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- [发明专利]一种晶棒自动粘接设备-CN202310068094.5有效
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甄伟;赵松彬;张锐;张诚
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2023-01-17
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2023-10-17
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B28D5/00
- 本发明公开了一种晶棒自动粘接设备，其中，运输装置将晶棒输送至粘接装置中；晶向测量单元测量晶棒的晶向，得到X轴方向偏差角和X轴偏差方向；粘接通信控制单元将X轴晶向偏差角和X轴晶向偏差方向发送给涂胶通信控制单元；涂胶单元将缓冲板的下表面通过粘接剂粘贴在料座上，以及在缓冲板的上表面涂上粘接剂，从而形成料座组件；其中，缓冲板的轴线朝第一方向偏离料座的轴线的夹角为X轴晶向偏差角，第一方向与X轴晶向偏差方向相反；缓冲板的上表面呈与晶棒侧面相适配的向下表面凹陷的弧面；运输装置将料座组件输送至粘接装置中；粘接单元将料座的轴线朝X轴晶向偏差方向转动X轴晶向偏差角，并将晶棒粘接在缓冲板的上表面。
- 一种自动设备
- [实用新型]垫条清洁测量机构-CN202321300298.9有效
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张诚;张锐;甄伟;赵松彬
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2023-05-26
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2023-09-12
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B08B1/02
- 本实用新型公开了垫条清洁测量机构，包括支架、主动机构、从动机构、传动带和清洁结构，主动机构和从动机构分别装配于支架上表面两端的轴承座上，清洁结构装配于支架的上表面中部，传动带套接于主动机构与从动机构上，且传动带穿过清洁结构，支架的上表面前后两侧均固定安装有侧支板，侧支板的上表面装配有清洁前传感器和清洁后传感器，且清洁前传感器与清洁后传感器分别位于清洁结构的右侧和左侧，传动带上固定安装有挡块，本实用新型采用毛刷辊逆向刷配合风刀吹扫方式清洁垫条表面，取消了人工作业的方式，也取消了酒精的使用，提高了垫条表面清洁度的稳定性，提高了工作效率，降低了作业区的安全风险。
- 清洁测量机构
- [实用新型]料座表面自动涂胶机构-CN202321300712.6有效
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张诚;张锐;甄伟;赵松彬
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2023-05-26
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2023-09-08
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B05C5/02
- 本实用新型公开了料座表面自动涂胶机构，包括平板、涂胶机构、运输机构和检测机构，涂胶机构和运输机构均安装于平板上，检测机构安装于涂胶机构上，本实用新型设计了可进行左右移动和升降的涂料机构，以及可前后移动和转向的运输机构，可以在预设指定位置准确涂胶，提高了涂胶速度和涂胶粘接的稳定性，降低了工人的劳动强度，为自动化粘接工艺提供了技术上的支持，还对胶阀进行了设计，采用螺杆胶阀加压盘泵的组合，在同样的使用条件下节约了胶水的用量，提高了胶水混合比例的准确性，保证了粘接效果的一致性，可以更准确的控制出胶量和出胶速度。
- 表面自动涂胶机构
- [实用新型]一种垫条切割机构-CN202321301872.2有效
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张诚;张锐;甄伟;赵松彬
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2023-05-26
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2023-09-08
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B23D45/00
- 本实用新型属于切割设备技术领域，特别提供了一种垫条切割机构，包括防护罩和切割机主体，防护罩装配于切割机主体的外部；切割机主体包括机架、主输送带、副输送带、升降驱动机构、切割锯、锁紧机构和限位板，防护罩包括主壳体、副壳体和活动门。本切割机构采用升降驱动机构驱动带动切割锯升降，通过自下而上进给，实现对垫条的切割分离工作；采用输送带运输和支撑垫条，采用锁紧机构将垫条扣压在输送带上，达到固定垫条的效果，以防止垫条在切割过程中发生偏移；采用防护罩隔离切割机主体，防止切割过程中飞沫外溅；整体提高了切割效率和切割准确性，改善了工作环境，降低了作业人员受伤的风险，提高了垫条的利用率。
- 一种切割机构
- [实用新型]一种多晶衍射测量的微调机构-CN202222018415.4有效
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甄伟;赵松彬
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2022-08-02
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2023-02-10
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G01N23/207
- 本实用新型公开了一种多晶衍射测量的微调机构，涉及多晶衍射测量技术领域，包括X光发射器，还包括支撑板，支撑板包括水平部与竖直部，竖直部活动安装于X光发射器上，竖直部相对于X光发射器的一侧设置有第一挡光板，水平部上活动设置有第一晶柱，第一晶柱上设置有第一衍射晶片。本实用新型提供的多晶衍射测量的微调机构，设置第一挡光板、第二挡光板和第三挡光板来约束调节X光穿过三个挡光板的照射范围，设置可旋转的第一晶柱放置第一衍射晶片，以便通过调节第一晶柱来调节第一衍射晶片的角度，通过设置调节板来调节第二晶柱的角度，以便于调节第二衍射晶片的角度，实现多角度调节测试，第一晶柱与第二晶柱的配合可以同时测量复数的晶片。
- 一种多晶衍射测量微调机构
- [实用新型]一种自动测量的联动机构-CN202221953544.6有效
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甄伟;赵松彬
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2022-07-27
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2023-02-07
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G01N23/04
- 本实用新型公开了一种自动测量的联动机构，涉及晶体自动定向测量技术领域，包括底板，底板上对称设置有第一弧形导轨，且两个第一弧形导轨同心，底板上分别设置有用于检测晶体质量的X光发射器和X光接收器，X光发射器和X光接收器均设置有磁栅头，底板上设置有呈弧形分布的且与磁栅头配合的磁栅条，磁栅条与第一弧形导轨同心，X光发射器和X光接收器受驱移动以检测晶体质量。本实用新型提供的自动测量的联动机构，在使用时，先将待测晶体放置在适当位置上，并位于第一弧形导轨的圆心处，此时驱动X光发射器和X光接收器沿着第一弧形导轨移动，同时磁栅头与磁栅条配合，记录X光发射器和X光接收器的运动角度，再根据后续信息处理测得晶体的质量。
- 一种自动测量联动机构
- [发明专利]一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统-CN201810915272.2有效
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甄伟;赵松彬
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2018-08-13
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2022-12-02
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B28D5/00
- 本发明公开了一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统，包括料板机构、料板旋转机构、升降机构、摆转机构和驱动机构，所述摆转机构包括安装座，安装座的顶部安装有减速机，减速机的顶部设有与减速机连接的第二电机，第二电机的一侧安装有第一编码器，驱动机构设置于第二电机的另一侧，第二电机靠近驱动机构的一侧还安装有水平设置的定位探针，安装座的底部还安装有第二直线导轨，第二直线导轨的一侧活动安装有丝杠，丝杠的一端通过第一联轴器安装有第三电机，所述驱动机构包括行走部分、两组跟随行走部分运动的X光发生部分以及两组信号系统。本发明设计合理，使切片后精度控制在±3′以内，以满足半导体级单晶硅的切片制品精度日益提高的需要。
- 一种半导体单晶硅定向测试系统
- [实用新型]一种晶棒运输治具-CN202221256477.2有效
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甄伟;赵松彬;张诚
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2022-05-24
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2022-09-16
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B28D5/00
- 本实用新型公开了一种晶棒运输治具，涉及半导体加工领域，包括底板，所述底板上方对称安装有两组侧板，两组所述侧板的另一端均装配有第一轴承轮，所述底板外壁装配有第二轴承轮，对称安装的所述侧板中间设置有两组直线导轨，所述直线导轨的上方均安装有齿条，所述齿条上均设置有锁紧支架，两组所述侧板中间位置处并位于底板的上方安装有阻尼器，所述阻尼器的外壁安装有齿轮。本实用新型便于锁紧支架在晶棒的前后端面夹持，所以保证了治具在运输过程中短晶棒不会发生倾覆，提高了运输的安全性。
- 一种运输
- [实用新型]一种大扭矩高精度的机械手摆角机构-CN202121137269.6有效
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张诚
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2021-05-26
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2022-02-01
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B25J18/00
- 本实用新型提供一种大扭矩高精度的机械手摆角机构，支臂和谐波减速机；所述支臂的前端通过安装板与所述谐波减速机的后端连接；其中还包括有支座；所述支座设置在所述谐波减速机的前端，所述支座的上方设置有转接支架，其中转接支架的另一端连接到支臂内。本实用新型中，通过设置谐波减速机驱动和编码器进行高精度控制，能够实现支臂的摆角功能，电机有自保持力矩，通过减速机传动比放大，使支臂摆角后在偏载外力作用下不发生变形，实现摆角保持功能；从而提供一个高精度，大扭矩，性能稳定的摆角机构，正反运动时无空程间隙，摆角后具有保持功能，不仅能够节省成本且可大力发展和普及。
- 一种扭矩高精度机械手机构
- [实用新型]一种自动寻峰测量的驱动机构-CN202121137276.6有效
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张诚
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2021-05-26
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2021-12-07
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G01N23/207
- 本实用新型提供一种自动寻峰测量的驱动机构，包括底板，所述底板的上方对称式开设有两个内弧形导轨，其中两个内弧形导轨上滑动连接有滑块，滑块能够在内弧形导轨上延弧形方向滑动，且两个滑块上均连接有涡轮片，两个所述涡轮片的上方一侧又啮合连接有驱动蜗杆。本实用新型中，采用圆弧导轨控制发射器和接收器的同心运动，采用涡轮蜗杆分别驱动发射器和接收器的相对运动，通过高精度的编码器来计算发射器和接收器的移动距离，可实现自动控制，无需手动调节，通过反馈信息和控制系统可以计算出测量的晶体晶向的数值，不会存在系统测量的偏差，准确性更高。
- 一种自动测量驱动机构
- [实用新型]一种带翻转功能的移动机构-CN202121137267.7有效
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张诚
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丹东新东方晶体仪器有限公司
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2021-05-26
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2021-11-23
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F16M11/04
- 本实用新型提供一种带翻转功能的移动机构，包括：摆转底座、两个直线导轨和一个滚珠丝杆，所述摆转底座的底部两侧均设置有滑块，滑块分别与两个直线导轨滑动连接，所述摆转底座的底部中间位置处通过连接组件可拆卸连接有丝母。本实用新型中，通过直线导轨和滚珠丝杆的组合来驱动整体机构的前后移动，通过减速机带动旋转主轴实现翻转功能，同时设置编码器能够控制翻转的角度和精度；即通过电机驱动减速电，带动旋转主轴转动，通过编码器控制旋转主轴的摆转角度，从而实现不同方向的测量，且可以达到很高的精度，进而弥补减速机传动间隙对对摆转精度的影响，采用上述设置可使得测量更加精准，稳定性高。
- 一种翻转功能移动机构
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