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[发明专利]一种光学膜厚控制实现方法、系统及存储介质-CN202310095850.3在审
发明人： 原清海;孙顺文;彭源 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请提供一种光学膜厚控制实现方法、系统及存储介质，涉及光学工艺监控技术领域。所述光学膜厚控制实现方法，包括：搭建生成光学膜厚监控信号的硬件系统；编写光控信号的相关处理程序以及上下位机数据通信程序；完成系统集成。本申请提供的光学膜厚控制实现方案，提升了系统监控的控制精度，且增强了人机交互友好性。
一种光学控制实现方法系统存储介质

[发明专利]一种光学薄膜生产工艺优化方法、设备及存储介质-CN202310094416.3在审
发明人： 原清海;孙顺文;彭源 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本申请提供一种光学薄膜生产工艺优化方法、设备及存储介质，涉及大数据分析及工艺优化技术领域。所述光学薄膜生产工艺优化方法，包括：获取影响镀膜质量的工艺数据，所述工艺数据至少包括镀膜过程参数、工艺参数和膜系质量参数；对所述工艺数据进行数据分析，确定影响镀膜质量的关键工艺数据；利用所述关键工艺数据进行模型训练，获得工艺优化的计算模型，本申请提供的光学薄膜生产工艺优化方案，提高了镀膜工艺效率，节约了工艺成本，提升了光学薄膜生产工艺精度。
一种光学薄膜生产工艺优化方法设备存储介质

[发明专利]一种聚甲基丙烯酸甲酯基底介质增透膜及其制备方法-CN202011408757.6有效
发明人：谢雨江;原清海;林兆文;王奔 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种聚甲基丙烯酸甲酯基底介质增透膜及其制备方法，该增透膜的膜系结构为：Sub/M/H/L/A；其中，Sub为PMMA基底层，M为Al2O3过渡层，H为Ta2O5高折射率膜层，L为SiO2低折射率膜层，A为空气层。该制备方法中利用磁控溅射方式制备PMMA基底上的过渡层，使过渡层实现了基底与后续功能层的稳定连接，同时利用电子束蒸发、离子束辅助方式制备功能层，极大地改善了后续功能层的应力状态，有效的解决了PMMA基底与膜层热膨胀系数差异导致的脱膜、机械强度低等问题。本发明制备的PMMA基底增透膜能够在940nm波段获得极高的透过率，具有可操作性强、制备工艺重复性好、产品质量优良等优点，可广泛应用于光电系统等领域。
一种甲基丙烯酸基底介质增透膜及其制备方法

[发明专利]一种宽带增透膜及其制备方法-CN202011266720.4有效
发明人： 原清海;林兆文;谢雨江;王奔 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种宽带增透膜及其制备方法，该增透膜包括基底层，所述基底层上由内向外依次包括第一层Cu膜层和第二层MgF2膜层，其物理厚度依次为2.0‑3.5nm和70.0‑80.0nm。本发明通过引入金属层来降低整个膜层厚度，减少膜层数，提高制备的生产效率；并且改善增透膜的光谱特性，使光谱波纹减少，从而提高薄膜的重复性和稳定性。
一种宽带增透膜及其制备方法

[外观设计]消毒塔-CN202230826591.3有效
发明人：孙顺文;原清海;王承训 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：消毒塔。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于病毒的消杀。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
消毒

[外观设计]真空镀膜机-CN202130692260.0有效
发明人： 原清海;孙顺文;谢雨江 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：实现在较高真空度状态下镀膜的设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。5.指定设计1为基本设计。
真空镀膜

[发明专利]一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具-CN202110869856.2在审
发明人：王奔;孙顺文;原清海 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具，所述专用夹具设置于镀膜机的工件盘上，所述专用夹具包括驱动装置和多个传动齿轮，驱动装置的驱动轴连接驱动轮，传动齿轮与驱动轮啮合传动；传动齿轮的内圈过盈配合装配夹具转轴，夹具转轴的端部开设夹具孔，夹具孔中过盈配合设置硅胶棒，硅胶棒从端面向内部开设中空腔，中空腔中过盈配合装配待镀膜的管状或棒状光学元件，使待镀膜的管状或棒状光学元件被所述夹具转轴带动旋转。本发明适于真空沉积镀膜中对于管状、棒状、柱面和光纤外表面等光学元件镀膜，可以用于批量生产，且能有效保证膜厚均匀性。
一种管状光学元件外表镀膜专用夹具

[实用新型]一种新型镀膜挡板装置及镀膜设备-CN202120385461.0有效
发明人： 原清海;谢雨江;王奔 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型镀膜挡板装置及镀膜设备，应用于镀膜设备中，所述镀膜挡板装置包括设置于镀膜设备蒸发源一侧的连接架，所述连接架包括固定底座和双旋转杆，所述双旋转杆与所述固定底座活动连接，使所述双旋转杆能够相对所述固定底座转动，所述双旋转杆上分别水平设置半椭圆形的第一挡板和第二挡板；其中，所述第一挡板和第二挡板在所述双旋转杆上设置的垂直高度不同。该装置易于拆卸安装，稳定性好，应用灵活，可以满足电子枪挡板的使用需求，又可以代替补偿挡板，满足镀膜生产需要。
一种新型镀膜挡板装置设备

[实用新型]一种镀膜蒸发辅助装置及镀膜设备-CN202120385462.5有效
发明人： 原清海;王奔;谢雨江;林兆文 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种镀膜蒸发辅助装置及镀膜设备，该装置包括：设置在所述镀膜设备蒸发源正上方的同心圆环板，所述同心圆环板由包括多个半径依次增大的圆环同圆心固定连接形成；其中，从所述同心圆环板的内圈至外圈，相邻所述圆环的半径差依次减小。该装置使得镀膜真空室内不需要使用补偿挡板，蒸发出来的膜料通过该辅助装置后，能够平行蒸镀到基板上，有效提高膜厚均匀性。
一种镀膜蒸发辅助装置设备

[发明专利]一种锗镜片的清洗方法-CN202110310393.6在审
发明人： 原清海;付秀华;谢雨江;王奔;林兆文;黄海昆;张程;王蓉;刘天伦 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本公开实施例中提供了一种锗镜片的清洗方法，包括：将锗镜片在频率为30‑80kHz的超声波中配合溶剂进行多次清洗，再将超声波清洗完成后的锗镜片在频率高于800kHz的兆声波中进行清洗。本发明的清洗方法实现了对小尺寸锗镜片的高效、高洁净度的超声清洗，在实现锗镜片高洁净度清洗的同时避免了超声波过度清洗对锗镜片元件造成的表面损伤和材料损伤。
一种镜片清洗方法

[发明专利]一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法-CN202011513686.6有效
发明人： 原清海;王奔;谢雨江 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法，该镀膜方法包括以光学塑料为基底，交替沉积TiO2和SiON；TiO2采用电子束蒸发沉积，SiON采用磁控溅射沉积。该反射膜的镀膜装置包括真空腔体，真空腔体底部设置电子束蒸发镀膜装置，还包括设置于真空腔体外的旋转装置和磁控溅射镀膜装置，磁控溅射镀膜装置与旋转装置固定连接，旋转装置驱动磁控溅射镀膜装置做转动升降式运动，使磁控溅射镀膜装置能够移入和/或移出真空腔体。本发明的镀膜方法能够制得以光学塑料为基底的高硬度、低反射率高透射率的硬质减反射膜。
一种塑料基底硬质减反射膜及其镀膜方法

[发明专利]一种透雷达波柔性基底红外滤光膜及其制备方法-CN202011226958.4有效
发明人： 原清海;王奔;林兆文 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种透雷达波柔性基底红外滤光膜及其制备方法。该柔性基底红外滤光膜基本膜系结构为：Sub|1.2(0.5HL0.5H)10 L(0.5HL0.5H)10 L|Air；其中，Sub为聚酰亚胺柔性基底层，H代表为高折射率材料Ge层，L代表为低折射率材料ZnS层，Air为空气层。该透射雷达波的红外滤光膜的基底异于传统光学基底，该柔性基底一侧的光学薄膜的附着力强，可以实现贴敷与卷绕，拓宽了使用范围，并且实现3～5μm低发射率，10.6μm高发射率，并可透射雷达波，并且本发明的制备方法有效抑制了柔性基底在弯折条件下脱膜情况的发生，提高了薄膜的附着力。
一种雷达柔性基底红外滤光及其制备方法

[发明专利]一种棒状基板的镀膜卡具架-CN202010882019.9有效
发明人：谢雨江;原清海;刘玉安 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种棒状基板的镀膜卡具架，包括卡具底座和翻转卡条，所述卡具底座的夹持部相对两侧均开设相互连通的圆形嵌槽和方形嵌槽；待镀膜基板的相对两侧均固定所述翻转卡条，所述翻转卡条上固定设置与所述方形嵌槽适配的突出块，使所述翻转卡条与所述卡具底座活动连接；其中，所述突出块的长度小于所述圆形嵌槽的直径。本发明能够牢固固定棒状基板，有效保护基板的光学表面，还可以达到直接翻转基板的目的，有效保证了产品的镀膜质量和工作效率。
一种棒状基板镀膜卡具

[发明专利]一种以非球面硫系玻璃为基底的红外增透膜及其制备方法-CN202010846185.3有效
发明人：王奔;谢雨江;原清海 -专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G02B1/115 文献下载
摘要：本发明提供了一种以非球面硫系玻璃为基底的红外增透膜及其制备方法，该红外增透膜包括基底层，所述基底层上由内向外依次包括第一层ZnSe膜层、第二层Ge膜层、第三层ZnS膜层、第四层YbF3或MgF2膜层。本发明采用双面不同温度，并且在镀膜时增加离子预照射和后照射的方法，解决了在非球面硫系玻璃基底上双面镀膜容易脱膜的问题，并实现了优异的增透效果，良好的机械强度和附着力，通过恶劣的雨淋，腐蚀，盐雾，摩擦以及菌株测试，能够正常工作在复杂的环境中，且将成品放入恒温干燥箱中干燥后，会更显著提高耐摩擦性。
一种球面玻璃基底红外增透膜及其制备方法

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