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[发明专利]基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法-CN202310247164.3在审
发明人：刘俭;刘辰光;邹重亮;华子杰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；通过调整半波片和涡旋波片，分别产生径向偏振信号光和角向偏振信号光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，径向偏振信号光和角向偏振信号光交替进行照明，时间占比均为50％。同时利用照射在待测样品反射后的矢量偏振光偏振态不发生改变的特性，经由涡旋波片和偏振片，只收集散射信号。同时分析径向偏振信号光和角向偏振信号光分别照明下的散射信号差值，可以对亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息进行超分辨检测成像。
基于矢量偏振光束暗场显微测量装置方法

[发明专利]基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法-CN202111121288.4有效
发明人：刘辰光;华子杰;刘俭;陈刚 -专利权人：哈尔滨工业大学;江苏锐精光电研究院有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括径向偏振光产生模块、旋转方向照明模块、明场超分辨共聚焦探测模块、暗场超分辨共聚焦探测模块；通过偏振转换器产生径向偏振光照明，同时利用互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号并进行双路同步收集，可同时获取亚波长级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息。
基于矢量偏振光深度学习暗场显微测量装置方法

[发明专利]基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法-CN202111121299.2有效
发明人：刘俭;华子杰;刘辰光;陈刚 -专利权人：哈尔滨工业大学;江苏锐精光电研究院有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤环形光照明模块、环形光扫描模块、明场共聚焦模块、暗场共焦布里渊频谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦及布里渊频谱立体测量可对样品机械性质进行三维检测。
基于光纤环形光束暗场共焦布里渊显微测量装置方法

[发明专利]基于涡旋二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法-CN202310253087.2在审
发明人：刘俭;刘辰光;华子杰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于涡旋二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括阵列涡旋光产生模块、阵列涡旋光照明模块和阵列暗场共焦探测模块；阵列涡旋光产生模块的阵列涡旋波片生成涡旋光照明阵列涡旋光照明模块的样品，阵列暗场共焦探测模块提取散射信号，并对相反阶数涡旋光照明下的收集的散射信号作差。直接分析一阶涡旋照明下的散射信号，可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析相反阶涡旋光照明下的散射信号差值，可获取微纳结构的手性信息。
基于涡旋二向色性暗场显微测量装置方法

[发明专利]一种基于超结构表面的热波暗场荧光共焦显微测量装置-CN202310248941.6在审
发明人：刘辰光;刘俭;陈钊;华子杰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于超结构表面的热波暗场荧光共焦显微测量装置，包括热波泵浦光产生模块、线振探测光产生模块、照明模块和信号检测模块；述热波泵浦光产生模块和所述线振探测光产生模块分别产生热波泵浦光和荧光激发光；所述照明模块用于接收所述热波泵浦光和所述荧光激发光，在待测样品上形成聚焦光斑，并产生热波荧光信号；其中，所述热波荧光信号包括左旋圆偏振光信号和右旋圆偏振光信号；所述信号检测模块分别获取所述左旋圆偏振光信号和右旋圆偏振光信号的信号值，并计算手性信息；本发明，能够采用热波荧光成像检测，对吸收缺陷的检测具有更高的成像灵敏度，可以对吸收性污染缺陷检测。
一种基于结构表面暗场荧光显微测量装置

[发明专利]基于圆二向色性的暗场热波共焦显微测量装置及方法-CN202310246370.2在审
发明人：刘俭;刘辰光;华子杰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于圆二向色性的暗场热波共焦显微测量装置，包括：时分复用圆偏光产生光路在同一周期内，交替产生左旋圆偏振光和右旋圆偏振光，作为热波探测光；热波探测光整形光路对热波探测光进行整形；热波泵浦光产生光路产生热波泵浦光，对热波泵浦光进行调制后与接收的热波探测光进行合束，得到合束光；光束照明光路将合束光照射至待测样品，并接收热波反射及散射光；暗场平衡探测光路接收整形后的热波探测光，并提取热波反射及散射光中的热波探测光的散射光，根据热波探测光的参照光与散射光之间的差频信号得到圆二向色性热波暗场信号。本发明可获取样品缺陷的多种物理性质及微纳结构的手性信息。
基于二向色性暗场热波共焦显微测量装置方法

[发明专利]基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置与方法-CN202310253068.X在审
发明人：刘辰光;刘俭;陈钊;华子杰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01B9/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置和方法，装置包括：时分复用圆偏光产生模块，用于将偏振激光分为左右旋圆偏光，调制后耦合；热波探测光整形模块，用于将耦合的光束整形成环形光；热波泵浦光产生模块，用于产生热波泵浦光；光束照明模块，用于利用环形光和热波泵浦光合束后的光束对待测样品进行扫描；暗场非线性热波探测模块，用于过滤出扫描光束中的热波散射光，根据热波散射光得到暗场热波信号，对暗场热波信号进行解调得到圆二向色性暗场热波成像结果。通过本发明可获取多种几何缺陷的三维分布信息以及缺陷的手性检测。
基于二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置方法

[发明专利]基于角度照明的暗场傅里叶光场显微测量装置与方法-CN202310247098.X在审
发明人：刘辰光;刘俭;华子杰;邹重亮 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了基于角度照明的暗场傅里叶光场显微测量装置与方法，包括：倾斜光束照明模块、x方向暗场傅里叶光场探测模块、y方向暗场傅里叶光场探测模块和z方向暗场傅里叶光场探测模块；倾斜光束照明模块，用于将一系列互不相关照明光束进行光场的转接、分束和聚焦，照明光束以倾角α照射在待测样品上，实现倾斜照明，形成x、y和z方向的散射光；x、y和z方向的暗场傅里叶光场探测模块，用于分别对对应三个方向上的散射光通过收集、傅里叶光场分解和收集图像信号，并通过光场重聚焦算法进行计算重整；通过对暗场傅里叶光场信息进行分析，重建高对比度的暗场图像，实现三维样品的快速重建；利用收集的散射信号实现各方向上的分辨力一致。
基于角度照明暗场傅里叶光场显微测量装置方法

[发明专利]基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法-CN202310253142.8在审
发明人：刘俭;刘辰光;华子杰 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括涡旋照明光产生模块、光束扫描照明模块和螺旋谱提取模块；通过液晶空间光调制器加载叉形光栅相位调制样品反射至探测路的光束，同时利用孔径光阑遮挡环形光探测光斑中心光强，提取对应涡旋阶数的螺旋谱分量强度。可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析反射光螺旋谱可获取样品的相位等信息；能够准确地实现光学元件相位缺陷与振幅缺陷的识别及分类。
基于螺旋提取暗场显微测量装置方法

[发明专利]一种基于涡旋量子关联的涡旋谱暗场显微测量装置与方法-CN202310241601.0在审
发明人：刘辰光;刘俭;华子杰;赖程辉 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于涡旋量子关联的涡旋谱暗场显微测量装置及方法，包括：纠缠光源产生模块、样品照明探测模块和涡旋谱提取模块；纠缠光源产生模块按照光线传播方向依次为：激光器、半波片、BBO晶体、低通滤波器和非偏振分束器一；样品照明探测模块按照光线传播方向依次为：单模光纤一、管镜一、物镜一、待测样品、物镜二、管镜二、透镜一、透镜二、单模光纤二和SPAD探测器一；涡旋谱提取模块按照光线传播方向依次为：反射镜一、反射镜二、液晶空间光调制器一、透镜三、透镜四、单模光纤三和SPAD探测器二。
一种基于涡旋量子关联暗场显微测量装置方法

[发明专利]基于圆二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法-CN202310242652.5在审
发明人：刘辰光;刘俭;华子杰;邹重亮 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本发明公开了基于圆二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法，该装置包括圆二色性光束生成模块、环形光产生模块、光束扫描照明模块、暗场共焦探测模块；将线偏振光入射偏振光栅，同时产生第一偏振光和第二偏振光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，偏振光交替进行照明。经由锥透镜组将光束调制成环形照明光束，同时利用互补孔径光阑，收集散射信号，并对第一偏振光和第二偏振光的收集散射信号进行差分。直接分析单一偏振态下的散射信号，可提取表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析左右旋环形光照明下的散射信号差值，可获取微纳结构材料的光学手性信息，提升手性检测的灵敏度。
基于二向色性暗场显微测量装置方法

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