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[发明专利]一种光刻胶剥离试验一体机及光刻胶剥离方法-CN201910764271.7有效
发明人：顾玲燕;朱龙;李翔;任奕宇;承明忠 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶剥离试验一体机，包括柜体、设置在柜体内腔底部的基板承载组件、处理液喷射组件、底出液口、与处理液喷射组件和底出液口连通的处理液储槽或处理液源；柜体的侧壁上设置有敞口的出液槽，出液槽的顶端铰接设置有翻转导流板，出液槽的底端通过柜体侧壁的侧出液口与处理液储槽相通；翻转导流板与柜体之间还设置有翻转调节机构；翻转导流板与基板承载组件之间的柜体相对侧壁上分别固定设置有倾斜向下的第一导液板和第二导液板，第一导液板和第二导液板的自由侧边用于密封搭接或者密封叠合设置在翻转导流板的侧边上方，第一导液板的自由侧边位于出液槽的正上方。上述结构可减少置换液中的剥离液带出量，增加置换液回用次数。
一种光刻剥离试验一体机方法

[发明专利]一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法-CN202111592007.3在审
发明人：王磊;承明忠;王迎;任奕宇;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01N31/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法，混酸体系为包含氢氟酸的已知酸组分的3‑5元强弱混酸体系，其中强酸为选自硫酸和硝酸中的至少一种，包括以下步骤：S1：用氢氧化钠滴定剂酸碱滴定混酸稀释液，通过监测电位变化获得等当点和到达等当点消耗的滴定剂用量，计算滴定剂中和的氢离子浓度；S2：对S1体系依次进行氟离子和硫酸根滴定剂滴定，获得滴定剂用量，计算混酸体系中氢氟酸和硫酸的浓度；S3：结合S1所得氢离子浓度和酸组分pka值分布，计算混酸组分含量参数；或者基于混酸组分含量参数，以S2所得氢氟酸和硫酸的浓度为准，修正氢氟酸和硫酸浓度，计算酸组分的浓度。本发明对电子级混酸检测效率及准确度均较高。
一种电子级混酸体系组分浓度检测方法

[发明专利]一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法-CN201910764932.6有效
发明人：顾玲燕;朱龙;任奕宇;李翔;承明忠 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有活动盖板的湿蚀刻设备，包括蚀刻箱体，蚀刻箱体的内腔中由下至上依次设置有工件传送组件、喷淋组件，喷淋组件与蚀刻箱体顶面之间设置有活动盖板组件，活动盖板组件包括两平行的输送辊、张紧设置在输送辊外的输送带、位于蚀刻箱体外且与输送辊连接的辊旋转驱动件、阵列分布于输送带上的若干个通孔和位于输送带下方且沿输送带带宽方向设置的扁平状吹风喷嘴，扁平状吹风喷嘴的出风方向与输送带的输送方向夹角为95～120°；输送辊的两端具有高度差，和/或位于输送辊顶端和底端的输送带层之间设置有扁平风刀，扁平风刀的出风口倾斜向下并朝向输送带。通过输送带和扁平状吹风喷嘴，改善滴落和喷射至工件蚀刻面的蚀刻液浓度差导致的蚀刻不均问题。
一种具有活动盖板蚀刻设备方法