专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]用于薄膜电极沉积的溅射设备-CN202221555327.1有效
  • 李侑钟;姜南旭;卢喆来;柳斗善;李正日;许明洙 - 三星显示有限公司
  • 2022-06-21 - 2022-11-25 - C23C14/35
  • 公开用于薄膜电极沉积的溅射设备。所述溅射设备包括:布置在第一方向上并且彼此平行的第一圆柱靶和第二圆柱靶;设置在所述第一圆柱靶中的第一磁体;设置在所述第二圆柱靶中的第二磁体;以及在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一圆柱靶和所述第二圆柱靶间隔开的基板支架,其中由从所述第一磁体的中心到所述第一圆柱靶的圆柱轴线的第一假想直线与第一垂直线形成的第一角和由从所述第二磁体的中心到所述第二圆柱靶的圆柱轴线的第二假想直线与第二垂直线形成的第二角中的每个都在大约30度到大约180度的范围内。
  • 用于薄膜电极沉积溅射设备

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