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[发明专利]图形化衬底的制备方法及具有空气隙的LED外延结构-CN202210636079.1有效
发明人： 付星星;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开了一种图形化衬底的制备方法及具有空气隙的LED外延结构，该方法为：在衬底本体上制备出第一光刻窗口，形成图案化的牺牲层；在牺牲层以及衬底本体表面沉积形成凸起结构的材料层；在材料层上制备出图案化的第二光刻窗口；且各第二光刻窗口的部分或全部外沿线位于牺牲层中至少一个图案的外沿线以内；刻蚀掉位于第二光刻窗口内的材料层形成顶部图案层；腐蚀掉没有被顶部图案层完全包裹在内的牺牲层中的图案，形成悬空部和底部图案层；去除正性光刻胶得到具有凸起结构的图形化衬底。外延结构中空气隙的存在，会使得其发出的光在该区域内发生更多的折射和反射，能够增加出光反射，提升出光效率和亮度。
图形衬底制备方法具有空气 led 外延结构

[发明专利]复合图形化衬底的制备方法及具有空气隙的外延结构-CN202210631067.X有效
发明人： 付星星;孙帅;刘鹏;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开了一种复合图形化衬底及其制备方法和外延结构，在衬底本体的表面先后沉积材料层一和材料层二；然后涂布正性光刻胶，制备出具有周期性排布的光刻窗口；使用第一步干法刻蚀工艺依次刻蚀掉光刻窗口内的材料层二、材料层一以及部分衬底本体，形成间隔沟槽；使用第二步干法刻蚀工艺蚀刻掉被正性光刻胶覆盖的部分材料层二，暴露出部分材料层一，形成凸起结构，得到复合图形化衬底。本方法制备的衬底中的凸起结构在后续生长外延结构时，能够在N型层与各凸起结构之间形成较大的空气隙，在该空气隙的位置，会使得LED发出的光在该区域内发生更多的折射和反射，能够增加LED出光的反射，提升出光效率，提升亮度。
复合图形衬底制备方法具有空气外延结构

[发明专利]一种复合图形化衬底的制备方法及具有空气隙的外延结构-CN202210630620.8有效
发明人： 付星星;孙帅;刘鹏;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开了一种复合图形化衬底及其制备方法和外延结构，在衬底本体的表面沉积材料层；在材料层上涂布正性光刻胶，然后在衬底本体上制备出具有周期性排布的光刻窗口；使用第一步干法刻蚀工艺刻蚀掉光刻窗口内的材料层并进一步刻蚀掉部分衬底本体，形成间隔沟槽；使用第二步干法刻蚀工艺刻蚀掉被正性光刻胶覆盖的部分材料层，形成凸起结构，得到复合图形化衬底。本方法制备的衬底中的凸起结构在后续生长外延结构时，能够在N型层与各凸起结构之间形成较大的空气隙，在该空气隙的位置，会使得LED发出的光在该区域内发生更多的折射和反射，能够增加LED出光的反射，提升出光效率，提升亮度。
一种复合图形衬底制备方法具有空气外延结构

[发明专利]一种高温合金GH4080A冷镦用精线及其制备方法-CN202111016542.4有效
发明人： 付星星;张宇;刘平保;汪维新 -专利权人：东风商用车有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B21C37/04 文献下载
摘要：本申请涉及汽车零件技术领域，特别涉及一种高温合金GH4080A冷镦用精线及其制备方法。本申请提供的高温合金GH4080A冷镦用精线的制备方法包括以下步骤：制备高温合金GH4080A热轧盘条，对高温合金GH4080A热轧盘条依次进行离线固溶‑喷丸处理‑增润处理‑拉拔‑清洗‑在线固溶‑重复拉拔‑活化‑电镀‑冷拔，即得到高温合金GH4080A冷镦用精线。利用该制备方法制得的高温合金GH4080A冷镦用精线具有硬度低、塑性好、尺寸精度高、表面润滑好的优点，满足冷镦成型工艺的要求。
一种高温合金 gh4080a 冷镦用精线及其制备方法

[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置及装载方法-CN201711398828.7有效
发明人： 付星星;康凯;陆前军 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置及装载方法，包括托盘本体，所述托盘本体的上表面设有用于固定蓝宝石衬底置的定位凹槽，铝托盘本体的上表面和定位凹槽的表面涂覆有导热介质层，定位凹槽的深度为100微米—300微米之间，定位凹槽的宽度为105毫米—110毫米，托盘本体的边沿设有下沉区，该下沉区与托盘本体上表面的高度差为2毫米‑5毫米。本发明提高了操作的便利性，有效地保证了PSS工艺制程稳定性和产品良率。
一种图形蓝宝石衬底刻蚀托盘装置装载方法

[发明专利]一种基于Pt修饰的MoO3-CN201810861830.1有效
发明人：王钊;付星星;肖绪锋;顾豪爽 -专利权人：湖北大学
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Pt修饰的MoO3纳米线传感器及其制作方法，属于无机纳米功能材料技术领域，本发明采用水热合成、自组装技术、超长时间处理,使MoO3纳米线结晶度更好，使自组装更易发生；然后采用化学还原的方式将Pt纳米颗粒均匀地修饰在MoO3纳米线上，从而增强了MoO3纳米线对甲醛的高选择性的超快响应，可用于室温下甲醛气体的检测，检测灵敏度高，能够探测浓度低至10ppm甲醛气体，且对甲醛的响应速度远远高于同类型的甲醛传感器，能够实现常温下的超快响应。
一种基于 pt 修饰 moo base sub

[发明专利]一种水下机器人推进器及舵机一体化控制系统-CN202010477525.X有效
发明人：邓超;马俊;唐旭东;郭威;马文桥;李永强;李兆凯;付星星 -专利权人：北京机械设备研究所
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种水下机器人推进器及舵机一体化控制系统，涉及水下机器人技术领域，解决了现有技术水下机器人推进器及舵机一体化控制过程中移植性差、维护困难的问题。系统包括：至少一路推进器驱动电路及受其驱动的推进器、至少一路舵机驱动电路及受其驱动的舵机、电源电路、多路驱动控制电路、控制器；其中，控制器用于生成互补的推进器控制信号和互补的舵机控制信号；驱动控制电路用于处理互补的推进器控制信号得到互补的推进器驱动信号，还用于处理互补的舵机控制信号得到互补的舵机驱动信号；推进器驱动电路基于互补的推进器驱动信号，驱动推进器驱动电路工作；舵机驱动电路基于互补的舵机驱动信号，驱动舵机驱动电路工作。
一种水下机器人推进器舵机一体化控制系统

[发明专利]复合衬底及制备方法以及包含该衬底的外延结构和芯片-CN202211589817.8在审
发明人： 付星星;孙帅;刘鹏;黄静;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L33/10 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，公开了一种复合衬底及制备方法以及包含该衬底的外延结构和芯片，衬底包括：衬底本体上具有呈周期性间隔排列的图案化凹坑结构，凹坑结构上具有金属反射层，金属反射层上具有低折射率介质层，低折射率介质层将金属反射层完全包裹。本发明通过低折射率介质层、凹坑结构包裹金属反射层与无损伤生长面的多重技术组合，改善外延底层晶体质量与内量子效率，改善反射效果以提高出光效率，从内量子效率与出光效率二方面来提高LED芯片的光效水平。
复合衬底制备方法以及包含外延结构芯片

[发明专利]图形化衬底及制备方法以及包含该衬底的外延结构和芯片-CN202211562902.5在审
发明人： 付星星;孙帅;王乐浩;王思博;黄静;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，公开了一种图形化衬底及制备方法以及包含该衬底的外延结构和芯片，衬底包括：衬底本体，以及衬底本体的上表面完全包覆的过渡层；所述凸起结构包括从下至上依次设置的底部图案层、中部多介质薄膜层和顶部低折射材料层。本发明通过设置周期性的多层介质薄膜层，进一步优化外延层与衬底界面的反射率，提升LED的光效水平，同时通过顶部低折射材料层与过渡层的双重保护，解决介质膜高温清洗过程脱漏与MOCVD高温生长过程中黑化的问题，实现高光效的LED外延片和芯片。
图形衬底制备方法以及包含外延结构芯片

[实用新型]衬底刻蚀托盘-CN202223253803.7有效
发明人： 付星星;孙帅;刘鹏;黄静;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种衬底刻蚀托盘，包括托盘本体及托盘盖板；所述托盘本体上设有若干个载片凸台，载片凸台外围的托盘本体上连接有定位凸台；所述托盘盖板上有若干个与载片凸台适配的镂孔，镂孔外沿连接有若干个压脚，压脚的一端伸至镂孔中；所述载片凸台的上表面呈凸弧状。本实用新型中载片凸台的上表面呈凸弧状，当压脚压住晶片四周时，晶片可紧贴于载片凸台的上表面，改善刻蚀时晶片中间及边缘温度的均匀性及等离子轰击的均匀性，进而保证蓝宝石衬底图形化的均匀性。
衬底刻蚀托盘

[实用新型]一种路面管线下管辅助装置-CN202221826171.6有效
发明人： 付星星 -专利权人： 付星星
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： F16L3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种路面管线下管辅助装置，属于市政技术领域，包括埋管槽、底箍、顶箍、锚杆，埋管槽外部有底箍、顶箍和锚杆，且底箍四端通过锚杆与地面连接固定，埋管槽内部设置有可以对管道进行辅助支撑和固定的辅助固定机构和可以对多个下管后的管道的间距进行自由调节控制并便于安装的调节机构，调节机构包括安装卡槽、安装卡块、连接槽、连接柱。本实用新型通过设置辅助固定机构，通过固定柱、垫层、弹簧伸缩杆、固定凹板、增摩块、防呆块、防呆槽之间配合使用，可以对管道外壁进行辅助固定工作，提高了管道铺设之后的牢固性，提高了管道的使用寿命和内部的工作效率。
一种路面管线辅助装置

[发明专利]图形化复合衬底及发光元件-CN202111038901.6在审
发明人： 付星星;宋长伟;程志青;刘鹏;孙帅;王乐浩;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种图形化复合衬底及发光元件。图形化复合衬底，包括衬底本体和凸起于衬底本体上表面的周期性复合结构，所述复合结构包括堆叠设置的类多棱台和类多棱锥，所述复合结构的占空比F满足0.80＜F≤0.985。本发明的图形化复合衬底，通过图形化设置，增大图形的占空比，尤其是类多棱锥部分的侧面积大幅增加，可显著增加LED内部光的反射面积，进一步提高LED器件的出光效率等；并且兼顾保证可工艺性及降低间距区域，有利于实现更好的侧向外延效果，降低外延层如GaN材料的位错密度，提高晶体质量。
图形复合衬底发光元件

[发明专利]图形化复合衬底及其LED芯片-CN202110735011.4在审
发明人： 付星星;程志青;刘鹏;孙帅;宋长伟;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种图形化复合衬底及其LED芯片。图形化复合衬底，包括衬底本体和凸起于衬底本体上表面的周期性复合结构；所述复合结构包括堆叠设置的台体和锥体；所述台体的材质与所述锥体的材质不同；所述锥体的底角α小于所述台体的底角θ。本发明的图形化复合衬底具有比同高度同底径的其他图案图形化衬底更具光效优势，LED芯片亮度比常规圆锥形PSS衬底提高5％～10％。
图形复合衬底及其 led 芯片

[发明专利]一种高温合金GH2132冷镦用精线及其制备方法-CN202110586488.0有效
发明人： 付星星;张宇;刘平保;康明 -专利权人：东风商用车有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B21J5/08 文献下载
摘要：本申请涉及金属材料加工领域，特别涉及一种高温合金GH2132冷镦用精线及其制备方法。本申请提供的制备方法包括以下步骤：通过冶炼、轧制制备出高温合金GH2132热轧盘条，然后对高温合金GH2132热轧盘条进行第一次固溶处理；将第一次固溶处理后的高温合金GH2132热轧盘条浸入增润剂溶液中，烘干；对烘干后的高温合金GH2132热轧盘条进行冷拔，之后进行第二次固溶处理；清洗经第二次固溶处理后的高温合金GH2132热轧盘条，之后对高温合金GH2132热轧盘条进行表面镀铜处理；对镀铜处理后的高温合金GH2132热轧盘条进行冷拔，即得到高温合金GH2132冷镦用精线。利用本申请提供的制备方法制得的高温合金GH2132冷镦用精线硬度低、塑性好、尺寸精度高、表面润滑好。
一种高温合金 gh2132 冷镦用精线及其制备方法

[实用新型]一种图形化衬底及其外延结构-CN202221350105.6有效
发明人： 付星星;孙帅;芦玲 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L33/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体领域，公开了一种具有微纳结构的图形化衬底及其外延结构，包括表面具有微米级周期性排布的凸起结构（101）的衬底本体（1），相邻所述凸起结构（101）之间具有隔离沟槽（103），在所述凸起结构（101）的整个表面均分布有与其一体结构且材质相同的纳米级微结构（102）。本衬底中的这种微纳结构相当于增加了凸起结构的密度，增大了其反射表面积，提高了LED器件的出光效率；增大衬底C面的图案化占比改善了侧向外延效果，有利于提升LED器件的内量子效率。
一种图形衬底及其外延结构

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