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[发明专利]一种多链接传输控制方法-CN200710040997.3无效
发明人：李焕炀;陈勇辉;周畅;严天宏 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-05-22 - 公布日： 2007-10-17 - 主分类号： H04L29/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种多链接传输控制方法，通过由物理层、传输层和应用层组成的控制结构实现发送方与接收方之间的传输控制，其包括：发送方通过传输层构造传输帧，建立链路控制模式和数据流；通过应用层连续封装传输帧，通过物理层将传输帧传输至接收方；接收方通过物理层接收传输帧，存储帧信息，并通过传输层解析传输帧，根据所解析的传输帧信息，判断所构造的传输帧的正确性，并向发送方返回正确性信息；接收方通过应用层连续从发送方所构造的传输帧中提取应用数据；发送方通过传输层接收正确性信息，并据此判断传输帧的完整性，设置相应的链接状态。采用该方法可超高速完成对信号的采样控制、采集传输控制、数据交换控制和数据通信传输控制。
一种链接传输控制方法

[发明专利]悬挂式支撑成像系统及光刻装置-CN200610147842.5无效
发明人： 严天宏;朱岳彬;袁志扬;王天明;邹恒杉;唐海明;刘育 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2006-12-22 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于投影曝光技术领域，具体公开了一种悬挂式支撑成像系统，以及带有此种成像系统的光刻装置。其包括成像系统和支撑装置，其特征在于：还包括状态检测传感器和主动执行装置，所述状态检测传感器固定设置在成像系统上；所述主动执行装置设置在成像系统外侧，其与状态检测传感器相连用于接收位置状态传感器得到的信号并控制校正成像系统的位置；支撑装置为悬挂构件，成像系统悬挂在悬挂构件的下端。本发明成像系统通过采用悬挂式连接结构，使整个成像系统与光刻装置实现分系统分离式的主动隔振，从而改善掩模支撑与投影物镜的相对振动模态，以降低掩模版与曝光系统光轴间的相对误差对同步扫描质量的影响。
悬挂支撑成像系统光刻装置

[实用新型]一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置-CN200620041223.3无效
发明人：唐海明;朱岳彬;严天宏 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2006-04-20 - 公布日： 2007-03-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种六自由度精密调节装置，具体公开了一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置，包括支架、托架和六自由度调节机构，所述六自由度调节机构通过托架与支架固定连接，还包括转出机构；转出机构固定在支架上，其与六自由度调节机构的调节盘转轴连接。本实用新型可以手动转出、并且带有位置“记忆”功能、可以实现对六自由度的独立调节。在实际使用中只需提供相应接口和空间就可安装。相对于其它的调节装置，其调节过程简单准确、快速高效，具有良好的检修性，维护方便。
一种可以转出带有记忆功能自由度精密调节装置

[发明专利]一种复合减振式光刻装置-CN200610025895.X有效
发明人： 严天宏 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2006-04-20 - 公布日： 2006-09-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体地公开了一种复合减振式光刻装置，其包括设置整机基础框架上的采用统一主动减振支撑或者工件台系统、掩膜台系统、照明系统和曝光系统分别通过各自的减振装置独立支撑在整机基础框架上。上述两种方案中各个分系统的支撑结构均可以根据需要辅以颗粒阻尼器设计，以提高系统动力学性能。本发明光刻装置实现了有效降低环境噪声与振动等各方面干扰影响的目的，可广泛用于半导体设备及其它领域对工作台等有精确定位要求的减振设计。
一种复合减振式光刻装置

[发明专利]一种精密定位和调整工装-CN200510112113.1有效
发明人：刘育;张国韦;袁志扬;严天宏 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2005-12-27 - 公布日： 2006-06-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密定位和调整工装，包括盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)，还包括平板(1)、圆环(3)和Rz调整装置(4)，圆环(3)由具有不同直径的阶梯状圆环组成并可通过其中一圆环的圆柱面及平面定位与平板(1)紧围安装在一起，Rz调整装置(4)安装在平板的槽面(104)中，定位轴(6)通过平板上销孔(101)定位及螺纹与盖板连接安装在平板上，盖板(2)通过螺纹连接安装在平板上，垫片(5)安装在定位轴(6)与平板(1)之间，盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)、和与它们连接最近的平板及圆环组成一套调节模块。有益作用是，保证了X、Y精度和Rz精度的定位精度。
一种精密定位调整工装

[发明专利]一种随机响应信号测量与分析的方法-CN200510029686.8无效
发明人：蔡良斌;严天宏;张国韦;袁志扬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-03-01 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及随机响应系统的信号测量与分析技术，特别是一种随机响应信号测量与分析的方法。它在Matlab环境下基于Spectrum Dynamics公司的SigLab测试系统，进行二次开发的测试方法和系统，可以在线评判、生成结果报告，其流程包括：①首先提供一个数据录入界面，以录入测试设备的信息和该产品和操作中的指标曲线信息；②根据上述录入的信息，在图形显示区形成一指标曲线，并显示录入的信息；③将各测试点的信息录入并在图形显示区形成测量曲线；④将指标曲线和测量曲线上的相应数值进行分析比较，并在运行结果显示区显示。该方法主要解决现有的方法常需要进行离线的分析、计算，再来判断结果，以致于造成停车会严重地影响生产率和产能的技术问题，可以很大地提高操作的准确性和简便性。
一种随机响应信号测量分析方法

[发明专利]一种精密减振和定位装置-CN200510026019.4无效
发明人： 严天宏;蔡良斌;张国韦 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2005-05-20 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： F16F15/03 文献下载
摘要：本发明涉及一种以被动为主、主动控制为辅的有效减振和多自由度定位装置，用于实现水平、高度的精确定位。它包括被动减振部件和主动减振执行部件共同组成，被动减振部件是一种横、纵向均可以有一定的运动范围的腔体构造，通过该腔体支撑的活塞类机构连接到被减振的平台上，对振源在较宽频带上进行较大幅度的隔离或衰减；在被减振部件与被动减振部件之间有主动控制部件进行衔接，该主动控制部件由振动传感器、信号处理器、数据采集器、运算决策器、电机驱动器，以及水平和垂直方向上的两个直线电机组成，进行精确定位。本发明结构紧凑、可靠性高，重复定位精度高，适应性强，装置变形量小，运动平稳，能满足在常温下光刻机等精密设备的严格要求。
一种精密定位装置

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