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[发明专利]一种物镜曝光焦面的检测方法及装置-CN202210876988.2在审
发明人：王镇辉;付纯鹤;高荣荣;魏祥英;苏鹏方 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种物镜曝光焦面的检测方法及装置，包括：确定基准板在可移动工作台的多个垂向位置下的成像数据，每个垂向位置下的成像数据通过以下方式获得：控制可移动工作台到达一垂向位置，控制对准系统开启，捕捉基准板标记经由物镜在掩模版上所形成的成像数据；根据各垂向位置下的成像数据，确定每个垂向位置的成像评价值；根据最高成像评价值或最低成像评价值对应的目标垂向位置，确定物镜对准焦面所在位置，根据物镜对准焦面所在位置以及物镜对准焦面与物镜曝光焦面之间的固定偏置值，确定物镜曝光焦面所在位置。本申请通过获取物镜对准焦面及固定偏差值确定物镜曝光焦面，提高对物镜曝光焦面位置的检测速度。
一种物镜曝光检测方法装置

[发明专利]一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统-CN202210327161.6在审
发明人：牛岩;付纯鹤;苏鹏方;杜婷婷;徐圆圆 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据扫描时间值以及准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。采用本申请提供的技术方案能够通过获取扫描时间区间与准备时间区间，确定出扫描时间值，以及准备时间值，并通过扫描时间值时间与准备时间值控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描，从而在保障曝光图像质量的同时提高晶圆曝光的工作效率。
一种执行同步扫描控制方法上位以及控制系统

[发明专利]一种非标规格半导体基片的曝光方法及装置-CN202210221959.2在审
发明人： 付纯鹤;张叶;高荣荣;卢金剑;杜旭 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种非标规格半导体基片的曝光方法及装置，首次曝光时，基于待曝光基片的轮廓信息，确定待曝光表面中的最大内接矩形；基于最大内接矩形的尺寸和曝光单元的尺寸，确定有效曝光区域和曝光单元的布局数据；选择有效曝光区域的指定方位上的顶点作为起始曝光标记点，基于起始曝光标记点和有效曝光区域的其余方位上的顶点构建标记点数据；根据曝光单元的布局数据、标记点数据和预设曝光方向，采用S型路径算法，确定待曝光基片的曝光路径；按照曝光路径，从起始曝光标记点开始在有效曝光区域内对待曝光基片进行曝光。本申请根据基片实际的轮廓动态确定有效曝光区域，从而进行曝光路径的动态规划，进而提高基片的利用率和芯片的生产效率。
一种非标规格半导体曝光方法装置

[发明专利]一种基片曝光方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210244571.4在审
发明人：高荣荣;王镇辉;付纯鹤;柏鳗晏;赵伟卫 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种基片曝光方法、装置、电子设备及存储介质，基片曝光方法包括：基于待曝光的目标基片中的标记点，确定目标基片的水平位置偏移信息；确定目标基片中每个预设曝光区域的实际水平位置信息；基于采集到的任一预设曝光区域与曝光组件之间的像平面的位置信息，确定该预设曝光区域是否满足曝光条件；若满足，则对目标基片的该预设曝光区域进行曝光处理。本申请在曝光组件水平对准基片上任一预设曝光区域的基础上，还对该预设曝光区域上形成的像平面进行调整，使得该预设曝光区域内的像平面满足曝光条件，实现了针对非标准厚度规格的基片中任一预设曝光区域的准确曝光，在提高对基片曝光的通用性的同时，可以提升对基片的曝光质量。
一种曝光方法装置电子设备存储介质

[发明专利]基于超声波的边缘检测方法-CN201310249802.1有效
发明人：连军莉;魏鹏;付纯鹤;周庆亚;黄晓鹏 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01B17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于超声波的边缘检测方法，所述方法包括步骤11将换能器置于待测器件上方，启动所述换能器；步骤12在一个平面上移动所述换能器；步骤13记录所述换能器接收到超声波信号发生变化时所在的位置，执行步骤12。本发明利用超声波遇到界面反射的特性，通过监测换能器发送到器件表面的超声波信号变化来获取器件的边缘位置，该方法提高了器件边缘位置检测的准确性并提高了检测的效率，节省了人力。
基于超声波边缘检测方法

[发明专利]一种多线切割设备排线自适应装置-CN201610773948.X在审
发明人：谢耿勋;种宝春;付纯鹤 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种多线切割设备排线自适应装置，包括支座和导轮，所述导轮上设置有导轮槽，所述导轮槽连接有切割线，所述切割线储存于储线轮上，还包括卷径适应座，所述导轮设置于卷径适应座上，所述卷径适应座可旋转地设置于支座上，所述卷径适应座能够通过其相对于支座的旋转运动、改变导轮和储线轮的相对位置，本发明正是通过上述结构，借助卷径适应座相对于支座的旋转运动、调整导轮和储线轮的相对位置和角度，以使得切割线与导轮上的导轮槽保持相切，避免切割线因其他方向的分力对导轮或导轮槽造成磨损的问题，提升了使用寿命，并使得整体结构更加安全可靠。
一种切割设备排线自适应装置

[发明专利]多线切割设备晶向调整机构-CN201510928523.7在审
发明人：袁立伟;吴学宾;付纯鹤 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了多线切割设备晶向调整机构，其包括上板，下板，设置在上板与下板之间的俯仰调整装置，固定在上板下部的大齿轮，与大齿轮配合的水平调整装置，拉伸弹簧；大齿轮通过上转轴、压盖与上板铰接；大齿轮的下端两侧设置有平行的大齿轮凸台，下板的上部两侧设置有平行的下板凸台，大齿轮凸台与下板凸台通过下转轴铰接；俯仰调整装置上的传动板嵌入下板前端的长槽内，水平调整装置上的传动齿条与大齿轮啮合。本发明提供的多线切割设备晶向调整机构应用于晶锭加工技术领域，通过螺纹传动和杠杆联动，实现俯仰角度调节；通过螺纹传动和齿轮齿条啮合，实现水平角度调节；两个方向调节相互独立，互不干涉，提高了调整机构的稳定性及调整精度。
切割设备调整机构

[发明专利]一种工作台微调机构-CN201510997365.0在审
发明人：袁立伟;付纯鹤 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本发明公开一种工作台微调机构，其包括后板，连接板，传导块以及前板；连接板、传导块位于后板与前板之间；后板的下部设置有磁铁座，电磁铁安装在磁铁座上；后板中部设置有气囊，后板上部设置有上板；连接板上部设置有连接板长槽，连接板下部设置有缺口，缺口与电磁铁的安装位置对应；连接板通过上板连接簧片与上板连接，连接板通过传导块连接簧片与传导块连接，前板固定在传导块上；后板与前板的端部设置有前后板连接簧片。本发明提供的工作台微调机构应用于晶片的研磨领域，其部件之间柔性连接，采用磁场作为部件微动主控措施，气囊作为辅助控制措施，该结构简单紧凑、布局合理，部件微量调整精度高，有效防止晶片损失，提高晶片研磨加工质量。
一种工作台微调机构

[发明专利]多线切割设备锥线轮机构-CN201510997364.6在审
发明人：陈学森;付纯鹤;袁立伟 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本发明公开了多线切割设备锥线轮机构，其包括传动部分，液压调节部分，线轮部分；传动部分包括轴承座、主轴、圆锥滚子轴承，主轴由一对圆锥滚子轴承背对背支撑固定在底座上的轴承座上；液压调节部分包括油缸缸体、油缸静活塞，油缸静活塞设置在油缸缸体的内腔，油缸静活塞的前端为锥形，油缸静活塞前端的锥形与主轴中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮、压线盘、锁紧法兰，锥形轮内部设置有空腔，油缸缸体设置在锥形孔的空腔内，压线盘内侧依靠在油缸缸体的轴肩上，并由锁紧法兰锁紧；锥形轮通过长螺杆与主轴连接。本发明提供的多线切割设备锥线轮机构应用于晶片加工技术领域，其结构合理，采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。
切割设备轮机

[发明专利]基于超声扫描设备的多探头位置标定方法、扫描方法-CN201310251864.6有效
发明人：周庆亚;付纯鹤;连军莉;魏鹏;曾琦;左宁 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2013-06-24 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N29/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于超声扫描设备的多探头位置标定方法，该方法首先在设备载物台上刻画一与设备XY向电机坐标正交的十字标记点；然后通过标准的扫描方法，获得该十字标记点在探头中的扫描图像；再通过对扫描图像进行分析，进而得出该十字标记点在图像中的坐标；最后通过坐标计算，获得探头的物理位置，实现探头的位置定位和获取探头间的间距。本发明能够实现扫描过程中实时的高精度图像拼接，并且不会出现拼接失败的问题。
基于超声扫描设备探头位置标定方法

[发明专利]超声扫描显微镜扫描轴的单驱结构及设计方法-CN201310258298.1有效
发明人：陶利权;付纯鹤;黄晓鹏 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2013-10-16 - 主分类号： G01N29/22 文献下载
摘要：超声扫描显微镜扫描轴的单驱结构及设计方法，结构中左、右支座之间连接其上面设有上面直线导轨，中心固定有光栅标尺，右侧竖向设有与上面直线导轨轴心线平行的侧面直线导轨。基座外围连接由滑座、左、右动块构成的滑动单元。上面直线导轨与滑座、侧面直线导轨与右动块各自构成滑动副。直线电机的动子和定子相对基座成背负式驱动。滑动单元上的光栅读数头与光栅标尺构成间距值测量工作副。基座宽厚比小、横向刚度强、缩小了结构空间。左、右动块的质量相互匹配，降低了挂载后的重力分力对导轨的影响。本发明中滑动单元的实际质量重心与基座固有质量重心的偏差值小于＋3mm，导向精度小于5μm。本发明极大的提升了扫描轴的扫描精度和机构的使用寿命。
超声扫描显微镜结构设计方法

[发明专利]超声扫描显微镜步进轴的双驱结构-CN201310283739.3有效
发明人：陶利权;黄晓鹏;付纯鹤 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2013-10-16 - 主分类号： G01N29/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种超声扫描显微镜步进轴的双驱结构及双驱脉冲参数匹配的调整方法，该双驱结构包括左驱动单元、右驱动单元、前支撑梁、后支撑梁以及X向横梁，前支撑梁、后支撑梁分别在前侧和后侧对接左驱动单元与右驱动单元，X向横梁连接左驱动单元与右驱动单元，本发明采用双侧驱动，并采用叠加方式构成高位的龙门式架构模式，避免通过单侧驱动易造成龙门式架构的扭曲变形及产生较大振动影响等问题，易保证关键零件加工的精度要求，又确保了整体架构的刚性要求。
超声扫描显微镜步进结构

[发明专利]超声扫描显微镜的承片台夹紧装置及调平方法-CN201210581987.1有效
发明人：陶利权;黄晓鹏;付纯鹤;张继静 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G01N29/22 文献下载
摘要：一种超声扫描显微镜的承片台夹紧装置，包括底座以及承片台或者标准料盒。底座上的两端分别固定一个固定托架结构和一个活动托架结构，两个结构的托架上分别设有承片台的托持面和标准料盒的托持面，两个结构之间托持并夹紧承片台或者标准料盒。活动托架结构设有导向装置、复位装置和限位装置。右托架通过导向、复位、限位装置具有手动夹紧运动轨迹。处于水介质中工作的左右立柱、左右托架由PMMA制成，根除了零件以及连接螺钉产生锈蚀的现象，杜绝了装置因锈死发生操作失灵现象。本发明的分离式结构，可对承片台实时取放、夹紧固定，能与标准料盒随意替换。本发明操作简单、易于对超声扫描显微镜下的承片台调平。
超声扫描显微镜承片台夹紧装置平方

[发明专利]一种超声扫描显微镜逐层C扫描峰值图像的构建方法-CN201210515388.X无效
发明人：魏鹏;连军莉;付纯鹤;宋丽娟 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2012-12-05 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G01N29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种超声扫描显微镜逐层C扫描峰值图像的构建方法，该方法包括以下步骤：设置待测件的逐层扫描的总厚度；设置所述待测件的扫描的单个层的厚度；根据所述单个层的厚度把所述总厚度均分成多个层；通过一次C扫描运动，对所述多个层进行数据处理得到对应的多幅灰度图像。本发明通过设置待测件的逐层扫描的总厚度以及扫描的单个层的厚度，并根据所述单个层的厚度把所述总厚度均分成多个层，通过一次C扫描运动,对均分而分解成的多个层对应的数据进行数据处理得到对应的多幅灰度图像，从而解决了现有C扫描峰值图像技术中由于多次需要设置扫描层，多次进行扫描，以致扫描效率低的问题。
一种超声扫描显微镜峰值图像构建方法

[发明专利]基于Windows消息机制的软件调试方法-CN201210515389.4无效
发明人： 付纯鹤;罗杨 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2012-12-05 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G06F11/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Windows消息机制的软件调试方法，步骤1在待调试程序中插入调试信息；步骤2启动待调试程序调用调试信息，经Window消息队列将消息发送至信息调试器；步骤3启动信息调试器；步骤4直接运行待调试程序，测试需要获取调试信息的部分；步骤5关闭待调试程序；步骤6激活信息调试器显示调试信息；步骤7分析待调试程序存在的问题；步骤8修改待调试程序的相关代码；步骤9重复步骤4到步骤8的工作，直到待调试程序的所有代码调试结束。本方法在独立窗口显示所有的调试信息，在待调试程序崩溃时仍能保留程序的运行信息记录，适用于大型多模块多线程复杂软件系统的单元调试、整体调试等过程。
基于 windows 消息机制软件调试方法

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