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[实用新型]一种布拉格反射镜蒸镀治具-CN202321166244.8有效
发明人： 傅焱敏;段良飞;胡瑶;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种布拉格反射镜蒸镀治具，包括卡环以及镀锅，卡环包括卡环本体以及设于卡环本体上的松紧装置，卡环本体包括延长部以及接触部，延长部用于放置在镀锅上，松紧装置包括弹性部、推动部以及插接杆，弹性部与推动部固定连接，推动部与插接杆固定连接，在镀锅上设有与插接杆对应的插接槽，在镀锅内还设有紧固组件，紧固组件包括紧固块以及与紧固块连接的旋转部，旋转部位于紧固块的非轴心处，旋转部用于推动紧固块使其以紧固块与旋转部的连接处为轴旋转，以使紧固块面积大的一侧将插接杆挤压至插接槽的侧壁中，本实用新型中的布拉格反射镜蒸镀治具，将插接杆插入插接槽中，再通过紧固块挤压插接杆、以实现对卡环的固定。
一种布拉格反射镜蒸镀治具

[实用新型]一种DBR镀膜治具-CN202321131744.8有效
发明人： 傅焱敏;段良飞;胡瑶;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种DBR镀膜治具，包括卡环以及镀锅，卡环包括卡环本体以及限位装置，卡环本体包括延伸部以及设于延伸部下方的接触部，延伸部的外径大于接触部的外径，延伸部用于架设在镀锅的上表面，在延伸部上贯穿设置有两第一通孔，在镀锅相对于两第一通孔处的位置贯穿设置有两第二通孔，限位装置包括在第一通孔内弹性移动的弹性杆以及与弹性杆垂直的连接杆，连接杆靠近弹性杆回弹的一侧设有第一抵靠部，弹性杆的回弹，以使第一抵靠部挤压第二通孔的侧壁，两第一通孔中的两弹性杆的回弹方向一致，本实用新型中的DBR镀膜治具，将卡环的上沿边拉长，并在其中设置可回弹的弹性杆，当弹性杆复位时，通过抵靠部挤压镀锅内的侧壁，对卡环实现固定。
一种 dbr 镀膜

[实用新型]一种镀锅及蒸镀机-CN202223255836.5有效
发明人： 傅焱敏;段良飞;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种镀锅及蒸镀机，该镀锅包括镀锅本体和设于所述镀锅本体上的多个片源孔洞，其特征在于，还包括卡环和限位工件，所述卡环内部中空形成用于放置晶圆的放置腔体，所述卡环与所述片源孔洞活动连接，所述卡环上设置有挡块，所述挡块覆盖部分所述放置腔体，以限制所述晶圆，所述限位工件用于对所述卡环进行限位，以使所述卡环与所述片源孔洞连接。通过本申请，能够避免在蒸镀过程中，镀锅进行公转时晶圆易被甩飞的问题，有利于降低物料损失。
一种蒸镀机

[实用新型]一种用于支撑离子源栅网的防变形治具-CN202223150392.9有效
发明人：包鹏鹏;傅焱敏;段良飞;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B24C3/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于支撑离子源栅网的防变形治具，属于离子源栅网保养技术领域，包括：栅网，所述栅网包括弧形部；第一限位件，所述第一限位件包括第一支撑部以及所述第一支撑部向外凸起形成的球形凸起部，所述球形凸起部与所述弧形部底面相适配；第二限位件，所述第二限位件包括第二支撑部以及由所述第二支撑部向内凹陷形成的球形凹陷部，所述球形凹陷部与所述弧形部顶面相适配；当所述栅网设置于所述第一限位件上时，所述球形凸起部支撑所述弧形部的底面，当所述栅网设置于所述第二限位件上时，所述球形凹陷部支撑所述弧形部的顶面，本申请降低喷砂耗时，降低人员要求，标准化作业，降低栅网变形率。
一种用于支撑离子源变形

[实用新型]一种喷砂治具-CN202223236788.5有效
发明人： 傅焱敏;段良飞;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B24C3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种喷砂治具，包括工作台，还包括设于所述工作台上的承托底座和固定套，所述承托底座与所述工作台连接，所述承托底座上开设有收容槽，所述收容槽用于收容栅网的凸面，所述承托底座上设有支撑面，所述支撑面沿所述收容槽槽口的边缘延伸成型，所述固定套与所述承托底座连接，以使所述栅网的连接边部紧固于所述支撑面和所述固定套之间。通过本申请，能够对栅网进行保护，有利于防止栅网在喷砂过程中产生变形的问题，从而无需使用高要求的喷砂手法，且还有利于缩短喷砂时长。
一种喷砂

[实用新型]一种用于定心站的圆盘-CN202221944300.1有效
发明人： 傅焱敏;章程;朱帅;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于定心站的圆盘，其中圆盘为上开口中空盘状体，圆盘侧壁内表面为斜坡状表面，圆盘侧壁内径由外至内逐渐减小；圆盘一侧设有缺口面，缺口面与圆盘外缘轮廓组成不完整圆形；圆盘底面设有第一底部、第二底部，第二底部设于第一底部之中，第二底部表面凹陷并低于第一底部；第二底部上贯穿设有缺口槽。圆盘内表面斜坡可实现晶圆的快速定心作用，减少原先定心站夹爪的动作时间，同时避免了晶圆片源被夹碎的风险，第一底部的凹槽及缺口槽的结构有利于自动手臂的快速衔接运转，优化了晶圆处理工艺的流程并减少片源损失，降低转运动作耗时并以此提高大规模晶圆生产效益。
一种用于定心圆盘