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[发明专利]一种气液喷雾刻蚀设备及方法-CN201610121299.5有效
发明人：高雪伟;冯惠谦 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-03 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种气液喷雾刻蚀设备及方法。所述设备包括刻蚀腔室、气体提供装置、刻蚀液提供装置、气液混合装置、气液喷射装置；气液混合装置用于将刻蚀液提供装置提供的刻蚀液和气体提供装置提供的载气混合，形成气液混合物，其中，刻蚀液用于刻蚀刻目标物；气液喷射装置用于利用所述气液混合物形成喷雾并按照设定压强将所述喷雾喷射至目标物上的目标位置。所述方法，采用本发明任意一项实施例所提供的气液喷雾刻蚀设备对目标物进行刻蚀，包括：将用于刻蚀目标物的刻蚀液与刻蚀液的载气进行混合，形成气液混合物；将所述气液混合物按照设定速率喷射到待刻蚀的目标物上的目标位置。本发明所提供的设备及方法，能够改善湿法刻蚀效果。
一种喷雾刻蚀设备方法

[发明专利]适合北方地区入河口水污染控制方法-CN201310108015.5有效
发明人：张文熊;白文荣;刘晶冰;井琦;冯惠谦 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2013-03-24 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：适合北方地区入河口水污染控制方法属于污水技术领域。采用的系统包括缺氧池，第一好氧池，第二好氧池，在第一好氧池和第二好氧池，每隔3.5‐4.5米设置独立的曝气管，在缺氧池、第一好氧池、第二好氧池中投加分散悬浮式阶梯环填料，投配率为池容积的30%；在运行过程中可划分为：挂膜启动期、设计流量进水期、低温维持期及冲击负荷期四个阶段；本发明主要采用综合式生物膜反应器处理工艺对北方地区城乡结合部入河口污水进行处理，并能够去除污水中COD、BOD5、NH4+‐N、TN、SS，效果良好。
适合北方地区河口水污染控制方法

[实用新型]入河口污水回用深度处理装置-CN201120331548.6有效
发明人：张文熊;白文荣;冯惠谦;刘晶冰;朱鸿冰 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2011-09-06 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：入河口污水回用深度处理装置属于污水深度处理领域。本实用新型解决了传统工艺投资规模大、针对性差及膜分离技术处理水量小、成本高的问题。本装置由循环氧化催化系统I和过滤存储系统II依次连结而成，系统I中的UV光氧化催化反应器，其内设有固定载体架，可据水质差异装入颗粒活性炭或纳米晶TiO2等不同催化剂。上述装置可无选择性地降解二级生化出水中难降解有机污染物，并使出水达到较高标准。本装置操作简单、处理效率高、且量大，成本较低，对COD、BOD、浊度、表面活性剂、铁、锰、嗅、色度等中水回用指标有显著降解效果，适于入河口污水回用深度处理工艺。
河口污水深度处理装置

[发明专利]入河口污水回用深度处理工艺-CN201110260738.8无效
发明人：张文熊;白文荣;刘晶冰;冯惠谦;朱鸿冰 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2011-09-06 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：入河口二级生化出水的污水回用深度处理工艺属于污水深度处理领域。O3+UV+纳米晶TiO2/颗粒活性炭+高速纤维球过滤技术深度处理二级生化出水的工艺，解决了传统工艺投资规模大、针对性差及膜分离技术处理水量小、成本高的问题。本工艺装置由循环氧化催化系统I和过滤存储系统II依次连结而成，系统I中的UV光氧化催化反应器，其内设有固定载体架，可据水质差异装入颗粒活性炭或纳米晶TiO2等不同催化剂。上述工艺可无选择性地降解二级生化出水中难降解有机污染物，并使出水达到较高标准。本工艺操作简单、处理效率高、且量大，成本较低，对COD、BOD、浊度、表面活性剂、铁、锰、嗅、色度等中水回用指标有显著降解效果，适于入河口污水回用深度处理工艺。
河口污水深度处理工艺