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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于将射频(RF)与直流(DC)能量耦合至一或多个公共电极的电容组件-CN201811141779.3有效
发明人： 卡尔·约翰逊;莱斯·沃伊洛夫斯基;劳伦斯·A·林戈尔;杰弗里·路德维希 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： H01G2/22 文献下载
摘要：本文提供耦接射频功率及直流功率至电极的电容组件及包含所述电容组件的基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，电容组件包含：第一导电板，以接收来自RF功率源的RF功率，第一导电板包含中心孔；至少一个电容，所述至少一个电容耦接至第一导电板并围绕中心孔；及第二导电板，第二导电板经由至少一个电容电性耦接至第一导电板，且第二导电板包含输入接嘴及至少一个输出接嘴，输入接嘴接收来自DC功率源的DC功率，至少一个输出接嘴将RF及DC功率耦接至电极。
用于射频 rf 直流 dc 能量耦合公共电极电容组件

[发明专利]用于将射频(RF)与直流(DC)能量耦合至一或多个公共电极的电容组件-CN201580014300.8有效
发明人： 卡尔·约翰逊;莱斯·沃伊洛夫斯基;劳伦斯·A·林戈尔;杰弗里·路德维希 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： H01L27/108 文献下载
摘要：本文提供耦接射频功率及直流功率至电极的电容组件及包含所述电容组件的基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，电容组件包含：第一导电板，以接收来自RF功率源的RF功率，第一导电板包含中心孔；至少一个电容，所述至少一个电容耦接至第一导电板并围绕中心孔；及第二导电板，第二导电板经由至少一个电容电性耦接至第一导电板，且第二导电板包含输入接嘴及至少一个输出接嘴，输入接嘴接收来自DC功率源的DC功率，至少一个输出接嘴将RF及DC功率耦接至电极。
用于射频 rf 直流 dc 能量耦合公共电极电容组件

[发明专利]沉积工艺同步化的方法及设备-CN201380042279.3有效
发明人：温莎·拉姆;基思·A·米勒;卡尔·约翰逊;马丁·李·莱克;叶·许 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-07-18 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：在处理腔室中处理基板的方法及设备，包括从工艺控制器接收用于一或多个装置的工艺控制参数，以进行第一腔室工艺；确定发送所述工艺控制参数中的每个工艺控制参数到所述一或多个装置的时间；对于所述一或多个装置中的每个装置，使用与所述一或多个装置中的每个装置相关联的特定信号处理延迟来调整所确定的发送所述工艺控制参数中的每个工艺控制参数的时间；及在调整后的时间发送所述工艺控制参数到所述一或多个装置中的每个装置，以进行所述第一腔室工艺，其中同步控制器包括一或多个输出通道，每个通道直接耦接至所述一或多个装置中之一。
沉积工艺同步方法设备

[发明专利]气体燃料喷射器-CN200710169677.8有效
发明人：拉里·里瑟福特;卡尔·约翰逊 -专利权人：福特环球技术公司
申请日： 2007-11-13 - 公布日： 2008-05-21 - 主分类号： F23R3/38 文献下载
摘要：一种燃料喷射器。该燃料喷射器包括配置为接收来自燃料导管的加压气体燃料的燃料通道，及与该燃料通道流体连通的喷嘴。该燃料喷射器还包括具有开启位置及关闭位置的轴针，其中在轴针处于开启位置时，通过喷嘴供给加压气体燃料，而在轴针处于关闭位置时，基本上阻止加压气体燃料的引入。支撑件使轴针与喷嘴对齐。轴针控制器配置为选择性地在关闭位置和开启位置之间移动轴针。
气体燃料喷射器

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共 4 条

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