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[发明专利]一种用于改善双面抛光抛光边缘的抛光液-CN202111515903.X在审
发明人： 华千慧;刘福成;何昆哲 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种用于改善双面抛光抛光边缘的抛光液，包括研磨颗粒和有机高分子聚合物，其中所述有机高分子聚合物为有机高分子增稠剂。本发明通过氢键、电荷排斥以及疏水缔合作用，以实现对水性体系的增稠，所述有机高分子聚合物在水溶液中通过氢键和疏水缔合作用形成复杂的分子间、分子内聚集网络结构，从而阻碍水分子的运动，导致抛光液流动性变差，使得新的抛光液不能进入抛光区域，同时抛光产物不能随抛光液排出，从而降低晶圆的抛光速率，尤其是晶圆边缘的抛光速率，达到保护边缘，提高晶圆的表面平坦度的作用。
一种用于改善双面抛光边缘

[发明专利]一种粗抛光液的再利用方法-CN202211346937.5在审
发明人：刘福成;何昆哲;华千慧 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C09G1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种粗抛光液的再利用方法，包括以下步骤：步骤S1：将经过最终抛光工艺的粗抛光液回收至第一回收桶中；步骤S2：在第一回收桶中调整所述粗抛光液的pH值至设定范围，以得到回收粗抛光液；步骤S3：对所述回收粗抛光液进行第一次过滤，并将所述回收粗抛光液传输至第二回收桶中；以及步骤S4：对所述回收粗抛光液进行第二次过滤，并调整所述回收粗抛光液的pH值至目标范围，以得到制备双面抛光工艺所需的粗抛光原液配液，以对最终抛光工艺的粗抛光液进行回收再利用，降低抛光液的浪费，节约了成本。
一种抛光再利用方法

[发明专利]抛光垫扎孔设备及抛光垫扎孔方法-CN202011522651.9在审
发明人：刘福成;何昆哲;华千慧 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种抛光垫扎孔设备及扎孔方法。抛光垫扎孔设备包括承载台、扎孔装置及驱动装置；承载台用于放置待扎孔的抛光垫；扎孔装置位于承载台上方，扎孔装置包括扎针，用于对抛光垫进行扎孔作业；驱动装置与承载台和/或扎孔装置相连接，用于驱动承载台和/或扎孔装置沿水平方向移动，以对抛光垫的预定位置进行扎孔作业；控制装置与扎孔装置及驱动装置相连接，以控制扎孔装置及驱动装置的作业。本发明经改善的结构设计，通过控制装置控制扎孔装置对抛光垫进行自动化扎孔作业，可以确保扎孔的位置、间隔及深度的一致性，从而有效提高抛光垫的表面平坦度，并且可以有效避免手工扎针时因力度不当导致的断针问题，有助于提高后续的抛光良率。
抛光垫扎孔设备方法

[发明专利]壳聚糖/二氧化锡复合薄膜改性铝合金双极板表面的方法-CN201910349722.0有效
发明人：徐群杰;华千慧;曾彦玮;秦真兰;闵宇霖;沈喜训 -专利权人：上海电力学院
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H01M8/0228 文献下载
摘要：本发明公开了一种壳聚糖/二氧化锡复合薄膜改性铝合金双极板表面的方法，其特征在于，对铝合金双极板进行预处理；将预处理后的铝合金双极板置于碱性溶液中，进行化学刻蚀；将壳聚糖粉末溶解于酸性溶液中，然后将其喷涂于刻蚀后的铝合金双极板表面，再进行干燥，得到具有壳聚糖膜的铝合金双极板；将铝合金双极板和前驱体溶液采用水热法，在具有壳聚糖膜的铝合金双极板表面生长一层二氧化锡薄膜，干燥后，即在铝合金双极板表面制得壳聚糖/二氧化锡复合薄膜。本发明采用喷涂法和水热法在铝合金双极板表面制备出了壳聚糖/二氧化锡复合薄膜，极大地提高了铝合金双极板在质子交换膜燃料电池模拟液中的耐蚀性能。
聚糖氧化复合薄膜改性铝合金极板表面方法

[实用新型]抛光垫-CN202120908270.8有效
发明人：何昆哲;刘福成;华千慧 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种抛光垫，包括衬底层和位于所述衬底层上的抛光层，所述抛光层包括多个沿周向设置且同圆心的副沟槽，以及多个沿径向设置且连通所述副沟槽的主沟槽，所述主沟槽的沿宽度方向的截面形状为梯形，所述梯形的靠近所述衬底层一侧窄于远离所述衬底层一侧。通过设置主沟槽的截面形状为梯形，且梯形的靠近衬底层一侧窄于远离述衬底层一侧，其利用倾斜的主沟槽的槽壁，不仅有利于废液及废屑的排出和温度的控制，同时还在保证得抛光层具有较佳的硬度，有利于提高抛光的效率及效果；而多个沿周向设置、同圆心的副沟槽，使得抛光液输送于整个抛光层，进一步提高了抛光效果，从而解决现有抛光垫抛光效果不佳的问题。
抛光

[发明专利]一种电沉积构建铝合金超疏水表面的方法-CN202010616221.7有效
发明人：徐群杰;贺子豪;曾彦玮;华千慧;赵涵;沈喜训;闵宇霖 -专利权人：上海电力大学
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C25D9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电沉积构建铝合金超疏水表面的方法，其中，一种电沉积构建铝合金超疏水表面的制备方法，其包括：对铝合金进行蚀刻处理；将十二烷基三甲氧基硅烷加入AlCl3的乙醇溶液中，制得沉积液；将所述铝合金进行电沉积；干燥，即可；所述AlCl3的乙醇溶液由AlCl3和乙醇混合得到；所述的十二烷基三甲氧基硅烷：所述AlCl3：所述乙醇的质量体积比为(1.5‑4.5ml)：(1‑5g)：100ml；所述蚀刻处理其处理剂为盐酸，所述盐酸浓度为4‑7wt％，蚀刻时间为30‑60min。本发明利用电沉积方法使水解的DTMS牢固结合在铝合金表面，十二烷基三甲氧基硅烷改性的铝合金表面，极大提高了铝合金在3.5wt％NaCl溶液环境下的耐蚀性。
一种沉积构建铝合金疏水表面方法

[发明专利]一种用聚丙烯腈薄膜改性铝合金双极板表面的方法-CN201910265402.7有效
发明人：徐群杰;曾彦玮;秦真兰;贺子豪;华千慧;闵宇霖 -专利权人：上海电力学院
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C25F3/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种用聚丙烯腈薄膜改性铝合金双极板表面的方法，其特征在于，包括：步骤1：将铝合金打磨、超声清洗；步骤2：借助恒电位仪分别用高氯酸醇溶液和磷酸溶液对铝合金进行电化学抛光和阳极氧化处理；步骤3：将聚丙烯腈溶液滴在铝合金表面，再进行热处理，得到表面用聚丙烯腈薄膜改性的铝合金双极板。本发明极大提高了铝合金强酸溶液中的耐蚀性能，另外，本发明成本低，制备方法简单。
一种聚丙烯薄膜改性铝合金极板表面方法

[发明专利]氧化石墨烯/二氧化锡/硅烷复合薄膜改性铝合金的方法-CN201910236709.4在审
发明人：徐群杰;秦真兰;华千慧;曾彦玮;闵宇霖 -专利权人：上海电力学院
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B05D7/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化石墨烯/二氧化锡/硅烷复合薄膜改性铝合金的方法，其特征在于，包括：步骤1：对铝合金进行预处理；步骤2：将预处理后的铝合金置于碱性溶液中，进行化学刻蚀；步骤3：将胶状物质刷涂在铝合金表面，干燥后，即在铝合金表面制得氧化石墨烯/二氧化锡/硅烷复合薄膜；所述的胶状物质的制备方法包括：配制氧化石墨烯溶液，之后再加入二氧化锡粉末和硅烷，水解后得到胶状物质。
铝合金硅烷氧化石墨烯二氧化锡复合薄膜胶状物质预处理铝合金表面改性氧化石墨烯溶液二氧化锡粉末化学刻蚀碱性溶液刷涂水解制备配制

[发明专利]聚乙烯亚胺-还原氧化石墨烯复合膜改性铝合金表面的方法-CN201910237921.2在审
发明人：徐群杰;秦真兰;曾彦玮;华千慧;闵宇霖 -专利权人：上海电力学院
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B05D7/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种聚乙烯亚胺‑还原氧化石墨烯复合膜改性铝合金表面的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：取铝合金浸入NaOH溶液中进行化学刻蚀，清洗，干燥；步骤2：加热聚乙烯亚胺水溶液；步骤3：将所得的铝合金浸泡在步骤2中加热后的聚乙烯亚胺水溶液中，取出，清洗，干燥后，再浸入氧化石墨烯溶液中，取出，干燥；步骤4：重复进行步骤3，共进行4‑12次；步骤5：将步骤4得到的铝合金置于水合肼溶液中还原，清洗，干燥，得到聚乙烯亚胺‑还原氧化石墨烯复合膜改性铝合金。本发明采用简单的层层自组装法，在铝合金表面制备出了PEI‑rGO复合膜，极大的提高了铝合金在强酸性环境下的耐蚀性能。
铝合金复合膜还原氧化石墨烯聚乙烯亚胺铝合金表面改性清洗浸入取出聚乙烯亚胺水溶液氧化石墨烯溶液层层自组装法加热聚乙烯强酸性环境水合肼溶液化学刻蚀耐蚀性能亚胺制备加热还原浸泡重复

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