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- [实用新型]分体式烧结炉热场钢笼结构-CN201921160319.5有效
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刘伟;贺贤汉;刘海;刘豫新
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上海汉虹精密机械有限公司
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2019-07-23
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2020-05-22
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F27B21/08
- 本实用新型涉及半导体加工设备领域。分体式烧结炉热场钢笼结构,包括一钢笼主体,钢笼主体包括主钢笼,主钢笼包括上不锈钢圈、下不锈钢圈以及设置在上不锈钢钢圈和下不锈钢圈之间的不锈钢网;钢笼主体还包括设置在顶端的端部子钢笼,端部子钢笼与主钢笼可拆卸连接;钢笼主体还包括两个周向排布的周向子钢笼,两个周向子钢笼均设置在上不锈钢圈与下不锈钢圈之间;两个周向子钢笼分别为第一周向子钢笼与第二周向子钢笼,第一周向子钢笼用于固定在烧结炉腔体的炉门的内侧,第二周向子钢笼与主钢笼可拆卸连接;周向子钢笼以及主钢笼上均开设有用于固定热场外层的毡圈的通孔。本专利通过优化钢笼主体的结构,拆卸方便。
- 体式烧结炉热场钢笼结构
- [实用新型]石英管二次加料装置-CN201320491528.4有效
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刘豫新;贺贤汉;河野贵之;舟桥启
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上海汉虹精密机械有限公司
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2013-08-13
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2014-03-19
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C30B15/02
- 本实用新型涉及石英管二次加料装置,包括:容料管,在容料管的上部设有加强筋定位导向套,底部设有出料口;收腰部,收腰部设置在容料管的下部;连接杆,连接杆设置在容料管内,一端与籽晶绳连接,并在容料管上部的加强筋定位导向套中定向定位,另外一端与堵盖连接;限位块,限位块设置在石英管外侧上部。本实用新型与籽晶夹头互换安装方便,提高有效生产时间;容料管底部出料口下料位置采用钟罩结构型式,投料时避免硅液四处飞溅,损坏热场其他部品,影响正常长晶生产;解决了拉晶生产过程中,石英坩锅装料熔料后,部分高度空间空置,二次投料后解决了这个问题,从而提高了生产效率;结构简单,对已有单晶炉改造投入成本低,方便操作。
- 石英管二次加料装置
- [实用新型]单晶炉二次加料车-CN201220605566.3有效
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王宇;贺贤汉;陆春生;郭锴强;刘豫新
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上海汉虹精密机械有限公司
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2012-11-16
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2013-05-15
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C30B15/02
- 本实用新型单晶炉二次加料车,包括:后支架;前支架,所述前支架的下端于所述后支架连接;下定位圈,所述下定位圈设置在所述后支架上;上定位圈,所述上定位圈一端设置在所述后支架上,另外一端于所述前支架连接。本实用新型单晶炉二次加料车装料之前要先将石英管放置在本加料车上,使石英管下端密封锥和上端吊绳锥度夹头定位在大力横板形成一垂直线(可以通过“大力横板”腰孔调节)。需要时将装好料的车子推到炉台旁,打开上炉筒放下籽晶绳插入上端吊绳锥度夹头上移动加料车使其垂直张紧慢慢吊起,当石英管下端脱离车子下端保持圈时可以打开车子摆臂移开加料车继续下面的操作。
- 单晶炉二次加料
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