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- [发明专利]一种光刻机用混合光源发生装置-CN202011363096.X在审
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王华;吴中海;甘泉
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东莞科视自动化科技有限公司
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2020-11-28
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2021-02-19
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G03F7/20
- 本发明公开了一种光刻机用混合光源发生装置,包括激光源、LED光源组件、激光限位板、光源基座和底座,所述激光限位板、光源基座和底座从上到下顺序排列;所述光源基座的中心设有激光源安装位,所述光源基座上还设有围绕所述激光源安装位分布的LED光源安装位,所述激光源的一端贯穿所述激光限位板,另一端安装在所述激光源安装位上;所述LED光源组件安装在所述LED光源安装位上;所述底座与光源基座连接形成一空腔,所述底座上设有出光口;其中,所述激光源与所述出光口位于同一轴线上。本发明中,激光源作为主光源,LED光源作为辅助光源,当激光源的能量因衰减而达不到预期能量时,LED光源对其进行补偿,有效地提高了光刻机的使用寿命。
- 一种光刻混合光源发生装置
- [实用新型]一种DI光刻机的LED光学系统-CN202021135074.3有效
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王华;吴中海;陈志特;冯明瑞
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东莞科视自动化科技有限公司
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2020-06-18
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2020-12-08
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种DI光刻机的LED光学系统,包括近紫外LED发光源模组、聚光镜头、光刻模组和成像镜头;近紫外LED发光源模组包括若干个近紫外LED发光源,每个近紫外LED发光源分别通过一聚光镜头与光刻模组连接,若干个近紫外LED发光源错开排列在光刻模组的两侧;光刻模组包括若干个DMD光刻装置,若干个DMD光刻装置呈直线排列,DMD光刻装置的一端与成像镜头连接,另一端与聚光镜头连接;近紫外LED发光源与DMD光刻装置所在直线与若干个DMD光刻装置所在直线之间的夹角小于90度;近紫外LED发光源内置有若干个近紫外LED发光体。本实用新型解决了目前半导体激光器某些波段功率不足以及小型LED复合光源能量低的问题,且其结构简单,能源消耗低,制造成本低,性能稳定。
- 一种di光刻led光学系统
- [发明专利]一种DI光刻机的LED光学系统-CN202010558092.0在审
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王华;吴中海;陈志特;冯明瑞
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东莞科视自动化科技有限公司
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2020-06-18
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2020-09-01
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G03F7/20
- 本发明公开了一种DI光刻机的LED光学系统,包括近紫外LED发光源模组、聚光镜头、光刻模组和成像镜头;近紫外LED发光源模组包括若干个近紫外LED发光源,每个近紫外LED发光源分别通过一聚光镜头与光刻模组连接,若干个近紫外LED发光源错开排列在光刻模组的两侧;光刻模组包括若干个DMD光刻装置,若干个DMD光刻装置呈直线排列,DMD光刻装置的一端与成像镜头连接,另一端与聚光镜头连接;近紫外LED发光源与DMD光刻装置所在直线与若干个DMD光刻装置所在直线之间的夹角小于90度;近紫外LED发光源内置有若干个近紫外LED发光体。本发明解决了目前半导体激光器某些波段功率不足以及小型LED复合光源能量低的问题,且其结构简单,能源消耗低,制造成本低,性能稳定。
- 一种di光刻led光学系统
- [实用新型]一种自动对位双面曝光设备-CN201921812085.8有效
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陈志特;王华;何增灿;黄海浩
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东莞科视自动化科技有限公司
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2019-10-26
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2020-06-16
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H05K3/06
- 本实用新型公开了一种自动对位双面曝光设备,包括对位曝光装置和翻板装置,所述翻板装置设置在两个所述对位曝光装置之间,所述对位曝光装置和翻板装置通过一送料模组连接;其中,所述对位曝光装置包括光源模组、对位模组、第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位,所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧;所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组,三个所述工作框模组分别与一导向模组连接。本实用新型可同时进行对位曝光和进/出料,或同时进行对位、曝光以及进/出料,大大提高了该自动对位双面曝光设备的产能;在两个曝光装置中设置翻板装置,使该自动对位双面曝光设备可实现双面曝光。
- 一种自动对位双面曝光设备
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