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[实用新型]一种抽气环和一种薄膜沉积设备-CN202223528351.9有效
发明人： 刘润哲;杨华龙;张翔宇;张启辉;高鹏飞;刘振;赵坤;杨天奇;吴凤丽 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抽气环和一种薄膜沉积设备。该抽气环设置于反应腔内的晶圆托盘的外围，其至少一侧设有所述反应腔的抽气口，用于经由所述抽气环的环体上分布的多个抽气孔，从所述抽气环内部抽气。所述抽气孔为槽孔，其沿所述抽气环的周向的长度和/或间隔角度随所述抽气孔到所述抽气口的距离的递增而递增。通过采用上述配置，不仅能够避免因抽气口布局问题引起的晶圆薄膜厚度不均匀的问题，而且还能够降低设备加工难度。
一种抽气环薄膜沉积设备

[实用新型]用于半导体储气瓶的加热装置-CN202320687515.8有效
发明人：路希龙;刘振;吴凤丽;董文惠;何吉超;刘润哲 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17C13/10 文献下载
摘要：本申请涉及储气装置技术领域，具体公开了一种用于半导体储气瓶的加热装置，包括第一金属加热模块以及加热棒，第一金属加热模块包括第一金属抱块和第二金属抱块，第一金属抱块和第二金属抱块扣合形成用于放置储气瓶的第一容纳腔室；第一金属抱块与第二金属抱块内部均设置有第一安装孔，加热棒插设在第一安装孔内，加热棒产生的热量通过第一金属抱块和第二金属抱块传递至第一容纳腔室。本申请通过对加热装置结构的改进能够对储气瓶进行稳定可靠的加热，提高用于半导体储气瓶加热装置的温度控制能力。
用于半导体储气瓶加热装置

[发明专利]一种矿山高含水淤泥胶结固化材料及其制备方法-CN202310154167.2在审
发明人：李树建;庞建涛;王孟来;肖喆;杨建光;袁明礼;丁文俊;李若兰;刘润哲;侯静 -专利权人：云南磷化集团有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C04B28/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种矿山高含水淤泥胶结固化材料及其制备方法，涉及矿山淤泥固化技术领域。由下列组分组成：60‑70份的细骨料，25‑30份的胶固料，5‑10份的外加剂；其中，胶固料由高炉水淬渣、黄磷炉渣、硫铝酸盐水泥熟料、生石灰、净化磷石膏、水玻璃复配混磨而成。将胶固料各原料使用磨机混磨后，与细骨料、外加剂经搅拌机混合均匀后制得淤泥胶结固化材料。胶固料使用混磨工艺，在混磨过程中各原料充分接触，发生物理活化作用，得到的胶固料比表面积大，胶结固化效果更好，相同条件下，混磨比普通混合胶结性能提高15％‑20％；过程中进行烘干得到含水率更低的胶固料，满足高含水矿山淤泥的使用要求，胶结固化治理矿山淤泥，能有效地固定淤泥中的有害元素。
一种矿山含水淤泥胶结固化材料及其制备方法

[发明专利]一种超细浮选磷尾砂规模化露天采空区回填利用的方法-CN202211501563.X在审
发明人：庞建涛;李树建;王孟来;王宗勇;肖喆;杨建光;刘润哲;李若兰;侯静 -专利权人：云南磷化集团有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： E21C41/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种超细浮选磷尾砂规模化露天采空区回填利用的方法，涉及磷尾矿处理技术领域。先将浮选磷尾矿进行压滤，含水率控制在12％～16％，然后加入胶固料，充分搅拌均匀制成回填材料，运输至露天采空区充填并用压路机压实。直接使用浮选尾矿矿浆，并通过压滤机压滤处理，有益于实现充填体的抗压强度指标，减少胶固料的使用量，减少泌水，整个过程中无需额外加入水，压滤水可直接进入浮选厂进行再利用。经本方法处理后的超细浮选磷尾矿完全满足露天采空区充填的标准要求，工艺简单，回填成本较低，处理后的回填体有效的固定了磷尾砂浆中的有害元素，满足I类固废排放标准，解决了尾砂干排导致的安全问题、环境问题，实现了磷尾砂规模化利用。
一种浮选磷尾砂规模化露天采空区回填利用方法

[发明专利]用于双腔半导体设备的排气管路以及双腔半导体设备-CN202211310438.0在审
发明人：白海健;刘振;吴凤丽;野沢俊久;金基烈;刘润哲;董文惠 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了用于双腔半导体设备的排气管路以及双腔半导体设备。排气管路包括真空泵排气管路，具有前级抽气管路、真空泵以及后级抽气管路。前级抽气管路连接双腔室和真空泵的进口，后级抽气管路连接真空泵的出口和废气处理装置。前级抽气管路上设置有第一阀门，将前级抽气管路分为第一段和第二段。第一段位于第一阀门与双腔室之间，第二段位于第一阀门与真空泵之间。第一分子泵排气管路包括第一分子泵进气管道、第一分子泵以及第一分子泵排气管道。第一分子泵进气管道连接前级抽气管路的第一段与第一分子泵的进口。第一分子泵进气管道与该第一段的交汇点靠近第一阀门。第一分子泵排气管道连接第一分子泵的出口与前级抽气管路的第二段。
用于半导体设备排气管路以及

[发明专利]一种反应腔结构及其半导体设备-CN202211140257.8有效
发明人： 刘润哲;金基烈;吴凤丽;刘振 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种反应腔结构及其半导体设备。反应腔结构包括顶部开口的支撑腔体；和扣合连接于支撑腔体顶部的喷淋板结构，喷淋板结构包括喷淋板面和于喷淋板面的周向边沿向下延伸设置的喷淋侧壁，喷淋侧壁扣合连接于支撑腔体的顶部边沿，喷淋板面高于支撑腔体的顶部设置；和位于喷淋板面下方的第一加热装置，第一加热装置与喷淋板面之间形成工艺区域，工艺区域高于支撑腔体的顶部设置。该反应腔结构及其半导体设备无需加高反应腔结构的温度，也能够解决工艺区域的高温稳定性差的问题。
一种反应结构及其半导体设备

[发明专利]清洗气体双管道输送模块以及薄膜沉积设备-CN202211066451.6在审
发明人：杨天奇;刘振;吴凤丽;杨华龙;张启辉;卜夺夺;白海健;马晋涛;刘润哲;陈庆尧;张翔宇 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种清洗气体双管道输送模块以及薄膜沉积设备。清洗气体双管道输送模块包括清洗气体输入模块、清洗气体输送管道及清洗气体分气块。清洗气体输入模块具有进气管路和从该进气管路下端分支的多个分气端口。每个分气端口的轴向与该进气管路的轴向垂直，每个分气端口具有上下设置且互相平行的第一和第二支路，将从进气管路通入的清洗气体分为两路输送至该清洗气体输送管道。清洗气体输送管道具有第一和第二支路管道，分别与第一和第二支路连接。清洗气体分气块具有第一和第二导流通道，第一导流通道与第一支路管道连通，第二导流通道与第二支路管道连通，用于将第一和第二支路管道送来的清洁气体进行转向。
清洗气体双管输送模块以及薄膜沉积设备

[发明专利]一种用于薄膜沉积设备的密封结构以及反应腔室-CN202211241484.X在审
发明人：陈庆尧;吴凤丽;刘振;刘润哲 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于薄膜沉积设备的密封结构以及反应腔室。所述密封结构位于所述薄膜沉积设备的反应腔室的腔体的朝向上盖板方向的一表面上，所述密封结构包括：密封槽，开设于所述表面上；密封圈，位于所述密封槽中；通气结构，开设于该密封槽的内侧槽壁上，所述内侧槽壁为离反应腔最近的槽壁，所述通气结构被设置成当所述密封圈受压差影响紧贴所述密封槽的内侧槽壁时不会形成死区。
一种用于薄膜沉积设备密封结构以及反应

[实用新型]雨刮臂安装总成以及车辆-CN202221838203.4有效
发明人： 刘润哲;李维;谢红清 -专利权人：北汽福田汽车股份有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B60S1/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种雨刮臂安装总成以及车辆，雨刮臂安装总成包括：前风窗下横梁内板；前风窗下横梁加强板设置于前风窗下横梁内板上；前风窗下横梁外板与前风窗下横梁内板连接且位于前风窗下横梁内板的外侧，前风窗下横梁外板设置有第一连接部，第一连接部朝向前风窗下横梁内板的方向凸出设置；雨刮臂安装支架的一端连接于前风窗下横梁加强板上且另一端连接于第一连接部上。雨刮臂安装支架、前风窗下横梁外板和前风窗下横梁内板可以共同对雨刮臂起到支撑作用，提升对雨刮臂的支撑强度，第一连接部朝向前风窗下横梁内板的方向凸出设置，可以提升第一连接部与雨刮臂安装支架的连接牢固性，从而提升雨刮安全工作的可靠性。
雨刮臂安装总成以及车辆

[发明专利]气体输送结构及气相沉积设备-CN202211247743.X在审
发明人：刘振;吴凤丽;刘润哲;金基烈 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了气体输送结构及气相沉积设备。该气体输送结构包括：分气块，包括多个气体入口及多条独立的气路，其中，第一入口经由第一气路通向喷淋板的内区挡板，第二入口经由第二气路通向喷淋板的外区挡板，第三入口经由第三气路通向喷淋板的清洗气体分气板；以及喷淋板，包括内区挡板、外区挡板及清洗气体分气板，其中，内区反应气体经由第一入口、第一气路及内区挡板，被喷洒到待加工晶圆的中心区域，外区反应气体经由第二入口、第二气路及外区挡板，被喷洒到待加工晶圆的边缘区域，清洗气体经由第三入口、第三气路及清洗气体分气板，被喷洒到晶圆托盘的中心区域及边缘区域。
气体输送结构沉积设备

[发明专利]一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法-CN202211197485.9在审
发明人：陈庆尧;吴凤丽;刘振;刘润哲 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法，该用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，该辅助拆装装置包括：支撑板，该支撑板用于垂直固定于该上盖板上的该预设安装位置的下方以支撑该喷淋板与该上盖板之间的定位拆装；设于该支撑板上的滑轨，该滑轨的滑动方向垂直于该上盖板的所在平面；以及定位板，该定位板的上侧形状与该喷淋板的外周形状相匹配以使该定位板沿该喷淋板的外周与该喷淋板相固定，该定位板的下侧与该滑轨配合安装以使该定位板带动该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置。
一种喷淋辅助拆装装置安装方法

[发明专利]一种胶磷矿反浮选脱镁原矿配矿方法-CN202211011735.5在审
发明人： 刘润哲;刘朝竹;王孟来;李若兰;彭丽群;张朝旺;王涛;康鹏鹏;李宁;卢昌;方舒;刘丽芬;罗昆义 -专利权人：云南磷化集团有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种胶磷矿反浮选脱镁原矿配矿方法，涉及胶磷矿浮选配矿技术领域。基于不同类型胶磷矿工艺矿物学性质、矿物富集规律、精矿质量等，以满足反浮选脱镁工艺的精矿品位为目标，以原矿P2O5、MgO、Fe2O3、Al2O3的品位为自变量，精矿P2O5品位、MER值为因变量，构建磷、镁、铁、铝多元素精准协同均化数学模型，以此输出原矿配矿方案，此模型精矿品位模拟精度达99％，精矿MER值模拟精度达94％以上，本发明可明显提高原矿配矿精度，提高选厂运行稳定性，保障精矿产品质量，具有较高的应用特性。
一种磷矿浮选原矿方法

[发明专利]一种超细浮选磷尾矿资源化利用的方法-CN202211113409.5在审
发明人：庞建涛;李树建;王孟来;王宗勇;肖喆;杨建光;李若兰;刘润哲;王灿霞;侯静 -专利权人：云南磷化集团有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超细浮选磷尾矿资源化利用的方法，涉及磷尾矿处理技术领域。先将浮选尾矿矿浆泵入浓密机内进行浓缩，再调节其pH值至偏碱性，然后加入胶固料，充分搅拌均匀后输送至低下采空区进行充填，直接使用浮选尾矿矿浆，并通过浓密机大幅提高矿浆浓度，有益于实现充填体的抗压强度指标，减少胶固料的使用量，减少泌水；利用生石灰或者石灰乳，调节浮选磷尾矿浆的pH至8～9，有益于加入胶固料后充填体获得较优的抗压强度指标；经本方法处理后的超细浮选磷尾矿完全满足地下充填的标准要求，有效解决了地下采空区的安全生产、冒顶、塌陷及环境污染等问题，同时解决了浮选尾矿湿排、干排导致的安全问题、环境问题，实现了磷尾矿资源化利用。
一种浮选尾矿资源利用方法

[发明专利]一种反应腔及镀膜设备-CN202210926474.3在审
发明人：张启辉;野沢俊久;吴凤丽;杨华龙;刘振;杨天奇;卜夺夺;张翔宇;高鹏飞;张恩慈;毕孝楠;刘润哲 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种反应腔及镀膜设备。本发明提供的反应腔，包括本体、加热器、晶圆和承托机构，加热器、晶圆和承托机构均设于本体内；晶圆的边缘搭接在承托机构的承托部上，且承托部的下表面与加热器的上表面贴合，因此晶圆的边缘采用热传导的方式加热，而晶圆的中部区域的加热方式为加热器通过加热间隙进行热辐射，相比于现有的晶圆所有区域均是热辐射加热，本实施例中晶圆边缘由热辐射改为热传导的加热方式，热传导的传热效果更好，可以提高晶圆边缘区域的温度，进而缩小晶圆中心和边缘的温度差，提高晶圆的温度分布均匀性，提高晶圆沉积的质量，提高产能。
一种反应镀膜设备

[实用新型]一种胶磷矿擦洗脱泥补加水循环系统-CN202221349511.0有效
发明人：方舒;赵辉;郎旭;施剑声;胡刚;刘润哲;高云山;李艳冲;朱永忠;张应忠 -专利权人：云南磷化集团有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B03B9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种胶磷矿擦洗脱泥补加水循环系统，涉及胶磷矿擦洗脱泥技术领域。所述系统的洗矿装置尾矿溢流管与分级装置进料口连接，洗矿装置块矿出口与筛分装置进料口连接，分级装置溢流尾矿出口与浓缩装置进料口连接，浓缩装置溢流管与循环水池进水口连接，循环水池通过循环泵与高位水池进水口连接，高位水池出水口通过自流管分别与洗矿装置、分级装置、筛分装置连接。通过高位水池内水的自流满足各点装置的用水需求，洗矿装置、分级装置、筛分装置、浓缩设备和循环水池依高度设置，满足溢流自流的需求，通过循环泵将处于低位循环水池内的水泵入高位水池中，将各装置内的水进行循环利用，且尽可能通过自流实现补水，降低系统能耗。
一种磷矿洗脱加水循环系统

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