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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]晶圆背损伤缺陷的自动识别方法-CN202311217735.5在审
发明人：苏卫星;焦长平;赵锷 -专利权人： 信熙缘（江苏）智能科技有限公司
申请日： 2023-09-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06V10/764 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆背损伤缺陷的自动识别方法，包括以下步骤：S1、获取在电子显微镜下拍摄的晶圆背损伤缺陷的原始图像；S2、利用缺陷识别算法对原始图像进行缺陷识别，输出识别结果，识别结果包括：在原始图像中用十字符号标记缺陷位置以及缺陷的数量；S3、对输出的识别结果进行分析与修正，若识别结果的准确率不符合预期，则调整缺陷识别算法中的阈值后再重复步骤S2；若识别结果的准确率符合预期，但仍存在未被识别出的缺陷或过度识别的缺陷，则采用手动添加或删除十字符号的方式进行修正；S4、导出最终的晶圆背损伤缺陷识别结果。本发明不仅可以提高计数的准确率，还能够提高计数的工作效率。
晶圆背损伤缺陷自动识别方法

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