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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]具流量控制的晶圆载具气体填充装置-CN201320416056.6有效
  • 卢德茂;卢坤镇;叶家政;郑己祥 - 圣凰科技有限公司
  • 2013-07-12 - 2014-03-05 - H01L21/673
  • 一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，并包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置。该控制装置电连接于该气体特性感测器，接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。如此，让该晶圆载具内部气体能够于设定时间内快速的被置换，以有效地控制制程时间与填充气体用量，进而提升制程上的产能。
  • 流量控制晶圆载具气体填充装置
  • [实用新型]湿度反馈控制的流量校正系统-CN201320346716.8有效
  • 叶家政;郑己祥;卢德茂 - 圣凰科技有限公司
  • 2013-06-17 - 2013-12-04 - H01L21/67
  • 一种湿度反馈控制的流量校正系统，包含集气装置、湿度感测器、主控计算机设备及质量流量控制器，湿度感测器感测集气装置由晶圆载具抽取的气体湿度，主控计算机设备中以一校正回圈判定模组通过预定湿度曲线与量测湿度曲线的湿度差异调整待校正流量控制讯号，且作为流量讯号控制模组下一轮校正回圈的待校正流量控制讯号，程式控制器连接流量讯号控制模组并输出目标流量讯号，以使质量流量控制器控制调节填充至晶圆载具的气体流量值，而能使同一个型号的每一个晶圆载具的湿度通过已完成校正的流量控制讯号在相同时间后以预定湿度曲线下降，达成湿度一致的需求。
  • 湿度反馈控制流量校正系统
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  • 共 3 条
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