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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种铜靶材的补焊方法-CN202310775686.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;侯娟华;钱百锋 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B23K26/60 文献下载
摘要：本发明提供一种铜靶材的补焊方法，所述补焊方法包括如下步骤：(1)对铜靶材的缺陷部位进行预处理，得到处理后铜靶材；(2)找准所述处理后铜靶材上的待补焊位置，进行激光补焊；(3)对所述激光补焊后的铜靶材进行后处理，完成补焊。本发明所述的铜靶材的补焊方法效率高，操作简单，无需真空环境，精度高，可修补接近成品尺寸的铜靶材产品；而且操控性强，可修复各种复杂形状、复杂缺陷的铜靶材，具有大规模推广应用前景。
一种铜靶材方法

[发明专利]一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法-CN202111164563.0有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法，通过对焊接完成的圆形钼靶材组件的溅射面依次进行粗车削和精车削，减小了圆形钼靶材与背板发生相对转动的推动力，有效降低了圆形钼靶材的脱焊面积，避免了焊缝增大以及靶材开裂等问题的发生；而且，本发明所述加工方法通过依次进行的粗车削和精车削，可以保证圆形钼靶材组件的溅射弧面满足尺寸的质量要求。
一种圆形钼靶材组件溅射加工方法

[实用新型]一种靶材-CN202120551477.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材，所述靶材的溅射面上以中心点为基准呈辐射状依次设置有第一凹区、第二凹区和第三凹区；所述第一凹区的面积为所述溅射面面积的12‑20％；所述第二凹区的面积为所述溅射面面积的5‑7％；所述第三凹区的面积为所述溅射面面积的15‑25％；所述第一凹区的深度＞所述第二凹区的深度；所述第三凹区的深度＞所述第二凹区的深度；所述第一凹区的深度＞所述第三凹区的深度。通过对溅射区域面积的合理设计，采用特定的凹区面积和深度的搭配使得靶材在溅射过程中可以实现溅射面保持相同的消耗速度，保证靶材在溅射过程中具有良好的均匀性，使得溅射过程所得镀膜的性能保持不变，保证整个溅射过程中所得镀膜具有良好的性能。
一种

[发明专利]一种降低铝靶材晶粒度的方法-CN202110843614.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种降低铝靶材晶粒度的方法，所述方法包括以下步骤：对坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第三锻伸处理、第二热处理、第一压延处理、第二压延处理以及第三热处理后得到半成品铝靶材；对所述半成品铝靶材与背板装配后依次进行包套焊接、包套脱气以及热等静压焊接。所述方法可有效避免铝靶材与铜背板焊接过程中的晶粒粗大问题，提高了铝靶材与铜背板的结合率，降低产品不良率，从而缩减产品生产成本。
一种降低铝靶材晶粒方法

[发明专利]一种钽靶材焊接面的处理方法-CN202011256638.3有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钽靶材焊接面的处理方法，钽靶材焊接面由从外到内的第一圆环、第二圆环和圆面组成；所述处理方法包括：对所述第一圆环进行熔射处理，对所述第二圆环进行喷砂处理，对所述圆面依次进行喷砂处理和熔射处理。本发明提供的处理方法，通过采用对不同的焊接区域采用不同的处理方法，使得到的钽靶材和背板焊接的焊接结合率高达98.5％以上，同时也改善了焊接后焊接面的应力分布，使的应力分布更加均匀。
一种钽靶材焊接处理方法

[发明专利]一种改善铝靶材边缘开裂的方法-CN202110679321.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C22F1/043 文献下载
摘要：本发明提供一种改善铝靶材边缘开裂的方法，所述方法为将铝靶材加工中的静压处理替换为锻伸处理。所述方法可以有效解决铝靶材加工过程中的边缘裂纹问题，提高了产品质量同时，增加了铝靶材加工的合格率。
一种改善铝靶材边缘开裂方法

[发明专利]一种钽靶材组件的焊接方法-CN202011036133.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种钽靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：对焊接面设置螺纹的钽靶材进行熔射处理，对背板的焊接面进行喷砂处理，之后将熔射处理后的钽靶材和喷砂处理后的背板进行热等静压焊接，得到钽靶材组件。本发明提供的焊接方法，通过对钽靶材表面设置螺纹并进行熔射处理同时对背板焊接面进行喷砂处理，利用二者之间的协同耦合作用实现了钽靶材组件的焊接面应力分布均匀，焊接结合率为97％以上，靶材和背板间传热性能提高10‑25％。
一种钽靶材组件焊接方法

[发明专利]一种靶材与铜背板的装配方法-CN202110190254.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材与铜背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对靶材以及铜背板进行预处理；(2)对预处理后的所述靶材以及铜背板进行装配并焊接；(3)对所述铜背板开设散热水道；(4)对装配后的靶材以及铜背板表面进行喷砂处理以及熔射处理；其中，所述铜背板的预处理包括对所述铜背板一次进行OP2车削以及OP1车削。所述装配方法在车削后可迅速进行焊接，车削面与空气接触时间短，不易生锈，提高产品品质，产品无需除锈处理，节省人力物力以及工时，降低成本，工艺进一步优化。
一种背板装配方法

[发明专利]一种Ti环零件的加工方法-CN202110287509.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种Ti环零件的加工方法，所述加工方法包括：对Ti原料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、热轧处理、校平处理、第三热处理、机加工处理、第四热处理后得到所述Ti环零件。所述加工方法对Ti环零件的加工方法进行改进，可以有效减少Ti原料在加工过程中产生的形变，提高Ti环零件的加工合格率。
一种 ti 零件加工方法

[发明专利]一种靶材组件的加工方法-CN202210123989.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：(1)靶材原料依次经锻伸处理、第一热处理和冷锻处理，得到第一靶材；(2)所述第一靶材依次经第二热处理、静压处理和压延处理，得到第二靶材；(3)所述第二靶材依次经第三热处理和机加工，得到半成品靶材；(4)所述半成品靶材与背板进行热等静压焊接处理，得到靶材组件。本发明所述加工方法中热等静压焊接处理的温度低，压力高，可以得到焊接结合率高的靶材组件，适合大规模工业化生产。
一种组件加工方法

[实用新型]一种化学机械抛光用保持环-CN202120070274.3有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种化学机械抛光用保持环，所述化学机械抛光用保持环包括第一环体和第二环体；所述第一环体和第二环体通过粘结剂粘结；所述第一环体上设有凹槽，所述凹槽上设有第一侧面粘结面和第一阶梯水平粘结面；所述第二环体上设有环形凸台，所述环形凸台的底部外径小于顶部外径；所述环形凸台上设有第二侧面粘结面和第二阶梯水平粘结面；所述第二阶梯水平粘结面上设有燕尾槽；所述凹槽的直径与所述环形凸台的顶部外径相同；所述环形凸台插入到所述凹槽内。本实用新型通过改进两种环体之间的粘结结构，增强了两者之间的粘结强度，提升了保持环的品质；所述粘结结构的设计无需复杂操作，结构简单，工作量小，有利于工业化应用。
一种化学机械抛光保持

[实用新型]一种坩埚可调节板组件-CN202121443502.3有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种坩埚可调节板组件，所述组件包括坩埚夹持单元以及锁紧单元，所述坩埚夹持单元包括基台部以及夹持部，所述基台部的底面与所述夹持部的顶端相连，所述夹持部侧壁设置有至少一个开口，所述锁紧单元环绕设置于所述夹持部外壁。所述坩埚可调节板组件可按使用需求调整高度，适用范围广，成本低，可以适用于多种工况。
一种坩埚调节组件

[实用新型]一种靶材钎焊结构-CN202121356922.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种靶材钎焊结构，所述钎焊结构包括背板，所述背板包括焊接面以及外沿，所述焊接面与所述外沿形成台阶结构，所述背板的焊接面与所述靶材的焊接面扣合，所述台阶结构上表面设置有夹持结构固定所述靶材。所述钎焊结构可以提高密度较低靶材钎焊时与背板的结合率，且结构简单，易于加工。
一种钎焊结构

[发明专利]一种改善钨靶材焊接质量的方法-CN202111356586.1在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供一种改善钨靶材焊接质量的方法，所述方法包括：对所述钨靶材的焊接面进行精磨以及镀膜处理；对中间层的一侧进行镀膜处理；对中间层非镀膜侧以及背板的焊接面进行车削螺纹处理；将所述中间层非镀膜侧与所述钨靶材的焊接面进行装配，将所述中间层镀膜侧与所述背板的焊接面进行装配，进行热等静压焊接。所述方法可以解决钨靶材焊接过程中的开裂问题，提高焊接质量以及合格率。
一种改善钨靶材焊接质量方法

[实用新型]一种靶材组件-CN202120241699.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材组件，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述背板为圆盆状；所述背板的盆底内部设置有环形水道；所述环形水道的进水口连接有进水管道；所述环形水道的出水口连接有出水管道；所述进水管道与出水管道分别独立地设置在所述背板远离靶材的一侧；所述进水管道与出水管道以背板的圆心呈对称分布。本实用新型通过合理改进背板的冷却装置，解决了冷却问题的同时避免了磁铁的装配干涉，同时简化了内部结构，扩大了适用范围。
一种组件

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