；滑动部件的宽度大于基底之间的距离；设于基底相对范围内且不完全位于相对范围内的驱动部件，驱动部件的高度小于基底的高度，且初始位置时，滑动部件与位于滑动部件外侧的驱动部件在水平面的投影重叠面积大于或者等于零。本申请中的驱动部件仅通过基底形成的支撑架对滑动部件支撑，减小滑动部件与基底之间的接触面积，从而降低两者间的摩擦力，从而降低滑动部件所需的驱动力；且滑动部件与位于其外侧的驱动部件的边缘处于刚好搭接的临界状态，可以消除边缘效应，使得摩擦力大幅度降低。本申请还提供一种MEMS开关。
一种连续支撑驱动部件 mems 开关

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